ZQ Series - SMC Corporation型式表示方法薄形真空エジェクタ ZQ Series ZQ105 5 D311U K1 L C エジェクタユニット表1）電磁弁組合せ／ファンクション／定格電圧組合せ表

■デジタル真空圧力スイッチ　LED表示機能付

●NPN1出力＋アナログ出力●PNP1出力＋アナログ出力●NPN2出力●PNP2出力

■ワンタッチ管継手付

エジェクタエジェクタエジェクタ

従来品ZX ZQ

21.6mm 10mm 幅10mm質量10

9g幅10mm質量10

9g 単体

、真空圧力ス

イッチ、

サクション

フィルタ付

ポンプシステムポンプシステムポンプシステム

ZQ Series

薄形真空エジェクタ／薄形真空ポンプシステム

P.1022P.1038

1021

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

型式表示方法

薄形真空エジェクタ

ZQ Series

ZQ1 05 5 D311U K1 L C

エジェクタユニット

表1）電磁弁組合せ／ファンクション／定格電圧組合せ表

K1K1K2J1J1J2Q1Q2N1N2

電磁弁組合せ記号

ファンクション記号

無記号

Y無記号無記号

Y無記号無記号無記号無記号無記号

適用定格電圧（V）

AC100

－

－

－

●

－

－

－

●

－

－

※上表q～!0以外の組合せはできませんのでご注意ください。

AC200

－

－

－

●

－

－

－

●

－

－

AC110

－

－

－

●

－

－

－

●

－

－

AC220

－

－

－

●

－

－

－

●

－

－

DC24

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

DC12

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

q

w

e

r

t

y

u

i

o

!0

組合せ番号

OrderMade オーダーメイド仕様P.1035参照

q w e r t y u i o !0 !1 !3!2

qノズル呼び径

050710

ø0.5

ø0.7

ø1.0

w排気形式

1U3M

単体用サイレンサ付

マニホールド用サイレンサ付

e電磁弁組合せ（表1参照）

記号

K1K2注1）

J1J2注1）

Q1Q2N1N2

供給弁

ノーマルクローズ

ノーマルオープン



ラッチングプラスコモン


ラッチングマイナスコモン


破壊弁



なし

なし


なし


なし

注1）電磁弁組合せにおいてK2, J2（供給弁ノーマルオープン）を選定された場合、長時間（10分以上）真空停止する際には供給弁を連続通電しないで供給エアを停止してください。

rファンクション（表1参照）

無記号

Y標準タイプ（DCは1W）注2）

DC低ワットタイプ（0.5W）注2）電磁弁に長期通電することは避けて

ください。（製品個別注意事項の設計・選定の項を参照）

注3）1, 2, 3, 4のCE対応品はありません。

t電磁弁定格電圧（表1参照）

1注3）

2注3）

3注3）

4注3）

56

AC100V（50/60Hz）

AC200V（50/60Hz）

AC110V（50/60Hz）

AC220V（50/60Hz）

DC24V

DC12V

［オプション］

1022A

!1継手（Vポート）注9）

注9）Vポート継手、Pポート継手がいずれも不要の場合、型式表示部は無記号または－00のどちらでも対応できます。

記号

012345

部品品番

－

KJS23-M5

KJS04-M5

KJS06-M5

KJL23-M5

KJL04-M5

適用チューブ外径

継手なし（M5×0.8）

ø3.2（ストレート）

ø4（ストレート）


ø3.2（エルボ）

ø4（エルボ）

!2継手（Pポート）注9）注10）

記号

0235注10）マニホールドタイプは対応できません。

適用チューブ外径




ø4（エルボ）

部品品番

－

KJS04-M5

KJS06-M5

KJL04-M5

yリード線取出し方法

L

LO

G

L形プラグコネクタ、リード線長さ0.3mランプ、サージ電圧保護回路付

L形プラグコネクタ、コネクタなしランプ、サージ電圧保護回路付

グロメット、リード線長さ0.3m（ラッチング、ACタイプは対応不可）

u手動操作方法注4）

無記号

B

ノンロックプッシュ式ラッチングタイプ：プッシュロック式

ロック付（Q1、Q2、N1、N2は対応不可）

注4）供給弁がラッチングタイプの場合手動操作方法は無記号のみ対応可能です。この場合、供給弁、破壊弁はロック付となります。

i真空圧力スイッチ、サクションフィルタ仕様注5）

F

D31注6）

D32

D51注6）

D52

サクションフィルタのみ付

1点、NPN出力＋アナログ出力、サクションフィルタ付、圧力範囲－100～0kPa

2点、NPN出力、サクションフィルタ付、圧力範囲－100～0kPa

1点、PNP出力＋アナログ出力、サクションフィルタ付、圧力範囲－100～0kPa

2点、PNP出力、サクションフィルタ付、圧力範囲－100～0kPa

注5）本製品に組み込まれているフィルタは簡易的なものです。ダストの多い環境等で使用する場合、本製品のフィルタでは目詰りが早くなるため、エアサクションフィルタZFA, ZFB, ZFCシリーズを併用してください。

注6）D31, D51のCE対応品はありません。

注7）CNのCE対応品はありません。

oスイッチリード線取出し方法

CCL

CN注7）

コネクタタイプ、リード線長さ0.6m

コネクタタイプ、リード線長さ3m

コネクタタイプ、コネクタなし

!0チェック弁注8）

無記号

Kなし

チェック弁付

!3CE対応

無記号

Q―

CE対応品

q真空保持用としてはご使用になれません。w破壊弁を使用してください。（破壊弁がないとワークがはずれないことがあります。）

警告

注8）チェック弁は、マニホールドで使用時にサイレンサからの排気が真空ポート側に吹き出すのを抑制する機能がありますが、使用条件によっては、期待する抑制効果が得られないことがありますので、ご使用に際しては実機にて十分検証を行ってください。また完全に排気エアの吹出しを防止するには、単体仕様にて隣接するエジェクタの排気部が干渉しないよう十分にスペースを空けて設置してください。

本サクションフィルタのフィルタケースはナイロン製です。アルコール等の化学薬品が付着すると破損します。またそのような雰囲気中での使用についても避けてください。

警告

1023

薄形真空エジェクタ ZQ Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

流量特性・排気特性流量特性の図の見方

ZZQ1 07 B CS連数注）

型式表示方法

破壊圧供給（PD）ポート

B

C

なし（破壊圧力はPポートより共通供給されます）あり（Pポートと個別に供給できます）

排気仕様S サイレンサ付（両側）

空気圧供給（P）ポート位置B 両側

0102

08

1連2連

8連注）同時作動させる場合はノズル呼び径により連数が異なります。

最大同時作動連数ノズル呼び径

ø0.5ø0.7ø1.0

最大同時作動連数8連6連4連

マニホールド

……

マニホールドタイプ手配例

ZZQ108-BSB → 1ヶ＊ZQ1053M-K1Y5L-D31C→ 4ヶ（1連目～4連目）＊ZQ1103M-K1Y5L-D31C→ 4ヶ（5連目～8連目）

注）真空ポートを正面にして左から1連目になります。

kPa

MO

DE

SET1

SET2

S1S2

RUN L

HL

H

kPa

MO

DE

SET1

SET2

S1S2

RUN L

HL

H

kPa

MO

DE

SET1

SET2

S1S2

RUN L

HL

H

kPa

MO

DE

SET1

SET2

S1S2

RUN L

HL

H

kPa

MO

DE

SET1

SET2

S1S2

RUN L

HL

H

kPa

MO

DE

SET1

SET2

S1S2

RUN L

HL

H

kPa

MO

DE

SET1

SET2

S1S2

RUN L

HL

H

kPa

MO

DE

SET1

SET2

S1S2

RUN L

HL

H

ZQ1053M-K1Y5L-D31C ZQ1103M-K1Y5L-D31C

１連目

２連目

３連目

４連目

５連目

６連目

７連目

８連目

真空ポート

左右

配管

製品個別注意事項

流量特性は、エジェクタの真空圧力と吸込流量の関係を表わし、吸込流量が変化すると真空圧力も変化することを示しています。一般には、エジェクタの標準使用圧力での関係を示しています。図で、Pmaxは最高真空圧力、Qmaxは最大吸込流量を示しています。カタログ等で仕様として掲載されている値はこの値です。真空圧力の変化のしかたについて、順を追って説明します。qエジェクタの吸込口を塞ぎ、密閉すると吸込流量は0となり、真空圧力は最高（Pmax）となります。

w吸込口を序々に開き、空気が流れる（空気が漏れる）ようにすると、吸込流量は増加しますが、真空圧力は低くなります。（P1とQ1の状態）

eさらに吸込口を開け、全開とすると、吸込流量は最大（Qmax）となりますが、この時の真空圧力はほとんど0（大気圧）となります。このように、吸込流量が変化すると、真空圧力も変化します。言い換えますと、真空ポート（真空配管）に漏れがない場合は真空圧力は最高となりますが、漏れ量が増えるに従って真空圧力が低下し漏れ量と最大吸込流量が等しくなると真空圧力はほとんど0となります。通気性のあるワークや漏れのあるワークを吸着させる場合は、真空圧力があまり高くなりませんので注意が必要です。

