R e p l a c e

55 56C L E A N R O O MC L E A N R O O M

リプレース

省エネ対策でお困りではありませんか？

高効率機器へのリプレースで省エネの実現が可能です。

ex.)

※当社試算例

FFU 1,000台の置き換えで、年間に

2,000MWhの省エネ

1,700万円のコスト削減

加圧チャンバ方式システムフロー FFU方式システムフロー

もうひとつのご提案 / リプレースで効果的に省エネ

システム変更＋

機器リプレース OAOA

装置装置

ドライコイルドライコイル

高効率 FFUフィルタ

大型送風機

R e p l a c e

55 56C L E A N R O O MC L E A N R O O M

リプレース

省エネ対策でお困りではありませんか？

高効率機器へのリプレースで省エネの実現が可能です。

ex.)

※当社試算例

FFU 1,000台の置き換えで、年間に

2,000MWhの省エネ

1,700万円のコスト削減

加圧チャンバ方式システムフロー FFU方式システムフロー

もうひとつのご提案 / リプレースで効果的に省エネ

システム変更＋

機器リプレース OAOA

装置装置

ドライコイルドライコイル

高効率 FFUフィルタ

大型送風機

57 58C L E A N R O O MC L E A N R O O M

R e p l a c e

リプレース

リプレース

クリーン機器でのエネルギー削減の

比率が高い

熱負荷も軽減

投資の分割が可能

リプレースが有効な　　　①　省エネ法改正※省エネ法とは・・・工場や建築物、機械・器具についての省エネ化を進め、効率的に使用するための法律。2010年の改正省エネ法施行にともない、事業場全体のエネルギー使用量の把握や効率的な省エネ対策など、管理者はより一層の総合的な施策が求められます。

『事業者全体で年平均１％以上のエネルギー消費原単位の低減』が記載されています。

1　工場・事業場単位から事業者単位（企業単位）のエネルギー管理義務導入2　フランチャイズチェーンについても、チェーン全体を一事業者として捉え規制対象

これまで これから

規定値以上のエネルギーを使用している工場・事業場のみ管理指定工場として指定

エネルギー使用量が合計1,500kL以上でエネルギー管理が義務化

工場1,600kL

事業場500kL

営業所200kL

企業単位で特定事業者として

指定

半導体・液晶パネル工場で消費される電力を使用用途別に分類すると、空調設備が約40%を占めており、クリーン機器での省エネが非常に有効であることがわかります。

クリーンルーム方式を見直し、高効率のクリーン機器を使用することにより排熱も少なくすることができ、工場全体の熱負荷も下げられるので、冷凍機の電力も削減することができます。

理 由 理 由

省エネ法には事業者への努力目標として、

改正ポイント

生産設備40％

加圧チャンバ方式

クリーンルーム方式の違いによる送風機発熱除去エネルギー比較

FFU方式

諸配管12％

純水・排水4％

空調設備40％

照明他4％

0

0.02

0.04

0.06

0.08

0.1

0.12

0.089

0.021

［kW/m2］

複数年に分けてFFUの置き換えを実施することで、1年間に必要となる投資予算を抑えることができ、柔軟な省エネ計画策定が可能です。

1

2

3

工場1,600kL

事業場500kL

営業所200kL

合計2,300kL

なので

もうひとつのご提案

クリーン機器がエネルギー削減に有効な3つのポイント !

そ

こ

で

リ

プ

レ

ー

ス

!

規定値以上

エネルギー管理指定工場

規定値以下

対象外

規定値以下

対象外

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リプレース

リプレース

クリーン機器でのエネルギー削減の

比率が高い

熱負荷も軽減

投資の分割が可能

リプレースが有効な　　　①　省エネ法改正※省エネ法とは・・・工場や建築物、機械・器具についての省エネ化を進め、効率的に使用するための法律。2010年の改正省エネ法施行にともない、事業場全体のエネルギー使用量の把握や効率的な省エネ対策など、管理者はより一層の総合的な施策が求められます。

