Upload
nguyenduong
View
217
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
82
��
=NK ��
�� !W=o~Çáñ=p~äîá~É=jáäíáçêêÜáò~É
�� W=��
�� !"W=a~åëÜÉå
=OK ��
�� !"#$%&'=p~äîá~=ãáäíáçêêÜáò~=_ÖÉK=�� !"!#$%&'()�� !"#$%&$'( )*+
=PK ��
�� !"#$%&'()*!+$ ,-$./01$234$'5678�� !"#$NM�OM=Åã�� P�NM=ãã�� !"#$%"#&'(&�� !"#$%&'()*+,-.)/012345"6789):;��� !"�#$%&'()*+,-./0123.40563'78�� !"#�$%&�'()*+,-./�0/12- =E� OVF
=QK ��
QKN �� !=E��=fffF
�� �� ! Q � U�� !"#$%&'()#*+,-./�0/�1�� !"#$%&'()*+,-./�0123*45657*89�� !"#$%&'()'� #*+,-./01#123�*4�� !"#$%&'#()*% +,-./ 0� =E�PMF
���� !"#$%&'()*+,-./,0%12345� 60�� NO � NRN = µã �� !"#$%&'()*+(,-./001
83
��
�� !"#$%&'()*'+,-./0123450'67NN�SM=µã�� !"#$%&'()*+,-�./0123*+45�� !"# P � NOM=µã � =E� PNF
QKO �� !
���� !"#�� !"=EcÉ`ä
P� Se
OlF=VKM=Ö�� ! NMM=ãi��
�� !�� !" PKM=Ö �� NMMJãi�� !"#$% PM=ãi�� !" NR �OM=�� !"#$% &'$()*+,-#./=UM=�=�� !"#$�� !" P� R=ãi�� !"#$%&' O=ãi�� !"#$%&'�� O�� !"#$
QKP �� !"#=x��=fsE^Fz
QKPKN �� !"#$%&'(
�� !"�� !"#$%&�� !" NKM=ãÖ�� ! N=ãi�� !�� ff
^�� !"
�� ! ff^=NKM=ãÖ�� ! N=ãi�� !
�� �� !"=ESM � UM=�F=J�� ! J�� =ERWPWOI=îLîF=�� !��
�� !"�� !" NKM=Ö �� RMJãi�� !"#$% NM=ãi�� !"� N�� !"#$%&' NM ��=E� NOMM=ñ=ÖF=�� !"#$�� !"#$%& RM=�� !"#$%&'() MKR= ãi ���� !"
��
84
� PM==�� !"#$%&'
^K=��===_K=�� !===`K=�� ===aK=�� !
NK=�� ===OK=��===PK=�� ===QK=�� ===RK=�� ===SK=��
A
C
D B
1
2
3
4
6
5
1
2
3
4
6
5
50 µm
30 µm 100 µm
��
85
1a 2a 3a
4b4a
5b5a 6a
� PN==�� !"#$%&
NK=�� !E��F===OK=�� !E��F===PK=�� !"#$%===QK=�� !"RK=�� !===SK=�� !"
~K=�� !"#$%===ÄK=�� !"#$%
100 µm
100 µm
100 µm
86
��
�� !�� !"#=x��fsE^Fz=�� !"#$%&'()&'(ff
^�
�� !"#$� !%Q=µi�� !"#$%&cORQ�� !"
�� !"#$%&'%&(=Q=Åã�� �!"#$%&�'()�� !"#$%&'()=EORQ=åãF=�� !"#$ o
��
�� !"#$%&'()*+()* ff^�� !" o
�� !
�� !"#$%
QKPKO �� !"#$%&'(
�� !"�� !"#$%&�� !" OKM=ãÖ�� ! N=ãi�� !�� _�� !"�� ! _=QKM=ãÖ�� ! N=ãi�� !
�� ��� J�� ! J �� J �� J ��=ENRWOMWNMWNMWNI=îLîF=�� ��
�� �� !"=EcÉ`ä
P� Se
OlF=PKP=Ö�� ! NMM=ãi ��=EVSBF=��
�� !"�� !" NKM=Ö �� OMMJãi�� !"# RM=ãi�� !"#$�� !"#$%&'($PM�� !"#$%&'(RMJãi���� !" NM ��=E� NOMM=ñ=ÖF=�� !"# O=j�� ée ��� O�� !"#$%&'( P�� � NM=ãi�� !"#$%�� !"#$ %&'()* O=ãi�� !"#$%&
�� !�� !"#=x��fsE^Fz=�� !"#$%&'()*+(=_=��� !"#$� !%=O=µi�� !"#$%&=c
ORQ=�� !"
