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www.mirle.com.tw SMS 曝光機設備監測 功能簡介 產業應用-智慧工廠 SMS(Signal Monitor System) 系統主要功能是將曝光機設備所產生的基板訊號,藉由 量測工具平台將訊號紀錄並顯示訊號波形與頻譜,並分析與監測設備性能,依此推測 產品生過程中的穩定性。 產品簡介 架構說明 Plate Flatness 提供每一片曝光過程中的 AF 追焦資料,並建立相應 的資料庫訊息,並可結合 整片基板的生產訊息。 Stage Posture Monitor 將 Stage 移動精度狀況 (包含 Mask Stage 移動、 Plate Stage 移動、同期精度),以時頻分析 等等工具監控 Stage Flatness 機台使用一段時日,硬體 狀況隨之緩慢變化,Stage Flatness 可以協助客戶建立 經時變化管理,以及避免 生產品質發生變異。 曝光機 Real Time Analysis IPC & Display LAN Raw Feature Index Warning/Error Raw Feature Index Server CIM Off line Analysis

SMS 曝光機設備監測 - Mirle · 功能簡介 產業應用-智慧工廠 SMS(Signal Monitor System) 系統主要功能是將曝光機設備所產生的基板訊號,藉由 量測工具平台將訊號紀錄並顯示訊號波形與頻譜,並分析與監測設備性能,依此推測

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Page 1: SMS 曝光機設備監測 - Mirle · 功能簡介 產業應用-智慧工廠 SMS(Signal Monitor System) 系統主要功能是將曝光機設備所產生的基板訊號,藉由 量測工具平台將訊號紀錄並顯示訊號波形與頻譜,並分析與監測設備性能,依此推測

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SMS 曝光機設備監測

功能簡介

產業應用-智慧工廠

SMS(Signal Monitor System) 系統主要功能是將曝光機設備所產生的基板訊號,藉由量測工具平台將訊號紀錄並顯示訊號波形與頻譜,並分析與監測設備性能,依此推測產品生過程中的穩定性。

產品簡介

架構說明

Plate Flatness提供每一片曝光過程中的 AF 追焦資料,並建立相應的資料庫訊息,並可結合整片基板的生產訊息。

Stage Posture Monitor將 Stage 移動精度狀況 (包含 Mask Stage 移動、 Plate Stage 移動、同期精度),以時頻分析等等工具監控

Stage Flatness機台使用一段時日,硬體狀況隨之緩慢變化,Stage Flatness 可以協助客戶建立經時變化管理,以及避免生產品質發生變異。

曝光機 Real Time Analysis

IPC & Display

LAN

RawFeatureIndexWarning/Error

RawFeatureIndex

Server

CIM

Off line Analysis