『事業者全体で年平均１％以上のエネルギー消費原単位の低減』が記載されています。

1　工場・事業場単位から事業者単位（企業単位）のエネルギー管理義務導入2　フランチャイズチェーンについても、チェーン全体を一事業者として捉え規制対象

これまで これから

規定値以上のエネルギーを使用している工場・事業場のみ管理指定工場として指定

エネルギー使用量が合計1,500kL以上でエネルギー管理が義務化

工場1,600kL

事業場500kL

営業所200kL

企業単位で特定事業者として

指定

半導体・液晶パネル工場で消費される電力を使用用途別に分類すると、空調設備が約40%を占めており、クリーン機器での省エネが非常に有効であることがわかります。

クリーンルーム方式を見直し、高効率のクリーン機器を使用することにより排熱も少なくすることができ、工場全体の熱負荷も下げられるので、冷凍機の電力も削減することができます。

理 由 理 由

省エネ法には事業者への努力目標として、

改正ポイント

生産設備40％

加圧チャンバ方式

クリーンルーム方式の違いによる送風機発熱除去エネルギー比較

FFU方式

諸配管12％

純水・排水4％

空調設備40％

照明他4％

0

0.02

0.04

0.06

0.08

0.1

0.12

0.089

0.021

［kW/m2］

複数年に分けてFFUの置き換えを実施することで、1年間に必要となる投資予算を抑えることができ、柔軟な省エネ計画策定が可能です。

1

2

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工場1,600kL

事業場500kL

営業所200kL

合計2,300kL

なので

もうひとつのご提案

クリーン機器がエネルギー削減に有効な3つのポイント !

そ

こ

で

リ

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レ

ー

ス

!

規定値以上

エネルギー管理指定工場

規定値以下

対象外

規定値以下

対象外

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リプレース

リプレースが有効な　　　③　補助金の利用

モータ

ファン

コントロール基板

理 由

申請に必要な省エネ効果試算、各種書類作成など、すべて富士電機がお手伝いします。

エネルギー使用合理化事業者支援事業

家庭・事業者向けエコリース促進事業

リプレースが有効な　　　②　機器の寿命

クリーン機器の寿命は約10年です。

理 由

コントロール基板にはアルミ電解コンデンサが平滑フィルタとして使用されており、通常、コンデンサ寿命が基板寿命を決定します。寿命は周囲温度が高いほど短くなるなど、使用条件によっても変わりますが、交換の目安は5年と言われています。※参考　「汎用インバータ定期点検のおすすめ」日本電機工業会

モータ寿命は様々な要素によって決まりますが、ほとんどの場合、軸受寿命に左右されます。軸受寿命は機械的寿命とグリス寿命で表せますが、グリス寿命の影響が大きい場合が多いため、グリス寿命でモータ寿命が決まると考えます。一般的にモータメーカーの保証寿命は20,000時間となっています。

事業名称 補助率

単独事業　　　　　　１／３以内

組合せ　　　　　　　1／2以内

リース料総額の2～5%

電力需給対策高度化事業

　中小企業組合や組合員が、省エネ設備を導入する際の融資制度

A A

FFUの構成

クリーンルームは年間温度が23℃程度で安定しており、使用環境としては良好で、実際の使用可能期間は保証寿命より長い場合がほとんどですが、

電気部品の寿命は概ね2～5年であり、 10年程度で機器の置き換えを行うのが理想的と言えます。

コントロール基板

モータ

クリーン機器のリプレースは補助金の利用が可能です。

その他、自治体による補助金制度もあります。

補助金の一例（2018年現在）

税制優遇などの一例（2018年現在）

59 60C L E A N R O O MC L E A N R O O M

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リプレース

リプレースが有効な　　　③　補助金の利用

モータ

ファン

コントロール基板

理 由

申請に必要な省エネ効果試算、各種書類作成など、すべて富士電機がお手伝いします。

エネルギー使用合理化事業者支援事業

家庭・事業者向けエコリース促進事業

リプレースが有効な　　　②　機器の寿命

クリーン機器の寿命は約10年です。

理 由

コントロール基板にはアルミ電解コンデンサが平滑フィルタとして使用されており、通常、コンデンサ寿命が基板寿命を決定します。寿命は周囲温度が高いほど短くなるなど、使用条件によっても変わりますが、交換の目安は5年と言われています。※参考　「汎用インバータ定期点検のおすすめ」日本電機工業会