�� !"#$%&'%&(=U=Åã�� �!"#$%&�'()�� !"#$%&'=NNM=�=��=NM=�� !"#$%&' (�� o
��
87
��
�� !"#$%&'()*+,-* _�� !" o�� !"#$
�� !"
QKQ �� !"#$%&#'(=E��=uffF
�� !"�� !"#$%&' píÇJpíçÅâ=ENMMM=ãÖLiF�� !" RKM=ãÖ�� ! R=ãi�� !"#$ JNM=�� !"#$%�� !"#$%& píÇJcm=ENMM=ãÖLiF�� !"#$%&'( MKR=ãi �� RJãi�� !"#$%&'(
�� !"�� !" MKO=Ö �� RMJãi�� !"#$% NM=ãi�� !" PM ��� ! R��=E� NOMM=ñ=ÖF=�� !"#$ ORJãi�� !"# NM=ãi� RM Jãi �� !"#$%&'()*+,-./0��%1234VM=�� ! PM�� !" #$% &'()*+,-./%012�� !"#$%&'(")*+#,-".= Q =�� !"#$%&MKOJµã�� !=EmqcbF=�� !"#$%&'()
�� !�� !"#$%& OUM=åã�QKS=ñ=ORM=ãã�� !"#$%=ER=µãF=��� !"# NKM=ãiL�� !"#$%&'(
�� � J ��J �� ��E��F EVMWNMWMKQI=îLîFEBI=îLîF EBI=îLîF
��
M� QM NMM ➔ TM M ➔ PM �� !QM� RM TM ➔ OM PM ➔ UM �� !RM� TM OM ➔ NR UM ➔ UR �� !
�� !"#$�� !"#$%&'( píÇJcm=OM=µi�� !"#$%�&'() R�� !"#$%&'()*+,-./0'123456789:;<� PKMB�� !"#$%&'()*+,-./01 OKMB�� !"#�� !"#$%&'() RMIMMM �
����
88
��
�� !�"#$%&'()* P ��= E� POF=�� !"#$%&'NKR �
�� !�� !"#$%&'()* píÇJcm�� !"#$ OM=µi�� !"�� !"#$��%&'()*+,- píÇJcm�� !"#$%&'�� !"#$%&'()*+, T�� !=E� POF=�� !"#$%�� !"#$%&' ()*+,� píÇJcm�� !"#$%&'(�� !"#$%&'()*+,-./0123)*+,-./014�� !"#$%& OKMB�� !uff�� !"#$%&'()*+,
�� !"# T�� !"#$%&'()*+,-./ NM �
� NM==�� !" T�� !"#$%&'()*+,-�� �� !"# �� !
N=E�� ! MKOP � MKMPO=E�� !"#$%&'F NKMM JP NKMP � MKMPQ=E�� _F NKNM � MKMPR NKNR � MKMPS=E�� !F NKUU � MKMPT=E�� ff
^F OKMO � MKMQ
� PO==�� !"#$%&'(
89
��
�� !"#$%&'()*+#"=E�POF=�� !"#$%&'()T�� !"
=RK ��
RKN �� =E�� sF=�=�� !"#$%
RKO �� !=E�� sfF=�=�� !"#$%
RKP �� !=E�� sffF=�=�� !"#$%
RKQ ��=E�� sfffF=�=�� OKMB �
RKR ��=E�� fuF
�� !"#$ UKMB ��� !"#$�%& OKMB �
RKS ��=E�� uF=�=�� NOKMB �
=SK �� =E�� ufF
�� !"#=E�� F=�� ! RTKMB ��� !"#=E�� F=�� ! ROKMB �
=TK �� !
�� =fsE_F=��
TKN ��� ff^�� !
�� !"�� ff
^�� !"# píÇJpíçÅâ=ENMM=ãÖLiF
�� !"#$ ff^=RKM=ãÖ�� ! RM=ãi�� !"#$ JNM=�� !
�� !