注意ZQの選定および、サイジングについては、P.825～843の真空用機器機種選定方法をご参照ください。

ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意については前付38、39、真空用機器／共通注意事項についてはP.844～846をご確認ください。

真空圧力

吸込流量

Pmax

P1

Q1 Qmax

最大吸込流量（

l/min（ANR））

空気消費量（

l/min（ANR））－80

－60

－40

－20

20

15

10

5

最高真空圧力（kPa）

供給圧力（MPa）0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5

最高真空圧力

空気消費量

最大吸込流量

ZQ105／排気特性


l/min（ANR））

空気消費量（


－60

－40

－20

60

50

40

30

20

10


供給圧力（MPa）

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5

最高真空圧力

空気消費量

最大吸込流量


－80

－60

－40

－20


吸込流量（l/min（ANR））

0 2 4 6 8 10

供給圧力0.35MPaZQ105／流量特性


－80

－60

－40

－20


吸込流量（l/min（ANR））0 5 10 15 20 25


－80

－60

－40

－20


吸込流量（l/min（ANR））0 5 10 15


l/min（ANR））

空気消費量（


－60

－40

－20

30

20

10最高真空圧力（kPa）

供給圧力（MPa）

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5

最高真空圧力

空気消費量

最大吸込流量


1024

ZQ Series

仕様

サクションフィルタ付注1）

スイッチ＋サクションフィルタ付注2）

マニホールド用エンドプレートAss'y

95g

109g

122g

単体

質量

注1）供給用弁、破壊用弁のコネクタ0.3mを含む。注2）供給用弁、破壊用弁のコネクタ0.3mとスイッチ用コネクタ0.6mを含む。

◎ マニホールドタイプの質量計算式（単体の質量）×連数＋（マニホールド用エンドプレートAss'yの質量）

例）スイッチ＋サクションフィルタ付8連の場合109g×8＋122g＝994g

ノーマルクローズタイプラッチングタイプノーマルオープンタイプ

VQ110 -□ ZQ1-VQ120-□

標準タイプ（1W）

VQ110-□

低ワットタイプ（0.5W）

VQ110Y-□

1W

0.5VA（5mA）

0.55VA（5mA）

1.0VA（5mA）

1.1VA（5mA）

1W0.5W

－

－

－

－

空気・不活性ガス

0.3MPa

5～50°C

不要

0.5MPa 0.45MPa

型式（P.1027の電磁弁型式表示方法参照）

使用流体

最高使用圧力

最低使用圧力

周囲温度および使用流体温度

給油

手動操作

コイル定格電圧

消費電力（電流値）

リード線取出し方法

種類

供給弁、破壊弁

DC

AC100V

AC110V

AC200V

AC220V

グロメット

L形プラグコネクタ（ランプ・サージ電圧保護回路付）

0.6VA（6mA）

0.65VA（5.9m）

1.2VA（6mA）

1.3VA（5.9mA）

L形プラグコネクタ

（ランプ・サージ電圧保護回路付）

－

－

－

－

グロメット

DC12・24V、AC100・110・200・220V DC12・24V

ノンロックプッシュ式／ロック式（要工具形）プッシュロック式

DC12・24V、AC100・110・200・220V

ノンロックプッシュ式／ロック式（要工具形）

DC12・24V


LN

エジェクタ

注）最大吸込流量は標準供給圧力で得られます。

0.5

5

14

0.35MPa 0.45MPa

ZQ1050.7

－80kPa

5～50℃

10

23

22

46

ZQ1071.0

ZQ110ノズル径 mm

最大吸込流量 l/min（ANR）

空気消費量 l/min（ANR）

最高真空圧力

供給圧力範囲

標準供給圧力注）

使用温度範囲

型式

0.3～0.5MPa（ノーマルオープンタイプの場合：0.3～0.45MPa）

1025


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

構造図

仕様

構成部品

ポペット弁Ass'yノズルディフューザ破壊流量調整ニードル

電磁弁フィルタエレメント吸音材1（単体用）真空圧力スイッチ吸音材2（マニホールド用）

交換部品部品名材質部品番号

P.1027をご参照ください

XT534-5-001-AS

ZQ-SAE

P.1028をご参照ください

ZZQ-SAE

単体マニホ－ルド

q

w

e

t r

y

u

i

o

番号部品名材質

1234

番号

56789

－

アルミニウム合金



－

PVF

PVF

－

PVF

ZQ1S-D31□-□-AS

0～－100kPa

0～－99kPa

0.2MPa

空気・非腐食性・不燃性ガス

DC12～24V±10%

35mA以下［電源電圧DC24V、SW出力ON時（無負荷）］

5～50℃（ただし、氷結および結露しないこと）

動作時、保存時 35～85%RH（ただし結露しないこと）

500V、AC 1分間

50MΩ以上（充電部一括と圧力ポート、DC500Vメガにて）

80mA（1出力あたり）

30V（NPN出力時）

NPN出力：0.8V以下（流入電流80mA時）／PNP出力：1.2V以下（吐出電流80mA時）

2ms以下

2桁赤色LED表示

±3%F.S.±2digits

（D31、D51のみ適用）

1～5V±2.5%F.S.以下

±0.5%F.S.以下

型式（P.1028の真空圧力スイッチ型式表示方法参照）

定格圧力範囲

設定圧力範囲

耐圧力

適用流体

電源電圧

消費電流

周囲温度範囲

周囲湿度範囲

耐電圧

絶縁抵抗

スイッチ出力

最大負荷電流

最大印加電圧

残留電圧

応答時間

応差

表示

表示精度

出力表示灯

アナログ出力

出力電圧

直線性

真空圧力スイッチ

ZQ1S-D51□-□-AS ZQ1S-D32□-□-AS ZQ1S-D52□-□-AS

NPN1出力＋アナログ出力 PNP1出力＋アナログ出力 NPN2出力 PNP2出力

0～15%F.S.以下（可変） 2%F.S.以下（固定） 0～15%F.S.以下（可変） 2%F.S.以下（固定）

出力 ON時：赤LED点灯出力1 ON時：赤LED点灯／出力2 ON時：緑LED点灯

1026

ZQ Series

電磁弁定格電圧123456

AC100V（50/60Hz）AC200V（50/60Hz）AC110V（50/60Hz）AC220V（50/60Hz）

DC24VDC12V

型式表示方法

注）ラッチングタイプは無記号のみ対応可。

ZQ1-VQ1 2 0切換方式

電磁弁タイプ無記号標準（1W）シングル

電磁弁タイプ無記号

Y

LN

標準（1W）シングル

ラッチングラッチングプラスコモンラッチングマイナスコモン

低ワットタイプ（0.5W）※ACタイプは対応不可


DC24VDC12V

手動操作方法注）

無記号

B

ノンロックプッシュ式ラッチングタイプの場合プッシュロック式

ロック式

2 ノーマルオープン

切換方式1 ノーマルクローズ

5VQ1 1 0 5 L

L

注）取付用ビスは付属しています。

リード線取出し方法注）

L

LO

G

L形プラグコネクタリード線長さ0.3m

L形プラグコネクタコネクタなし

グロメット、リード線長さ0.3m※ラッチング、ACタイプは対応不可

電磁弁●コネクタAss'y品番表示方法

無記号6

102030

300mm600mm1000mm2000mm3000mm

リード線長さ

DCプラスコモンの場合・シングル

AXT661-14A-・ラッチング

AXT661-13A-DCマイナスコモンの場合

・ラッチングAXT661-13AN-

AC100Vの場合・シングル

AXT661-31A-



AXT661-35A-

・ラッチングAXT661-32A-

コネクタ・ソケット（3ヶ）のみ AXT661-12A

●プラグコネクタのリード線長さについてリード線付のバルブのリード線長さは、300mmです。リード線長さが600mm以上のバルブを手配する場合には、コネクタなしのバルブとコネクタAss'y品番を併記してください。

