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De la physique à la microélectronique. Invention du transistor Fabrication d ’un transistor MOS Vue symbolique Fonctionnent du transistor La physique du transistor Les vues symboliques. Objectifs. Nous verrons comment est fabriqué un transistor MOS. - PowerPoint PPT Presentation
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1
De la physique à la microélectronique
Invention du transistor
Fabrication d ’un transistor MOS
Vue symbolique
Fonctionnent du transistor
La physique du transistor
Les vues symboliques
2
Objectifs
• Nous verrons comment est fabriqué un transistor MOS.
• Nous comprendrons son mode de fonctionnement en interrupteur ouvert ou fermé.
3
Le transistor Bipolaire
• J. Bardeen, W. Shockley, W. Brattain—Reçoivent en 1947, 10 $ pour la découverte du T bipolaire.— en 1956 le prix Nobel.
• W. Shockley —rédige la théorie en 1951.
• Définitions—Le transistor métal-oxyde-silium ou MOSFET.—Un cristal de silicium riche en trous est une région P—Une region riche en électrons est une région N
13
Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
ImplantationRécuit
Métal
P
PP
P
P
P
P P
P
PP
P
P
P
P
PP
16
Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Dépôt MétalliqueMasque 3 : interconnexion
Métal
Zone d’isolation n+n+
22
La physique du transistor
Zone désertée
Zone désertée
Bande interdite
Électrons
Bande de conduction
Bande de valence
Trous
23
La physique du transistor
Zone désertée
Zone désertée
Bande interdite
Électrons
Bande de conduction
Bande de valence
V. Grille < V. Seuil
24
La physique du transistor
Zone désertée
Zone désertée
Bande interdite
Électrons
Bande de conduction
Bande de valence
V. Grille > V. Seuil