90
��
�� ff^�� !" píÇJ^p
�� !"#$ ff^�� ! píÇJpíçÅâ�� !"#$%&'()*+
ff^�� R � NM � OM � RM � NMM=ãÖLi�� !"#$%
�� !"�� !"#$% MKR= Ö �� NMJãi�� !"#$% J�� != EUWOIîLîF=�� ! R=ãi�� !"#$% PM�� !" R ��=E� RQM=ñ=ÖF=��� !"# ORJãi�� !"#$%=Q=�� !"#$%&'() �� !"#$%#&=MKOJµã=�� !=EmqcbF=�� !"#
�� !�� !"#$%& OTM=åã�QKS=ñ=ORM=ãã�� !"#$%=ER=µãF=��� !"# NKM=ãiL�� !"#$% J �=ETRWORI=îLîF=�� !"#
�� !"#$�� ! ff
^�� !" píÇJ^p=EOM=ãÖLiF=OM=µi�� !"#$%�&
�� R�� !"#$%&'()*+,-%. ff^�� !"#$%
�� !"=PKMB�� ! ff^�� !"#$%&'()*+,=OKMB�
�� !"#$%& ff^�� !"#$ OIMMM �
�� !�"#$% ff^�� !�"#$%&'()*+ NKR �
�� !�� ! ff
^�� !"#$ píÇJ^p �� OM=µi�� !"#$%�&'
�� !"#$%& ff^�� !"#$%&'()*+,-.&' R �
�� !"#$%&'()*+,-.
�� !�� !"# OM=µi�� !"#$%�&'(#$)*+,-. ff
^�
�� !píÇJ^p�� !"#$ ff^�� !"#$%&'()*+,-
�� !"#ff^�� !"#$%&'ff
^�� !"#$�%�&'(
RKMB�� !"#$%&'=fsE_F=�� !"#$%&'()* ff^��
�=EãÖLiF�� !"#$%&' ff^�� !"#
���� !"#$%!&'() ff
^=E`
NV=e
NU=l
PF=�� ! MKNOB �
91
��
TKO �� !"#$! _�� !
�� !"�� !"#$%&' píÇJpíçÅâ=EOMMM=ãÖLiF�� !"#$% NMKM=ãÖ�� ! R=ãi�� !"#$ JNM=�� !�� !�� _�� !"# píÇJpíçÅâ=EOMMM=ãÖLiF�� !"#$ _=NMKM=ãÖ�� ! R=ãi�� !"#$ JNM=�� !�� !�� !"#$! _�� !"#$%& píÇJfåí=E�� ! OM=ãÖLi ���� _=QMM=ãÖLiF�� !"#$%&'()*+ MKN=ãi�� !_�� !"# O=ãi�� NMJãi�� !"#$%&'()!* RMB�� !"#�� !"#$! _�� !"#$ píÇJ^p�� !"#$%&'(% _�� !"#$%& píÇJfåí�� ! RMB�� !"#$%&'()*+ N � O � R � NM � OM=ãÖLi�� ! _ ��� OM � QM � NMM � OMM � QMM=ãÖLi�� !"#$%&'(
�� !"�� !"#$% MKN=Ö��NMJãi�� !"#SMB��R=ãi�� !�� ! PM�� !" R ��= E� RQM=ñ=ÖF=�� !"#$ ORJãi ���� !"# P�� !"#$%&'() *$+,-�. MKOJµã ��� =EmqcbF=�� !"#
�� !�� !"#$%& PPM=åã�QKS=ñ=ORM=ãã�� !"#$%=ER=µãF=��� !"# NKM=ãiL�� !"#$%=EMKQBI=îLîF=J��=ETUWOOI=îLîF=��� !"
�� !"#$�� !"#$%&' píÇJ^p=ER=ãÖLiF=OM=µi�� !"#$%�&'��=R=�� !"#$%&'()*+,-./0123456789�� ! PKMB�� !"#$%&'()*+,-./01 OKMB�� �� !"#$%&'()*+, RIMMM �
�� !�"#$%&'()*'+,-./01234 NKR �
��
92
��
�� !�� !"#$%" _�� !"#$%& píÇJ^p �� OM=µi�� !�� !"#$%� &'()*+,-./,_�� !"#$%&'�� !"#$%&'()*+#$=R=�� !"#$%&'()*+�� !
�� !�� !"#OM=µi�� !"#$%�&'(#$)*+,-./01�� _�� !"#$ píÇJ^p�� !"#$%&'()*+,-./�� !"#$%&'()*+(_�� !"#$%&'()*+(_�� !"#$�%&�'() RKMB�� !"#$%&'=fsE_F=���� !"#$%&'()*+,)_�� =EãÖLiF�� !"#$%&�� !"� _�� !"#
���� !"#$%!&'()* = E`
NUe
NSl
UF =�� M KNTB�� ! _
E`PS
ePM
lNS
F=�� QKQB �