電磁弁コネクタAss'y品番

1027


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

ZQ1S-D AS31 Cチェック弁注）

無記号K

なしチェック弁付

q真空保持用としてはご使用になれません。w破壊弁を使用してください。（破壊弁がないとワークがはずれないことがあります。）

警告



CCLCN注）取付用ビスは付属しています。

コネクタタイプ、リード線長さ0.6mコネクタタイプ、リ－ド線長さ3mコネクタタイプ、コネクタなし

スイッチ仕様31325152

1点NPN出力＋アナログ出力、圧力範囲－100～0kPa2点NPN出力、圧力範囲－100～0kPa

1点PNP出力＋アナログ出力、圧力範囲－100～0kPa2点PNP出力、圧力範囲－100～0kPa

スイッチコネクタ品番C：ZS-20-5A-X102CL：ZS-20-5A-30-X102

ハウジング、ソケット品番ZS-20-A-X105

型式表示方法

真空圧力スイッチ設定方法

注）チェック弁にはマニホールド使用時にサイレンサからの排気が真空ポート側に吹き出すのを抑制する機能がありますが完全に吹き出しを防止するものではありません。ご使用に際しては実機にて十分検証を行ってください。また完全に排気エアの吹出しを防止するには、単体仕様にて隣接するエジェクタの排気部が干渉しないよう十分にスペースを空けて設置してください。

・圧力設定用トリマでON圧力を設定します。時計回りで高真空の設定となります。・設定の際は、トリマのミゾに合ったマイナスドライバを使用し、軽く指先で回す程度で行ってください。（回転トルク：0.025N・m以下）

ZQ1S-D31/-D51-ASの場合a 表示切替スイッチ（MODE）を「S」に合わせます。b圧力設定用トリマ（SET）を回し、スイッチ動作圧力を設定します。（表示部は設定された動作圧力値が表示されます。）c応差設定用トリマ（HYS）を回し、応差を設定します。d表示切替はスイッチ（MODE）を「RUN」に戻します。（表示部は真空配管ポートの圧力値が表示されます。）

・吸着確認に使用する場合には、吸着できる真空圧力の最低値に設定します。それ以下に設定した場合吸着ミスや、不十分な吸着状態でもスイッチがONしてしまいます。また、高すぎる設定では、吸着が良好でも、スイッチがONしない場合がありますのでご注意ください。

ZQ1S-D32/-D52-ASの場合a 表示切替スイッチ（MODE）を「S1」に合わせます。b圧力設定用トリマ1（SET1）を回し、スイッチ1動作圧力を設定します。（表示部はS1で設定された動作圧力値が表示されます。）c表示切替スイッチ（MODE）を「S2」に合わせます。d圧力設定用トリマ2（SET2）を回し、スイッチ2動作圧力を設定します。（表示部はS2で設定された動作圧力値が表示されます。）e表示切替スイッチ（MODE）を「RUN」に戻します。（表示部は真空配管ポートの圧力値が表示されます。）