モータ寿命は様々な要素によって決まりますが、ほとんどの場合、軸受寿命に左右されます。軸受寿命は機械的寿命とグリス寿命で表せますが、グリス寿命の影響が大きい場合が多いため、グリス寿命でモータ寿命が決まると考えます。一般的にモータメーカーの保証寿命は20,000時間となっています。

事業名称 補助率

単独事業　　　　　　１／３以内

組合せ　　　　　　　1／2以内

リース料総額の2～5%

電力需給対策高度化事業

　中小企業組合や組合員が、省エネ設備を導入する際の融資制度

A A

FFUの構成

クリーンルームは年間温度が23℃程度で安定しており、使用環境としては良好で、実際の使用可能期間は保証寿命より長い場合がほとんどですが、

電気部品の寿命は概ね2～5年であり、 10年程度で機器の置き換えを行うのが理想的と言えます。

コントロール基板

モータ

クリーン機器のリプレースは補助金の利用が可能です。

その他、自治体による補助金制度もあります。

補助金の一例（2018年現在）

税制優遇などの一例（2018年現在）

61 62C L E A N R O O MC L E A N R O O M

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リプレース

温度・湿度

清浄度

風向・風速

AutoCADの建築図面をベースにしたグラフィカルな監視画面

運転／停止／故障／速度を色で表示

FFUリストから一括運転・停止、回転数制御可能

アラーム音にて警報通知

操作履歴・警報履歴をそれぞれ最大10,000件保存

DC-FFU

DC-FFU

環境センサ

フィードバック

DC-FFU

DC-FFU

DC-FFU DC-FFU

DC-FFU

DC-FFU

富士電機なら、より効果的でスムーズに省エネを

さらに当社環境センサと連動させることで、温湿度・清浄度に応じたフィードバック運転ができ、FFUの最適運転による省エネ化が実現できます。

実現 1FFU効率比較 クリーンルーム省エネ運用システム

DC-FFUを当社開発のFFU監視システム(F-SITEシリーズ）と併せて使用することで、FFUの運転／停止や回転数、警報履歴などを中央一括管理でき、エネルギーの観点でもクリーンルームの効率的な運用が可能です。

個別風量制御

環境情報

FFU監視システム（F-SITEシリーズ）

FFU監視システム（F-SITEシリーズ）

ファン効率

インダクションモータ

多数の回転方向に湾曲した羽根

遠心送風機の中では大きな風量を出せる

製作費が比較的安価

回転方向に対して後方に湾曲した羽根

広い風量範囲で安定運転ができ、効率が良い

翼断面を採用することで更なる効率UPを実現

△ ◎

モータ効率

損失比較

△ ◎

シロッコファン

シロッコファン ターボファン

インダクションモータ DCブラシレスモータ（永久磁石使用）

低圧損インレット流路形状の最適化

DCブラシレスモータ高効率ターボファン

回転磁界によって誘導電流が回転子に流れるが、その際に回転子で抵抗損が発生する

回転子に永久磁石を使用しているため、回転子誘導電流による銅損が発生しない

総合効率

FFU効率比較

ファン比較

モータ比較

旧タイプFFU

13%最新タイプFFU

52%

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リプレース

温度・湿度

清浄度

風向・風速

AutoCADの建築図面をベースにしたグラフィカルな監視画面

運転／停止／故障／速度を色で表示

FFUリストから一括運転・停止、回転数制御可能

アラーム音にて警報通知

操作履歴・警報履歴をそれぞれ最大10,000件保存

DC-FFU

DC-FFU

環境センサ

フィードバック

DC-FFU

DC-FFU

DC-FFU DC-FFU

DC-FFU

DC-FFU

富士電機なら、より効果的でスムーズに省エネを

さらに当社環境センサと連動させることで、温湿度・清浄度に応じたフィードバック運転ができ、FFUの最適運転による省エネ化が実現できます。

実現 1FFU効率比較 クリーンルーム省エネ運用システム

DC-FFUを当社開発のFFU監視システム(F-SITEシリーズ）と併せて使用することで、FFUの運転／停止や回転数、警報履歴などを中央一括管理でき、エネルギーの観点でもクリーンルームの効率的な運用が可能です。

