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TECHNIQUES DE DEPOTS PVD ET CVD TECHNIQUES DE DEPOTS PVD ET CVD SUR OUTILS DE COUPE SUR OUTILS DE COUPE
Introduction Les traitements de surface Les dépôts physiques PVD et chimiques
CVD Etude sur outils de coupe Conclusion
L'état de surface est un élément de cotation d'une pièce indiquant la fonction, la rugosité, la géométrie et l'aspect des surfaces usinées.
Une surface réelle usinée n'est jamais parfaite, elle présente toujours des défauts.
Introduction Les traitements de surface Les dépôts physiques PVD et chimiques
CVD Etude sur outils de coupe Conclusion
Un traitement de surface est une opération mécanique, chimique, électrochimique ou physique qui a pour conséquence de modifier l'aspect ou la fonction de la surface des matériaux afin de l'adapter à des conditions d'utilisation données.
Introduction Les traitements de surface Les dépôts physiques PVD et chimiques
CVD Etude sur outils de coupe Conclusion
Les dépôts physiques PVD et Les dépôts physiques PVD et chimiques CVDchimiques CVD
Les techniques de dépôts sous vide sont utilisées pour augmenter les propriétés de frottement, d'usure, de résistance à l'oxydation des pièces mécaniques.
Deux grandes familles de techniques de réalisation de ces dépôts sont utilisées : -PVD :Dépôt physique en phase vapeur - CVD :Dépôt chimique en phase vapeur.
Dans les deux cas, la matière est pulvérisée sous forme gazeuse. On agit sur la source et sur le milieu pour évaporer la matière qui se condenserapour donner le dépôt.
TECHNIQUES PVD DE DEPOT PAR TECHNIQUES PVD DE DEPOT PAR PULVERISATION CATHODIQUE SOUS PULVERISATION CATHODIQUE SOUS
VIDEVIDE- éjecter des particules de la surface d’un solide par le bombardement de cette surface avec des particules énergétiques
- l’arrachage d’atomes superficiels se produira lorsque l’énergie effectivement transférée dépassera l’énergie de liaison des atomes
Avantages :
♦ possibilité de déposer de nombreux métaux, alliages, composés réfractaires, conducteurs ou diélectriques
♦ maîtrise de la stoechiométrie
♦ bonne adhérence des dépôts
♦ bon pouvoir de recouvrement
Inconvénients :
♦ faible vitesse de dépôt
♦ investissement élevé
♦ dépôts non uniformes
Pulvérisation cathodique sous vide
TECHNIQUES CVD DE DEPOT TECHNIQUES CVD DE DEPOT
- le matériau solide est déposé à partir de précurseurs gazeux qui réagissent sur le substrat
- ce dernier est généralement chauffé pour fournir l'énergie d'activation nécessaire au déclenchement de la réaction chimique (qui peut être une simple réaction de décomposition ou une réaction de combinaison)
Avantages :
♦ Grande vitesse de dépôt: peut atteindre 0,1à 100 µm/minute
♦ Recouvrement uniforme de formes complexes et creuses
♦ Obtention à températures relativement basses de composés réfractaires
♦ Permet des dépôts de haute pureté moyennant une purification poussée des précurseurs
♦ Possibilité de modification de surface par bombardement par des espèces de haute énergie (PACVD)
Inconvénients :
♦ Agressivité toxicité et/ou instabilité à l'air des précurseurs d'où difficulté de manipulation. Même chose pour les produits de réaction qui peuvent attaquer le substrat, provoquant porosité, mauvaise adhérence et contamination du dépôt
♦ Essentiellement un procédé d'équilibre: les phases métastables obtenues par des procédés comme le sputtering ne peuvent généralement pas être reproduit par la CVD
♦ La désorption entraîne une porosité
Introduction Les traitements de surface Les dépôts physiques PVD et chimiques
CVD Etude sur outils de coupe Conclusion
Cutting properties of the Al2O3 + SiC(w) based tool ceramic Cutting properties of the Al2O3 + SiC(w) based tool ceramic reinforced with PVD and CVD wear resistant coatings (2005), reinforced with PVD and CVD wear resistant coatings (2005),
Journal of Materials Processing TechnologyJournal of Materials Processing Technology
M.S, J.M, L.A.D, J.K, L.K, P.P, J.M, A.PM.S, J.M, L.A.D, J.K, L.K, P.P, J.M, A.P
Recherche sur outil de coupe en Al2O3+SiC(w) avec revêtement par PVD et CVD
Nature des revêtements:
•TiN
•TiAlN
•TiN+TiAlSiN+TiN
•TiN+multiTiAlSiN+TiN
•TiN+TiAlSiN+AlSiTiN
•TiAlN
•TiCN+TiN
•Al2O3+TiN
Améliorations après dépôt
Augmentation significative de la dureté après dépôt par CVD ou PVD
+ 110% d’augmentation par PVD de TiN + multiTiAlSiN + TiN
+ 80% d’augmentation par PVD de TiAlN
+ 80% d’augmentation par CVD de TiN + Al2O3
Lc=70N avec TiN + TiAlSiN + TiN
Lc=99N avec TiAlN
Bonne adhésion des dépôts sur le substrat
Points à améliorer (tests de coupe)
Développement de cratères à la surface de la lame
Fissure thermique
Effritement du bord de coupe
RESULTATS RESULTATS
Réponse à une double problématique
Sur l’outil de coupe
Fréquence des remplacements
Qualité de coupe
Sur la pièce découpée
Diminution du paramètre de
rugosité
Qualité de la pièce
Diminution du coût de fabrication et meilleur qualité du produit fini
Conclusion de l’étudeConclusion de l’étude
Les traitements de surface sont une véritable science. Une science qui doit intégrer tout une série de paramètres et de contraintes, dont dépendront la pérennité, l’aspect et les propriétés techniques du produit traité.
MERCI DE MERCI DE VOTRE VOTRE
ATTENTIONATTENTION
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