圧力の設定方法

応差とは、出力信号がONする圧力と、出力信号がOFFをする圧力の差のことです。設定圧力はONする圧力になります。

応差

内部回路と配線例

表示切替スイッチ

圧力設定用トリマ1

圧力設定用トリマ2

ZQ1S-D31□-AS ZQ1S-D32□-AS

ZQ1S-D51□-AS ZQ1S-D52□-AS

圧力

圧力表示

センサ

動作LED

主回路

－88

茶：電源

黒：スイッチ出力

青：コモン

白：アナログ出力

負荷

圧力

圧力表示

センサ

動作LED

主回路

－88

茶：電源

黒：スイッチ出力白：アナログ出力

青：コモン

負荷

圧力

圧力表示

センサ

動作LED

主回路

－88

茶：電源黒：スイッチ出力1白：スイッチ出力2

青：コモン

負荷

負荷

圧力

圧力表示

センサ

動作LED

主回路

－88

茶：電源

黒：スイッチ出力1

白：スイッチ出力2青：コモン

負荷

負荷

表示切替スイッチ

圧力設定用トリマ

応差設定用トリマ

高真空

供給圧力設定圧力

大気圧 0

確実に吸着

吸着しない吸着不安定

高真空

高圧

設定圧力

大気圧 0

応差

ON

OFF

1028

ZQ Series

外形寸法図

J1タイプZQ1 1U J1□□□□ □ □□

ブラケットA（標準装備）

（グロメットタイプの場合）

リード線長サ（約0.3m）

（49.5）

P

PE

20.329.4

100.8

（ACタイプの場合）

（63.1）

3.5

真空ポート（V）注4）

（M5）

V

サクションフィルタ


排気部

SMC

kPa

MODE

SET

HYS

SRUNL

HL

H

（L形プラグコネクタの場合）

供給用パイロット弁

320.2

17.7 22.8

66.9

71.9

9.7

107注1）

（63.1）

P

PE

空気圧供給ポート（P）注4）

（M3、大気開放）

（M5）

パイロット圧排気ポート（PE）注4）

20.329.4

100.8

※3

※30.5

※（74.9）

4×ø3.5取付穴


破壊流量調整ネジ

※25

※33

※13.1※17.6 ※23

※32


（M5）

V



排気部

（本体取付穴）

SMC

kPa

MODE

SET

HYS

SRUNL

HL

H


供給用パイロット弁破壊用パイロット弁

320.2

17.7 22.8

71.9

9.7

2×ø3.2通

シ

107注1）

（63.1）

62.8

66.9

空気圧供給ポート（P）注4）（M3、大気開放）

（M5）

パイロット圧排気ポート（PE）注4）（

本体取付穴）

2×ø3.2通

シ

注1）外形図はZQ1 1U－K1□ □－D C□です。ZQ1 1U－K1□ □□－F□の場合は全長寸法が87.2となります。

注2）※寸法はブラケットA取付時の寸法です。注3）本体を取付ける際はトルク0.6±0.06N･mで締付けてください。

過大な締付トルクをかけるとボディが破損する可能性があります。注4）ZQシリーズの配管ポートでP、VポートはKJシリーズのワンタッチ継手を使

用することを前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。

56

56

注1）外形図はZQ1□1U－J1□ L－D Cです。ZQ1 1U－J1□□□□－Fの場合は全長寸法が87.2となります。

注2）ブラケットA取付時の寸法はK1タイプに準じます。注3）本体を取付ける際はトルク0.6±0.06N･mで締付けてください。



56

P

PE

EXH

V V V

回路図

P

PE

EXH

V V

68.3

68.3

K1タイプZQ1 1U K1□ □□ □□ □□5

6

回路図 F ��の場合ZQ1 1U K1� D � ��の場合��56 D �K ��の場合

1U J1��ZQ1 D � ��の場合 ��の場合F

1029


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器




P

PE

20.329.4

10

0.8

V 9.7

P

PE

20.329.4

10

0.8

V 9.7


排気部




320.2

17.7 22.8

2×ø3.2通

シ

87.2注1）

（68.4）


排気部



320.2

17.7 22.8

87.2注1）

（68.4）

62.8

空気圧供給ポート（P）注4）（M3、大気開放）

（M5）



2×ø3.2通

シ


（M5）


（M5）



（M5）


注1）外形図はZQ1 1U－K2 L－F□です。ZQ1 1U－K2 □□－D□□□の場合は全長寸法が107となります。




注1）外形図はZQ1 1U－J2 L－Fです。ZQ1 1U－J2 □□－D □の場合は全長寸法が107となります。




56

56

P

PE

EXH

V V V

回路図

P

PE

EXH

V V

外形寸法図

56

56

68.3

68.3

K2タイプZQ1 1U K2 □□ □□ □□5

6

J2タイプZQ1 1U J2 □□ □ □□5

6

回路図 D ��の場合�ZQ1 1U K2 ��の場合F�� 56 D �K ��の場合

ZQ1 1U J2 ��56 ��F の場合 D � ��の場合

1030

ZQ Series

外形寸法図

AB 0


P

PE

20.329.4

10

0.8

P

PE

20.329.4

10

0.8

V



排気部


SMC

kPa

MODE

SET

HYS

SRUNL

HL

H



320.2

17.7 22.8

66.9

71.9

9.7

2×ø3.2通シ

107注1）3.5

（63.1）

V



排気部


SMC

kPa

MODE

SET

HYS

SRUNL

HL

H



320.2

17.7 22.8

66.9

71.9

9.7

2×ø3.2通シ

107注1）3.5

（63.1）

62.8



（M5）




（M5）



（M5）


（M5）

AB 0



注1）外形図はZQ1 1U－ 1 L－D C□です。ZQ1 1U－ 1 □－F□の場合は全長寸法が87.2となります。




56

56

注1）外形図はZQ1 1U－ 2 L－D Cです。ZQ1 1U－ 2□□－Fの場合は全長寸法が87.2となります。




56

P

PE

EXH

V V V

P

PE

EXH

V V

Q2タイプZQ1 1U Q2□□ □ □□ZQ1 1U N2 □ □ □□

QN

QN

QN

QN

68.3

68.3

Q1タイプZQ1 1U Q1 □ □□ □□ZQ1 1U N1 □ □□ □□

5656

56

回路図 ZQ1 1 � D � ��の場合QN

56 F ��の場合 D �K ��の場合1U

回路図 F ��の場合D � ��の場合ZQ1 1U 2�� QN

1031


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

外形寸法図

マニホールドタイプ（PDポートなし）ZZQ1 BSB※ZQ1 3M □□□□ □□ □□


（M5）

V V V V

SMC

kPa

MODE

SET

HYS

SRUNL

HL

H

SMC

kPa

MODE

SET

HYS

SRUNL

HL

H

SMC

kPa

MODE

SET

HYS

SRUNL

HL

H

SMC

kPa

MODE

SET

HYS

SRUNL

HL

H

10.2

21 10




付属座金付属座金

107注1）

8.5

8.5

（72.4）

81

（60.1）

28.8

（63.6）

※9

※9

2×ø3.5

供給用弁

破壊用弁

共通空気圧供給ポート（P）（ワンタッチ管継手、適用チューブ径ø8）

排気口

パイロット圧排気ポート（PE）（ワンタッチ管継手、適用チューブ径ø4、大気開放）


PPE

PPE

（本体取付穴） 3

13

ピッﾁ=10

3.55.5

2×R1.75

75

8

L1

L2

62.8

12642

23652

34662

45672

56682

67692

786102

896112

寸法表連数n

（mm）

L1

L2

注1）外形図はZZQ1 －BSB※ZQ1 3M－K1□ L－D C□です。※ZQ1 3M－ □□□□－F□の場合は全長寸法が87.2となります。

注2）※寸法は付属の角座金を取付時の寸法です。注3）本体を取付ける際はトルク0.6±0.06N･mで締付けてください。

過大な締付トルクをかけるとボディが破損する可能性があります。注4）ZQシリーズの配管ポートでVポートはKJシリーズのワンタッチ継手を使用すること

を前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。

56

PPE

EXH

V V V V

PPE

EXH


回路図 ※ZQ1 3M K1�� D � ��の場合 ※ZQ1 3M K2�� D �K ��の場合 ※ZQ1 3M J1�� の場合F ※ZQ1 3M Q1�� の場合FK

1032

ZQ Series

外形寸法図

寸法表

L1

L2

連数n 126

42

236

52

346

62

456

72

566

82

676

92

786

102

896

112

注3）本体を取付る際はトルク0.6±0.06N・mで締付けてください。過大な締付トルクをかけるとボディが破損する可能性があります。

注4）ZQシリーズの配管ポートで、VポートはKJシリーズのワンタッチ継手を使用することを前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。

注5）破壊弁なし仕様を使用される場合には、ワーク離脱の為に真空破壊用回路を別途設けて使用してください。

注1）外形図はZZQ104-BSC※ZQ1 3M-K1□ L-D C※ZQ1 3M-K2 L-D □※ZQ1 3M-J1□ L-F※ZQ1 3M-Q1 L-D □です。※ZQ1 3M- □□□□-Fの場合は全長寸法が91.7となります。※ZQ1 3M- □□□□-D Cの場合は全長寸法が111.5となります。

注2）※ZQ1 3M- 2 □□-□ □の場合の寸法を示します。

56

565656

KJ

56

（mm）

マニホ－ルドタイプ（PDポートあり）ZZQ1 BSC※ZQ1 3M □□□□ □ □□

EXH EXH

P

VVV

PD

P

PE

V

PD

PE

回路図

※ZQ1 3M K1□ □□ D□ □0の場合

※ZQ1 3M K2□ □ D□ □0の場合

※ZQ1 3M J1□□□□ F □0の場合

※ZQ1 3M Q1 □ D□ □0の場合

56

56

56

66

68.9注2）

63.6

（300：リード線長サ）

62.4

111.5注1）90

（72.4）



PDPE P

0 BA

0BA

PDPPE

13.613.612.2

5.5 79

ピッチ＝10

13

8L

1

L2

破壊用パイロット弁破壊圧供給ポート（PD）（ワンタッチ管継手、適用チューブ外形ø4）パイロット圧排気ポート（PE）

（ワンタッチ管継手、適用チューブ外形ø4、大気開放すること）

共通空気圧供給ポート（P）（ワンタッチ管継手、適用チューブ外形ø8）

4×M5通シ（取付用）



aPk

CMS

V

k

aPk

CMS

VVV

HLH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

HLH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

aPCMS

HLH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

1021

10.2

真空ポーﾄ（V）（M5）

1033


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

外形寸法図

継手・継手型フィルタの取付寸法

Vポート〈サクションフィルタ・真空圧力スイッチ〉

Pポート

16.4

15.6

10.6

ø9.3

15.3

ø8.4

10

16.415.516.5

10.615.5

KJL04-M5KJL23-M5

適用チューブ径：ø3.2真空（V）ポート適用チューブ径：ø4

KJS06-M5KJS04-M5KJS23-M5 真空（V）ポート適用チューブ径：ø3.2

KJS06-M5KJS04-M5

適用チューブ径：ø4

適用チューブ径：ø4 適用チューブ径：ø6

空気圧供給（P）ポート適用チューブ径：ø6空気圧供給（P）ポート

真空（V）ポート真空（V）ポート

真空（V）ポート

適用チューブ径：ø4空気圧供給（P）ポート

15.6

ø9.3

KJL04-M5

1034

ZQ Series

マニホールドタイプ（PDポートなし）ZZQ1 B2B X125※ZQ1 3M □□□□ □□

外形寸法図

ZZQ1 B2B X125

ポート排気仕様

マニホールド連数※

排気口をポート排気仕様に変更したものです。

PE P

PE P

62

8

EXH.ポート2×Rc1/4

薄型真空エジェクタZQ Series

オーダーメイド仕様詳しい寸法・仕様および納期については、当社にご確認ください。

OrderMade

ポート排気仕様1

1035

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

マニホールドタイプ増減連方法

連数1連2連

8連

0102

08

ZQ－STB

六角穴付ボルト品番表示方法

b矢視図

w

r

r

y

y

y

e

t

t

t

q

y

05

作業手順

六角穴付ボルトqを緩めてはずす。

1.各エジェクタアッシrのガスケット溝に、マニホールド用エジェクタボディガスケットtを装着、また凸部外側に排気ブロック用ガスケットyを装着しておく。

2.エンドブロックLwの凸部外側に排気ブロックガスケットyを装着しておく。

3.エンドブロックReのガスケット溝にマニホールド用エジェクタボディガスケットtを装着しておく。

4.各エジェクタアッシrおよびエンドブロックLw、エンドブロックReを位置決めピン（a部、2ヶ所）を合わせて重ね六角穴付ボルトq（2本）で締付ける。（締付けトルク0.6N・m±0.06N・m）