個別風量制御

環境情報

FFU監視システム（F-SITEシリーズ）

FFU監視システム（F-SITEシリーズ）

ファン効率

インダクションモータ

多数の回転方向に湾曲した羽根

遠心送風機の中では大きな風量を出せる

製作費が比較的安価

回転方向に対して後方に湾曲した羽根

広い風量範囲で安定運転ができ、効率が良い

翼断面を採用することで更なる効率UPを実現

△ ◎

モータ効率

損失比較

△ ◎

シロッコファン

シロッコファン ターボファン

インダクションモータ DCブラシレスモータ（永久磁石使用）

低圧損インレット流路形状の最適化

DCブラシレスモータ高効率ターボファン

回転磁界によって誘導電流が回転子に流れるが、その際に回転子で抵抗損が発生する

回転子に永久磁石を使用しているため、回転子誘導電流による銅損が発生しない

総合効率

FFU効率比較

ファン比較

モータ比較

旧タイプFFU

13%最新タイプFFU

52%

63 64C L E A N R O O MC L E A N R O O M

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リプレース

省エネ効果試算から施工、調整試験まですべて富士電機にお任せください。

システム構成の確認構成機器の確認ユーティリティの確認

s t e p

システム最適化設計機器の選定省エネ効果の試算図面作成

たとえば、お使いのＡＣ-ＦＦＵ 1,000台をＤＣ-ＦＦＵに変更すると、これだけ省エネになります。

概　要省エネ効果を狙い、「ACモータ＋シロッコファン」タイプのFFUを「DCモータ＋ターボファン」タイプへ置き換え交換台数：約5,000台

省エネ効果計画値　　7,100MWh（FFU省エネ量）実績値　　7,150MWh（FFU省エネ量）

補助金利用NEDOのエネルギー使用合理化事業者支援事業に採択され、約15,000万円の補助金を受領

富士電機なら、より効果的でスムーズに省エネを 実現 2リプレースの流れ 省エネ効果例

リプレース実施例

現地調査

1

s t e p

2

s t e p

3

s t e p

4

設　計

機器据付配線工事

動作確認調整試験清浄度試験

現地調整

現地工事

性能・効率を考慮すると、消費電力280WのAC-FFUは消費電力65WのDC-FFUに置き換えが可能です。（※当社算出）

電気料金を9,000円/MWhとすると1,883MWh×9,000円

（280W－65W）×24時間×365日×1,000台

年間　約1,900MWhの省エネ

A社での場合

年間　約1,700万円のランニングコストダウン

63 64C L E A N R O O MC L E A N R O O M

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リプレース

省エネ効果試算から施工、調整試験まですべて富士電機にお任せください。

システム構成の確認構成機器の確認ユーティリティの確認

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システム最適化設計機器の選定省エネ効果の試算図面作成

たとえば、お使いのＡＣ-ＦＦＵ 1,000台をＤＣ-ＦＦＵに変更すると、これだけ省エネになります。

概　要省エネ効果を狙い、「ACモータ＋シロッコファン」タイプのFFUを「DCモータ＋ターボファン」タイプへ置き換え交換台数：約5,000台

省エネ効果計画値　　7,100MWh（FFU省エネ量）実績値　　7,150MWh（FFU省エネ量）

補助金利用NEDOのエネルギー使用合理化事業者支援事業に採択され、約15,000万円の補助金を受領

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リプレース実施例

現地調査

1

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3

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4

設　計

機器据付配線工事

動作確認調整試験清浄度試験

現地調整

現地工事

性能・効率を考慮すると、消費電力280WのAC-FFUは消費電力65WのDC-FFUに置き換えが可能です。（※当社算出）

電気料金を9,000円/MWhとすると1,883MWh×9,000円

（280W－65W）×24時間×365日×1,000台

年間　約1,900MWhの省エネ

A社での場合

年間　約1,700万円のランニングコストダウン

