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Modélisation multi échelle de la croissance ALD doxydes à fortes permittivités: cas de HfO 2. Séminaire groupe de modélisation Vendredi 17 février 2005,
Documents Modélisation multi échelle de la croissance ALD doxydes à fortes permittivités: cas de HfO 2. Séminaire groupe de modélisation Vendredi 17 février 2005,