分解

組立

123

4

56

部品名番号六角穴付ボルトエンドブロックＬエンドブロックＲ

エジェクタシステム

マニホ－ルド用エジェクタボディガスケット排気ブロック用ガスケット

品番

構成部品

注1）型式表示方法の詳細はP.1022、1023を参照してください。注2）本品番は10ヶセットとなります。

下記型式表示方法参照表1参照（y1ヶを含みます）表1参照（t1ヶを含みます）

ZQ-3-005-10AS注2）

ZQ-3-009-10AS注2）

ZQ1□□3M-□□□□□□-□□□□□（-Q）注1）

（t、y各1ヶを含みます）部品名エンドブロックLエンドブロックR

PDポートありZQ1L-2-BSB-ASZQ1R-2-BSB-AS

PDポートなしZQ1L-1-BSB-ASZQ1R-1-BSB-AS

表1

b

a部

a部

……

注）本品番は2本セットとなります。

1036

ZQ Series

A

1037

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

ZQ1000 U 5 D31K1 L C

エジェクタユニット

q w e r t y u i o !1!0

真空ポンプユニット

表1）電磁弁組合せ／ファンクション／定格電圧組合せ表

K1K1K2J1J1J2Q1Q2N1N2

電磁弁組合せ記号

ファンクション記号

無記号

Y無記号無記号

Y無記号無記号無記号無記号無記号

適用定格電圧（V）

AC100

－

－

－

●

－

－

－

●

－

－

※上表q～!0以外の組合せはできませんのでご注意ください。

AC200

－

－

－

●

－

－

－

●

－

－

AC110

－

－

－

●

－

－

－

●

－

－

AC220

－

－

－

●

－

－

－

●

－

－

DC24

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

DC12

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

q

w

e

r

t

y

u

i

o

!0

組合せ番号

qボディ形式

UM

単体用

マニホールド用

eファンクション（表1参照）

無記号

Y標準タイプ（DCは1W）注2）

DC低ワットタイプ（0.5W）注2）

注2）電磁弁に長期通電することは避けてください。（製品個別注意事項の設計・選定の項を参照）

r電磁弁定格電圧（表1参照）

1注3）

2注3）

3注3）

4注3）

56

AC100V（50/60Hz）

AC200V（50/60Hz）

AC110V（50/60Hz）

AC220V（50/60Hz）

DC24V

DC12V

w電磁弁組合せ（表1参照）

記号

K1K2注1）

J1J2注1）

Q1Q2N1N2

供給弁









破壊弁



なし

なし


なし


なし

注1）電磁弁組合せにおいてK2, J2（供給弁ノーマルオープン）を選定された場合、長時間（10分以上）真空停止する際には供給弁を連続通電しないで供給エアを停止してください。

本製品は真空停止時吸着部が大気開放されません。K1、K2、Q1、N1はワーク離脱時、破壊弁を使用してください。J1、J2、Q2、N2はワーク離脱時、真空破壊用回路を別途設置して使用してください。

薄形真空ポンプシステム

ZQ Series型式表示方法

［オプション］

注3）1, 2, 3, 4のCE対応品はありません。

1038A

o継手（Vポート）注8）

注8）Vポート継手、PS、PVポート継手がいずれも不要の場合、型式表示部は無記号または－00のどちらでも対応できます。

記号

012345

部品品番

－

KJS23-M5

KJS04-M5

KJS06-M5

KJL23-M5

KJL04-M5

適用チューブ径


ø3.2（ストレート）



ø3.2（エルボ）

ø4（エルボ）

!0継手（PS、PVポート）注8）注9）

記号

0235注9）マニホールドタイプは対応できません。

適用チューブ径




ø4（エルボ）

部品品番

－

KJS04-M5

KJS06-M5

KJL04-M5

y手動操作方法注4）

無記号

B


ロック付（Q1、Q2、N1、N2は対応不可）

注4）供給弁がラッチングタイプの場合、手動操作方法は無記号のみ対応可能です。この場合、供給弁、破壊弁はロック付となります。

u真空圧力スイッチ、サクションフィルタ仕様注5）

F

D31注6）

D32

D51注6）

D52

サクションフィルタのみ付

1点、NPN出力＋アナログ出力、サクションフィルタ付、圧力範囲－100～0kPa

2点、NPN出力、サクションフィルタ付、圧力範囲－100～0kPa

1点、PNP出力＋アナログ出力、サクションフィルタ付、圧力範囲－100～0kPa

2点、PNP出力、サクションフィルタ付、圧力範囲－100～0kPa

注5）本製品に組み込まれているフィルタは簡易的なものです。ダストの多い環境等で使用する場合、本製品のフィルタでは目詰りが早くなるため、エアサクションフィルタZFA, ZFB, ZFCシリーズを併用してください。

注6）D31, D51のCE対応品はありません。

iスイッチリード線取出し方法

CCL

CN注7）

コネクタタイプ、リード線長さ0.6m

コネクタタイプ、リード線長さ3m

コネクタタイプ、コネクタなし

tリード線取出し方法

L

LO

G

L形プラグコネクタ、リード線長さ0.3mランプ、サージ電圧保護回路付

L形プラグコネクタ、コネクタなしランプ、サージ電圧保護回路付


本サクションフィルタのフィルタケースはナイロン製です。アルコール等の化学薬品が付着すると破損します。またそのような雰囲気中での使用についても避けてください。

警告

注7）CNのCE対応品はありません。

!1CE対応

無記号

Q―

CE対応品

1039

薄形真空ポンプシステム ZQ Series

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

表1）マニホールド空気圧供給ポート位置マニホールド左右

ポート位置

左右PS

L（左側）R（右側）L（左側）R（右側）

－●注）

－●

PV●－●－

PD－－●●

PS●注）

－●－

PV－●－●

PD－－●●

B

C

PDポート

ZZQ1

連数

型式表示方法

マニホールドタイプ手配例

破壊圧供給（PD）ポート

B

C

真空圧供給ポート（PV）ポート位置（表1参照）LR

左側右側

0102

08

1連2連

8連

マニホールド

……

ZZQ108-R0B → 1ヶ＊ZQ1000M-K15L-D32C（-Q）4ヶ（1連目～4連目）＊ZQ1000M-K1Y5L-D52C（-Q）4ヶ（5連目～8連目）注）真空ポートを正面にして左から1連目になります。