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リプレース

富士電機は40年来、常に最先端クリーンルームシステムのサプライヤーであり続け、技術と安全の革新に挑んでいます。

最新技術のそばには、いつも富士電機のクリーンルーム。

豊富な実績と経験を有する富士電機ならではの、充実したエンジニアリングツールを駆使してお客様の課題を解決します。

クリーンルーム実験室 評価設備 分析・評価技術 気流シミュレーション 微粒子挙動シミュレーション

富士CR技術キーワード

半導体プロセスルール

液晶マザーガラス世代

富士CR実績

1970年代 1980年代 1990年代 2000年代 2010年代

1,500nm 800nm 600nm 350nm 250nm 180nm 130nm 90nm 65nm 45nm 32nm 22nm

システム天井方式CR DCブラスレスFFU

ACタイプFFU

半導体工場CRシステム 液晶工場CRシステム ケミカル汚染対策CRシステム 局所化対応システム

クリーンルーム省エネ化推進 磁気ディスク媒体工場CRシステム

PDP工場CRシステム 有機EL工場クリーンシステム

気流シミュレーションの活用 搬送装置用CRシステム

環境監視システム

複数台運転FFUノンシール方式内装パネル

大風量FFUCR監視システム

クリーンルーム実験室を保有し、開発品の検証・評価、システム設計の検証などを実施しています。

風洞試験機や無響室などの設備を使用して、特性・騒音・振動・放射ノイズなどの様々な測定・評価を実施できます。

お客様のクリーンルームにおけるパーティクル・気流・温湿度・ケミカルガスなどの分析・評価を実施し、改善提案を行います。

コンピュータシミュレーションにより、装置内部やクリーンルームの気流状況、温度分布などを予測します。

動的状態における微粒子挙動シミュレーションを可能にしました。装置稼働時における塵埃の挙動を予測し、装置設計やシステム設計に役立てることができます。

富士電機なら、より効果的でスムーズに省エネを 実現 3

富士電機のクリーンルーム開発の歩み

エンジニアリングツール

第3世代 第7,8世代 第10世代第4世代 第6世代

第5世代

クリーン機器の開発・製造を開始

クリーンベンチ

65 66C L E A N R O O MC L E A N R O O M

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リプレース

富士電機は40年来、常に最先端クリーンルームシステムのサプライヤーであり続け、技術と安全の革新に挑んでいます。

最新技術のそばには、いつも富士電機のクリーンルーム。

豊富な実績と経験を有する富士電機ならではの、充実したエンジニアリングツールを駆使してお客様の課題を解決します。

クリーンルーム実験室 評価設備 分析・評価技術 気流シミュレーション 微粒子挙動シミュレーション

富士CR技術キーワード

半導体プロセスルール

液晶マザーガラス世代

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1970年代 1980年代 1990年代 2000年代 2010年代

1,500nm 800nm 600nm 350nm 250nm 180nm 130nm 90nm 65nm 45nm 32nm 22nm

システム天井方式CR DCブラスレスFFU

ACタイプFFU

半導体工場CRシステム 液晶工場CRシステム ケミカル汚染対策CRシステム 局所化対応システム

クリーンルーム省エネ化推進 磁気ディスク媒体工場CRシステム

PDP工場CRシステム 有機EL工場クリーンシステム

気流シミュレーションの活用 搬送装置用CRシステム

環境監視システム

複数台運転FFUノンシール方式内装パネル

大風量FFUCR監視システム

クリーンルーム実験室を保有し、開発品の検証・評価、システム設計の検証などを実施しています。

風洞試験機や無響室などの設備を使用して、特性・騒音・振動・放射ノイズなどの様々な測定・評価を実施できます。

お客様のクリーンルームにおけるパーティクル・気流・温湿度・ケミカルガスなどの分析・評価を実施し、改善提案を行います。

コンピュータシミュレーションにより、装置内部やクリーンルームの気流状況、温度分布などを予測します。

動的状態における微粒子挙動シミュレーションを可能にしました。装置稼働時における塵埃の挙動を予測し、装置設計やシステム設計に役立てることができます。

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