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MÉTAMATÉRIAUX ACOUSTIQUES POUR LES APPLICATIONS RADIOFRÉQUENCES : BESOINS, RÉALISATIONS ET PERSPECTIVES Réunion de lancement du GdR META | A. Reinhardt | 22/01/16

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MÉTAMATÉRIAUX ACOUSTIQUES

POUR LES APPLICATIONS

RADIOFRÉQUENCES : BESOINS,

RÉALISATIONS ET PERSPECTIVESRéunion de lancement du GdR META | A. Reinhardt | 22/01/16

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• Evolution des systèmes de télécommunication sans fil

CONTEXTE

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ACOUSTIQUE RADIOFRÉQUENCE

• Internet des objets Objets connectés Réseaux de capteurs

Source : CLA Direct

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• Eléments clé d’un système d’émission / réception radio

COMPOSANTS ACOUSTIQUES POUR LA RF

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ACOUSTIQUE RADIOFRÉQUENCE

Source : EE Times

Résonateurs SiRésonateurs piézoélectriques

Résonateurs à quartz

Source : SiTime

Source : EE Times

Source : Silicon-Labs

Filtres à ondes acoustiques de surface (SAW)

Filtres à ondes acoustiques de volume (BAW)

Source : M. Beghi, Modeling and measurement methods for acoustic waves and for acoustic microdevices (2013)

Source : Phonon Corp.

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• Spécificité des composants acoustiques Compacité (< 0,2 mm3) Caractère passif Coefficients de qualité élevés (Q > 400)

• De plus en plus : Faibles pertes

(Q > 2000 ou pertes d’insertion < 2 dB) Faible dérive en température

(< 30 ppm/K, voire < 10 ppm/K) Tenue en puissance (10 W crête) Linéarité

• Moteurs de développement : Antennes MIMO Agrégation de spectre Coexistence de multiples bandes Co-design filtres + amplificateurs

PRÉ-REQUIS

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ACOUSTIQUE RADIOFREQUENCE

Source : Avago Tech.

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• Usages existants des métamatériaux en acoustique RF

• Démonstrations de fonctions inspirées de la RF

• Problématiques à adresser

• Quelle place pour les métamatériaux ?

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SOMMAIRE

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USAGES EXISTANTS DES

MÉTAMATÉRIAUX EN ACOUSTIQUE RF

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• Excitation d’ondes de surface par (un grand nombre d’) électrodes interdigitées Propagation en milieu périodique

→ Approximations de milieu effectif• Conditions de propagation des ondes

dépendantes de la géométrie du réseau d’électrodes

→ Bandes d’arrêt • Utilisées pour former des cavités résonantes

COMPOSANTS À ONDES ACOUSTIQUES DE SURFACE

D. Morgan, Surface acoustic wave filters, Academic Press, 2007

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• Résonateurs SMR (Solidly Mounted Resonators): Isolation acoustique par miroir de Bragg

• Empilement couches basse et haute impédance acoustique• Milieu quasi-périodique• Exploitation d’une bande d’arrêt

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COMPOSANTS À ONDES ACOUSTIQUES DE VOLUME

Reinhardt, Ultrasonics Symposium 2002

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DÉMONSTRATIONS DE FONCTIONS

INSPIRÉES DE LA RF

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• Réalisation de cristaux phononiques aux fréquences RF Pour les ondes de surface

PREUVES DE CONCEPT

CRISTAUX PHONONIQUES RF

Wu, J. Appl. Phys. 97, 094916 (2005)

Benchabane, Phys. Rev. E 73, 065601 (2006)

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• Réalisation de cristaux phononiques aux fréquences RF Pour les ondes de plaque

PREUVES DE CONCEPT

CRISTAUX PHONONIQUES RF

Olsson, Transducers 2007

Mohammadi, APL 92, 221905 (2008) Gorisse, APL 98, 234103 (2011)

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• Guidage par un défaut

GUIDES D’ONDES PHONONIQUES

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STRUCTURES INSPIRÉES DES MICRO-ONDES

Khelif, Ultrasonics 2004

Khelif, APL 84, 4400 (2004)

Olsson, Sensors & Actuators A 145-146 (2008)

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• Formation de résonances localisées

CAVITÉS RÉSONANTES

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STRUCTURES INSPIRÉES DE LA RF

Khelif, PRB 86, 214301 (2003)

Mohammadi, APL 94, 051906 (2009)

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• Demultiplexage

INSERTION DE « STUBS »

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STRUCTURES INSPIRÉES DE LA RF

Pennec, Ultrasonics 2005

• Filtrage

Benchabane, Europhysics Letters 71, 570 (2005)

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PROBLÉMATIQUES À ADRESSER

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• Pertes à l’étage RF = dégradation irréversible du rapport signal/bruit

• Origine de ces pertes Acoustiques : optimiser matériaux,

géométries, …

Transduction : • Eviter les lignes à retard !• Eviter transitions acoustiques !

PERTES D’INSERTION

PROBLÉMATIQUES À ADRESSER

Mohammadi, Solid-State Sensors 167, 524 (2011)

Attention à l’interface acoustique/RF

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• Bande d’arrêt = aucun mode n’existe Mais, tous les modes du cristal ne sont pas forcément excitables Quantité vraiment utile = transmission à travers le cristal

(interface acoustique / acoustique)

BANDE D’ARRÊT OU ATTÉNUATION ?

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PROBLÉMATIQUES À ADRESSER

Gorisse, APL 98, 234103 (2011)

Bande d’arrêt

Atténuation effective

Soliman, APL 97, 193502 (2010)

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• Fréquences utiles pour la RF : 400 MHz – 3 GHz (voire 5 GHz) Contraintes technologiques sur la réalisation des cristaux

MONTÉE EN FRÉQUENCE

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PROBLÉMATIQUES À ADRESSER

Benchabane, Ultrasonics 2010

Cristal LiNbO3/air:Trous de 2 µmProfondeur 2,3 µmPériode 2,2 µm

Usinage par faisceau d’ions localisés (FIB)

Cristal AlN/air:Trous de 2 µmProfondeur 2 µmPériode 6,6 µm

Gorisse, APL 98, 234103 (2011)

Usinage par gravure ionique réactive (RIE)

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QUELLE PLACE POUR LES

MÉTAMATÉRIAUX ?

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• Isolation acoustique• Suppression de parasites

APPLICATIONS POSSIBLES : BRIQUES ÉLÉMENTAIRES

CONCLUSIONS / PERSPECTIVES

Sorenson, IFCS 2011

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Solal, IEEE TUFFC 57, 30 (2010)

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• Au-delà des bandes d’arrêt : milieux effectifs Nouveau degré de liberté pour la propagation d’ondes

• confinement, guidage, adaptation entre milieux → suppression de parasites

Diodes acoustiques

• Couplage « multiphysiques » Acoustique – optique : adresser communications optiques Acoustique – thermique : gestion de la chaleur

• MAIS, il reste de fortes contraintes Implémentation

• Etre réalisable• Compatibilité avec procédés existants

Ne pas dégrader les performances existantes

APPLICATIONS POSSIBLES : BRIQUES ÉLÉMENTAIRES

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CONCLUSIONS / PERSPECTIVES

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Merci de votre attention