左右

0

ZQ1000M-K15L-D32C ZQ1000M-K1Y5L-D52C

１連目

２連目

３連目

４連目

５連目

６連目

７連目

８連目

真空ポート

HL

HL

NUR2S

1S

2TES1TES

ED

OM

a Pk

HL

HL

NUR2S

1S

2TES1TES

ED

OM

a Pk

HL

HL

NUR2S

1S

2TES1TES

ED

OM

a Pk

HL

HL

NUR2S

1S

2TES1TES

ED

OM

a Pk

HL

HL

NUR2S

1S

2TES1TES

ED

OM

a Pk

HL

HL

NUR2S

1S

2TES1TES

ED

OM

a Pk

HL

HL

NUR2S

1S

2TES1TES

ED

OM

a Pk

HL

HL

NUR2S

1S

2TES1TES

ED

OM

a Pk

08

なし（破壊圧力はPSポートより共通供給されます）あり（PSポートと個別に供給できます）

注）各ポート位置は、真空ポートを正面にして左側、右側で表しています。破壊圧力はPSポートより共通供給されます。

1040

ZQ Series

A

仕様

単体サクションフィルタ付注1）

スイッチ＋サクションフィルタ付注2）

マニホールド用エンドプレートAss'y

95g

109g

122g

質量真空／破壊切換弁操作方法Cv値

使用温度範囲

真空圧力供給ポート（PV）

破壊圧力供給ポート（PD）

パイロット圧力ポート（PS）

供給圧力範囲

パイロット方式

0.11

0～－101.3kPa

5～50℃


かつPD圧≦PS圧

共通

注1）供給用弁、破壊弁のコネクタ0.3mを含む。注2）供給用弁、破壊弁のコネクタ0.3mとスイッチ用コネクタ0.6m

を含む。

◎ マニホールドタイプの質量計算式（単体の質量）×連数＋（マニホールド用エンドプレートAss'yの質量）

例）スイッチ＋サクションフィルタ付8連の場合109g×8＋122g＝994g

供給弁、破壊弁

使用流体最高使用圧力最低使用圧力周囲温度および使用流体温度給油手動操作コイル定格電圧

型式（P.1042の電磁弁型式表示方法参照）

消費電力（電流値）

リード線取出し方法

タイプ

項目標準タイプ（1W）

ノーマルクローズタイプ

低ワットタイプ（0.5W）ラッチングタイプノーマルオープンタイプ

VQ110-□

1W

0.5VA（5mA）

0.55VA（5mA）

1.0VA（5mA）

1.1VA（5mA）

0.5W

－

－

－

－

1W0.6VA（6mA）

0.65VA（5.9mA）

1.2VA（6mA）

1.3VA（5.9mA）

L形プラグコネクタ


－

－

－

－

グロメット


ノンロックプッシュ式／ロック式（要工具形）

グロメット


DC12・24V、AC100・110・200・220V DC12・24V、AC100・110・200・220V DC12・24VDC12・24V

プッシュロック式ノンロックプッシュ式／ロック式（要工具形）

VQ110Y-□空気・不活性ガス

0.3MPa

5～50℃

不要

0.5MPa 0.45MPa

VQ110 -□ ZQ1-VQ120-□

出力、表示、負圧

定格圧力範囲設定圧力範囲耐圧力適用流体電源電圧消費電流周囲温度範囲周囲湿度範囲耐電圧絶縁抵抗スイッチ出力

応差表示表示精度

出力表示灯

最大負荷電流最大印加電圧

残留電圧

応答時間

出力電圧直線性

ZQ1S-D31□-AS ZQ1S-D51□-AS ZQ1S-D32□-AS ZQ1S-D52□-AS0～－100kPa

0～－99kPa

0.2MPa

空気・非腐食性・不燃性ガス

DC12～24V±10％

35mA以下［電源電圧DC24V、SW出力ON時（無負荷）］

5～50℃（ただし、氷結および結露しないこと）

動作時、保存時 35～85％RH（ただし結露しないこと）

500V、AC1分間

50MΩ以上（充電部一括と圧力ポート、DC500Vメガにて）

80mA（1出力あたり）

30V（NPN出力時）

2ms以下

2桁赤色LED表示

±3％F.S.±2digits

（D31、D51のみ適用）

1～5V±2.5％F.S.以下

±0.5％F.S.以下

出力 ON時：赤LED点灯出力1 ON時：赤LED点灯出力2 ON時：緑LED点灯

NPN出力：0.8V以下（流入電流80mA時）PNP出力：1.2V以下（吐出電流80mA時）

NPN1出力＋アナログ出力 PNP1出力＋アナログ出力 NPN2出力 PNP2出力

0～15％F.S.以下（可変） 2％F.S.以下（固定） 0～15％F.S.以下（可変） 2％F.S.以下（固定）

アナログ出力

DCAC100VAC110VAC200VAC220V

型式（P.1042の真空圧力スイッチ型式表示方法参照）

LN


1041


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


AC100V（50/60Hz）AC200V（50/60Hz）AC110V（50/60Hz）AC220V（50/60Hz）

DC24VDC12V

構造図

r

w

q

u

型式表示方法

VQ1 1

電磁弁

4567

部品名番号電磁弁フィルタエレメント真空圧力スイッチ継手

－PVF－－

材質下記をご参照くださいXT534－5－001－AS下記をご参照ください型式表示方法をご参照ください

部品番号

交換部品

123

部品名番号供給弁用ポペット弁Ass'y破壊弁用ポペット弁Ass'y破壊流量調整ニードル

－－


材質

構成部品

5 LZQ1-VQ1 5 L

ファンクション無記号

Y

LN

手動操作方法注）

無記号

B注）ラッチングタイプは無記号のみ対応可。


L

LO

G

切換方式1 ノーマルクローズ

切換方式2 ノーマルオープン

ファンクション標準タイプ（DCは1W）無記号


DC24VDC12V

ZQ1S-D ASC31


真空圧力スイッチ仕様D31D32D51D52

1点、NPN出力＋アナログ出力、圧力範囲－100～0kPa2点、NPN出力、圧力範囲－100～0kPa

1点、PNP出力＋アナログ出力、圧力範囲－100～0kPa2点、PNP出力、圧力範囲－100～0kPa


CCLCN注）取付用ビスは付属しています。

e

t

y

u

標準タイプ（DCは1W）

ラッチングプラスコモンラッチングマイナスコモン

DC低ワットタイプ（0.5W）※ACタイプは対応不可


ロック付

L形プラグコネクタ、リード線長さ0.3m

L形プラグコネクタ、コネクタなし


コネクタタイプ、リード線長さ0.6mコネクタタイプ、リード線長さ3mコネクタタイプ、コネクタなし

02 0

注）取付用ビスは付属しています。

スイッチコネクタ品番C：ZS-20-5A-X102CL：ZS-20-5A-30-X102

ハウジング、ソケット品番ZS-20-A-X105

●コネクタAss'y品番表示方法

無記号6

102030

300mm600mm1000mm2000mm3000mm

リード線長さ

DCプラスコモンの場合・シングル


AXT661-13A-DCマイナスコモンの場合

・ラッチングAXT661-13AN-


AXT661-31A-



AXT661-35A-

・ラッチングAXT661-32A-

コネクタ・ソケット（3ヶ）のみ AXT661-12A

●プラグコネクタのリード線長さについてリード線付のバルブのリード線長さは、300mmです。リード線長さが600mm以上のバルブを手配する場合には、コネクタなしのバルブとコネクタAss'y品番を併記してください。

コネクタAss'y品番

1042

ZQ Series

外形寸法図

K1タイプZQ1000U K1□□□□ □ □□

J1タイプZQ1000U J1□□□□ □ □□

注1）外形図はZQ1001U-K1□ □-D Cです。ZQ1001U-K1□□□□-Fの場合は全長寸法が93となります。


過大な締付トルクをかけるとボディが破損する可能性があります。注4）ZQシリーズの配管ポートで、PS、PV、VポートはKJシリーズのワンタッチ継

手を使用することを前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。

56

注1）外形図はZQ1000U－J1□ L-D Cです。ZQ1000U-J1□□□□-Fの場合は全長寸法が93となります。




注5）ワーク離脱のために真空破壊用回路を別途設置してください。

56

ZQ1000U K1□□□□の場合

回路図

Fの場合

PS

VVPE

PV

68.3

68.3

112.8注1）

9.7

71.9

66.9

23.5

7

0.8

29.4

20.3

※3

10

112.8注1）

※17.4

※21.97

0.8

29.4

20.3

68.6

23.5

20.2

リ－ド線長サ（約0.3m）

（49.5）

※32

※23

※33

※25

※（74.9）

※30.5

※3

（63.1）

（63.1）

2×ø3.2通シ

22.8

20.2

3

2×ø3.2通シ

9.7

10

71.9

66.9

22.8

HLH

LNUR

S

SYHTES

EDOM

aPk

CMS



VPV

PS

PE

パイロット圧供給ポート

（PS）注4）


PV

PS

PE


（グロメットタイプの場合）





取付穴4×ø3.5




破壊用パイロット弁供給用パイロット弁


HLH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

aPk

CMS

（本体取付）


V

（M5）


（M5）

ZQ1000U J1□□□□の場合

回路図

Fの場合

PS

PV

VVPE

3

（63.1）

（M5）

真空圧供給ポート（PV）注4）

（ACタイプの場合）

（M5）


パイロット圧供給ポート（PS）注4）



（M5）

（M5）


D □ □□ □□

□□D □ □□

1043


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

外形寸法図

K2タイプZQ1000U K2□□□ □ □□

J2タイプZQ1000U J2□□□ □ □□

注1）外形図はZQ1000U-K2 L-Fです。ZQ1000U-K2 □□-D Cの場合は全長寸法が112.8となります。




56

56

注1）外形図はZQ1000U-J2 L-Fです。ZQ1000U-J2 □□-D Cの場合は全長寸法が112.8となります。




注5）ワーク離脱の為に真空破壊用回路を別途設置してください。

ZQ1 1U K2 □□ F □□の場合回路図

ZQ1 1U J2 □□ F回路図

D □ □□の場合

PS

PV

VVPE

PSVV

PE

PV

68.3

93注1）23.5

68.6

7

0.8

29.4

20.3

※3

10

（68.4）

9.7

2×ø3.2通シ

22.8

20.2

3





PV

PS

PE




V

破壊用パイロット弁





（M5）


（M5）

（M5）


（M5）


93注1）23.50.8

29.4

20.3

※3

10

（68.4）

9.7

2×ø3.2通シ

22.8

20.2

3

PV

PS

PE


V

供給用弁




（M5）



（M5）


7

68.6

68.3

56

56

56

56 □□の場合

1044

ZQ Series

外形寸法図

Q1, N1タイプZQ1000U Q1□□ □ □□ZQ1000U N1□□ □ □□

Q2, N2タイプZQ1 1U Q2□□ □ □□ZQ1 1U N2□□ □ □□

ZQ1 1U Q1□□

回路図

ZQ1 1U Q2□□

回路図


注1）外形図はZQ1000U- 1 □-Fです。ZQ1000U- 1□□□□-D Cの場合は全長寸法が112.8となります。




56

注1）外形図はZQ1000U- 2□L-Fです。ZQ1000U- 2□L-D Cの場合は全長寸法が112.8となります。




注5）ワーク離脱の為に真空破壊用回路を別途設置してください。

QN

QN

9.7

V

（M5）


9.7

V

PE

PV

VV

PS

PV

VPE


V

93注1）

68.6

23.5

7

0.8

29.4

20.3

※3

10

（63.1）

2×ø3.2通シ

22.8

20.2

3

PV

PS

PE

0 BA


0BA

破壊用パイロット弁供給用パイロット弁





パイロット圧供給ポ－ト（PS）注4）

（M5）

（M5）

真空圧供給ポート（PV）注4） 6

8.3


23.5

7

0.8

29.4

20.3

※3

10

（63.1）

2×ø3.2通シ

22.8

93注1）

20.2

3

PV

PS

PE


0BA







（M5）

（M5）

真空圧供給ポート（PV）注4）（M5）


QN

QN

68.3

□□の場合F

F □□の場合

1045


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

外形寸法図

マニホ－ルドタイプ（PDポートなし）ZZQ1 □OB※ZQ1000M □□□□ □ □□

寸法表

L1

L2

連数n 126

42

236

52

346

62

456

72

566

82

676

92

786

102

896

112

注3）※寸法は付属座金取付時の寸法です。注4）本体を取付ける際はトルク0.6±0.06N･mで締付けてください。

過大な締付トルクをかけるとボディが破損する可能性があります。注5）ZQシリーズの配管ポートで、VポートはKJシリーズのワンタッチ継手を使用す

ることを前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。


※ZQ1000M K1□□□□ D□ □□の場合

※ZQ1000M K2□□□ D□ □□の場合

※ZQ1000M J1□□□□ F □□の場合

※ZQ1000M Q1□□□□ D□ □□の場合

回路図

PSPE

PVPE

110.5注1）

68.9注2）

63.6

※9

102110.2

（60.1）

81

（72.4）

8.5

8.5

107H

LH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

aPk

CMS

HLH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

aPk

CMS

V

右左左右

付属座金

付属座金

右側ポート

左側ポート

VV

サクションフィルタ真空圧力スイッチ

（M5）真空ポート（V）


右左

PV

PE

VVVV

PE

PS

（mm）H

LH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

aPk

CMS

V

62.8

28.8

13.2

75

L2

L1

8

（2×R1.75）

3.5

ピッチ＝10

13

（本体取付穴）注1）

（ワンタッチ管継手、適用チューブ外径ø8）真空圧供給ポート（PV）

パイロット弁供給圧ポート（PS）（ワンタッチ管継手、適用チューブ外径ø4、大気開放すること）


パイロット圧排気ポート（PE）

（ワンタッチ管継手、適用チューブ外径ø8）



2×ø3.5

5.5

3


注1）外形図はZZQ104-LOB

※ZQ1000M-K1□ L-D C※ZQ1000M-K2 L-D □※ZQ1000M-J1 L-F※ZQ1000M-Q1 L-D □です。※ZQ1000M- □□□□□-Fの場合は全長寸法が87.2となります。

※ZQ1000M- □L-Fの場合は全長寸法が90.7となります。

※ZQ1000M- □□□□□-D Cの場合は全長寸法が107となります。

※ZQ1000M- □L-D Cの場合は全長寸法が110.5となります。

注2）※ZQ1000M- 2 □□-□ □の場合の寸法を示します。

56

565656

KJ

KJQN

QN

56

KJ

1046

ZQ Series

外形寸法図

マニホ－ルドタイプ（PDポートあり）ZZQ1 □OC※ZQ1000M □□□□ □ □□

寸法表

L1

L2

連数n 126

42

236

52

346

62

456

72

566

82

676

92

786

102

896

112

注2）※ZQ1 3M- 2 □□-□ □の場合の寸法を示します。注3）本体を取付ける際はトルク0.6±0.06N･mで締付けてください。過大な締付ト

ルクをかけるとボディが破損する可能性があります。注4）ZQシリーズの配管ポートで、VポートはKJシリーズのワンタッチ継手を使用す

ることを前提に各配管ポートのピッチを決めています。このため、管継手を使用する場合、種類およびサイズによっては管継手同士が干渉することがありますので、使用する管継手のカタログで寸法を確認後、使用するようお願いします。


※ZQ1000M K1□□□□ D□ □□の場合

※ZQ1000M K2□□□ D□ □□の場合

※ZQ1000M J1□□□□ F □□の場合

※ZQ1000M Q1□□□□ D□ □□の場合

回路図

注1）外形図はZZQ104-ROC

※ZQ1000M-K1□ L-D C※ZQ1000M-K2□□□□-D □※ZQ1000M-J1□□□□-F※ZQ1000M-Q1 L-D □です。※ZQ1000M- □□□□-Fの場合は全長寸法が91.7となります。※ZQ1000M- □□□□-D Cの場合は全長寸法が111.5となります。

56

56

VVV

PD

PS

PE

V

PD

PE

PV右左

68.9注2）

63.6

62.4

111.5注1）90

102110.2

（72.4）

66

HLH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

aPk

CMS

HLH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

aPk

CMS

V

右側ポート

VV

左右

左側ポートサクションフィルタ真空圧力スイッチ

（M5）真空ポート（V）

右左

（mm）

HLH

LNUR

S

SYH

TES

EDOM

aPk

CMS

V

13.613.612.2

5.5 79

13

8


（ワンタッチ管継手、適用チューブ外径ø8）パイロット弁供給圧ポート（PS）

（ワンタッチ管継手、適用チューブ外径ø8）

（ワンタッチ管継手、適用チューブ外径ø４）真空破壊圧ポート（PD）

大気開放すること（ワンタッチ管継手、適用チューブ外径ø4）パイロット圧排気ポート（PE）

真空圧供給ポート（PV）



4×M5通シ（取付用）

L2

L1

ピッチ＝10

56

KJ

1047


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

外形寸法図

継手・継手型フィルタの取付寸法

Vポート〈サクションフィルタ・真空圧力スイッチ〉

PS・PVポート

16.4

15.6

10.6

ø9.3

15.3

ø8.4

10

16.415.516.5

15.6

10.6

ø9.3

15.5

パイロット圧供給（PS）ポート

真空圧供給（PV）ポート

KJL04-M5KJL23-M5

真空（V）ポート適用チューブ径：ø3.2

真空（V）ポート適用チューブ径：ø4

KJS06-M5KJS04-M5KJS23-M5 真空（V）ポート適用チューブ径：ø3.2

KJL04-M5


KJS06-M5KJS04-M5




パイロット圧供給（PS）ポート適用チューブ径：ø6パイロット圧供給（PS）ポート

真空供給圧（PV）ポート

真空圧供給（PV）ポート

1048

ZQ Series

マニホールドタイプ増減連方法

123

4

5

部品名番号六角穴付ボルトエンドブロックＬエンドブロックＲ

真空ポンプシステム

マニホ－ルド用エジェクタボディガスケット

下記型式表示方法参照表1参照表2参照（t1ヶを含みます）

ZQ-3-005-10AS注2）

ZQ1000M-□□□□□-□□-□□（-Q）注1）（t1ヶを含みます）

品番

構成部品

PDポート仕様Vポートを正面に見たときのPVポート位置

右側左側

PDポートあり

ZQ1R-0-V0CZQ1R-0-S0C

PDポートなし

ZQ1R-0-V0BZQ1R-0-S0B

表2.エンドブロックR品番

e

r

w

q

t

作業手順

六角穴付ボルトqを緩めてはずす。

1.各エジェクタアッシrのガスケット溝に、マニホールド用エジェクタボディガスケットtを装着する。

2.エンドブロックRwにマニホールド用エジェクタボディガスケットtをガスケット溝に装着しておく。

3.各エジェクタアッシrおよびエンドブロックLw、エンドブロックReを位置決めピン（a部、2ヶ所）を合わせて重ねクランプロッドq（2本）で締付ける。（締付けトルク0.6N･m±0.06N･m）

注1）型式表示方法の詳細はP.1038、1039を参照してください。注2）本品番は10ヶセットとなります。

分解

組立

a部

a部

Vポートを正面に見たときのPVポート位置

右側左側

PDポートあり

ZQ1L-0-S0CZQ1L-0-V0C

PDポートなし

ZQ1L-0-S0BZQ1L-0-V0B

表1.エンドブロックL品番PDポート仕様

連数1連2連

8連

0102

08

ZQ－STB

六角穴付ボルト品番表示方法

05

……

注）本品番は2本セットとなります。

1049


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

警告q電磁弁に長期連続通電することは避けてください。電磁弁を長期間連続的に通電すると、コイルの発熱による温度上昇で電磁弁の性能低下や近接する周辺機器に悪影響を与える場合があります。このため長期間連続的に通電する場合、または1日当りの通電時間が非通電時間より長くなる場合には、低ワット仕様の電磁弁を選定し使用してください。ノーマルオープン仕様やラッチングタイプの電磁弁を使用することで通電時間を短くする方法もあります。ただしラッチングタイプについては、A側とB側のコイルに同時に通電しないでください。電磁弁の連続通電時間は基本的に10分以内とし、かつ1日当りの通電時間が非通電時間より短くなるようにしてください。電磁弁を制御盤内に取付けた場合などは、電磁弁仕様の温度内になるように放熱の対策を行ってください。特にマニホールドタイプで3連以上もしくは単体を隣り合う配置で3連以上重ねて同時に連続通電する場合は、温度上昇が大きくなりますのでご注意ください。

w使用供給圧力について真空機器の設定された使用供給圧力の範囲にて使用してください。使用供給圧力範囲以下にて使用されますと、真空性能の低下やポペット弁の作動不良が発生します。また使用供給圧力以上にて使用されますと、製品が破損する恐れがあり大変危険ですので絶対にしないでください。

e長時間稼動停止時について6時間以上、真空機器を停止する場合には以下の点に注意してください。・真空機器への圧力供給は必ず停止してください。ライン圧力の増大により過大な圧力が長時間加わり、真空機器が破損する可能性がありますので必ずお守りください。

・電磁弁および圧力スイッチへの電源供給は必ず停止してください。長期通電による発熱により、真空機器および周辺機器に悪影響を与える可能性があり、大変危険ですので必ずお守りください。

rチェック弁についてチェック弁は、マニホールドで使用時にサイレンサからの排気が真空ポート側に吹き出すのを抑制する機能がありますが、使用条件によっては、期待する抑制効果が得られないことがありますので、ご使用に際しては実機にて十分検証を行ってください。また、これ以外の目的での使用に関しては一切保証できません。特に停電時等のワーク落下防止等で使用することは大変危険ですので、別途落下防止用のガイドを設置する等の対策をしてください。

t真空エジェクタの排気口（EXH.ポート）について真空エジェクタに排気口（EXH.ポート）は遮蔽物、配管上の絞り等で排気抵抗が増えないように注意してください。排気抵抗の増大により、エジェクタ性能が低下する恐れがあります。また、ワーク離脱を目的に排気口を塞ぐような使い方は絶対にしないでください。製品が破損する恐れがあります。

警告y真空破壊流量調整ニードルについて真空破壊流量調整ニードルは全閉状態から開方向に1/8～1/4回転ずつ開けて、破壊弁ON時間内に十分にワークが離脱出来るように調整してください。なお、真空破壊流量調整ニードルを調整する際は、必ず製品に圧縮エアを供給しない状態で行ってください。調整後はロックナットにて確実にロックしてください。

uラッチングタイプの電磁弁使用方法についてラッチングは､自己保持機構付ソレノイドのことで､瞬時通電（10ms以上）にてソレノイド内の可動鉄心が､セット位置およびリセット位置を保持する構造です。従って連続通電の必要はありません。

《ラッチングタイプで特に注意していただきたいこと》1.セット、リセット信号が同時に通電されないような回路でご使用ください。

2.自己保持に必要な最少通電時間は10msです。3.通常の使用方法､使用場所なら問題ありませんが､30m/s2以上の振動のある場所､高い磁場のある場所での使用は当社にご確認ください。

4.本バルブは出荷時点､リセット位置（流路：A→R）を保持していますが、輸送時やバルブ取付時の衝撃などによりセット位置になる場合があります。従って、ご使用前に電源またはマニュアルにて原位置の確認を行ってください。

q本体の取付け時のネジ締付けは、0.6±0.06N・mにて行ってください。過大な締付トルクをかけるとボディが破損する恐れがあります。

警告取付け

配線仕様●リード線は、下図のように接続されていますので、それぞれ電源側と接続してください。

ラッチングタイププラグコネクタの使用方法

リード線色セット（真空発生）

リセット（真空停止）

COM.

（＋）赤

（＋）白

（－）黒SOL.A

C

B

同時通電

保護回路

リード線色セット（真空発生）


COM.

（－）黒

（－）白

（＋）赤SOL.A

C

B

同時通電

保護回路

リード線色

セット（真空発生）

黄黄


灰灰

COM. 青赤

SOL.

A

C

B

AC100V,AC200V

DCマイナスコモンの場合

DCプラスコモンの場合

ACタイプの場合

設計・選定

ZQ Series／製品個別注意事項ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意については前付38、39、真空用機器／共通注意事項についてはP.844～846をご確認ください。

1050

Documents

ZQ Series - SMC Corporation型式表示方法 薄形真空エジェクタ ZQ Series ZQ105 5 D311U K1 L C エジェクタユニット 表1）電磁弁組合せ／ファンクション／定格電圧組合せ表

ZQ Series - SMC Corporation型式表示方法薄形真空エジェクタ ZQ Series ZQ105 5 D311U K1 L C エジェクタユニット表1）電磁弁組合せ／ファンクション／定格電圧組合せ表