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RORZE CORPORATION

RORZE CORPORATION

ローツェ株式会社は、 「他社が販売している同等品は製品にしない。 　従来よりも優れた製品、すなわち 　世界的にニュースとなる製品のみを商品化しよう。」 を合言葉に1985年に設立されました。 当初6人からスタートして 超小型コントローラ、 クリーンロボット、 真空ロボット、 デュアルアームクリーンロボット、 液晶用クリーンロボット、 多軸補間クリーンロボットなどの 開発製品を次々と世に送り出してきました。　 プレハブ小屋からスタートしたローツェは、1997年12月に 店頭市場（現在のJASDAQ(スタンダード)）に上場することができました。 そして、日本国内だけにとどまらず、 シンガポール、台湾、中国、ベトナム、米国、韓国に子会社を設立。 グローバルな市場へのチャレンジを続ける中で、 2003年11月には韓国子会社のRORZE SYSTEMS CORPORATIONも KOSDAQ市場に上場を果たしました。 私が40歳で会社を創業したときに考えた 「会社は個人の技術の向上を図り、将来の希望を実現させるところ」 の理念にもとづき、 空想力、技術力、実行力に自信がある人材が集まる会社システムを目指し、 世界の先端企業に負けない会社にしたいと願っております。 これからも、世界のお客様に「ローツェ製品を購入してよかった」と 感謝される新製品開発を目指して、社員共々邁進してまいります。 今後とも、より一層のご支援、ご教授を賜りますようお願いいたします。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　代表取締役社長

RORZE CORPORATION

1. グループ会社紹介 2. テクノロジー 3. 制御機器 4. ウエハ搬送システム 5. ベアウエハストッカー 6. レチクル搬送システム / EUV搬送システム 7. 真空搬送システム 8. 真空搬送ロボット 9. 大気搬送ロボット 10. ロードポート 11. アライナ 12. インキュベータ 13. 計測ツール

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RORZE CORPORATION

カスタマーサポート拠点。 熟練スタッフが導入・運用を サポート致します。 もちろん、24Hのオンコール サポートも。

レーザカッティング装置(for TFT-LCD) LCD用カセットステーション ウエハ用バッファステーション など、大型の装置製造を可能にする グループ最大級のクリーンルームを保有。 オリジナルの製品開発を短期間で実現 するエンジニアリング拠点です。 もちろん、迅速なサービス対応も ご提供致します。

カスタマーサポート拠点。 24Hオンコール体制で、 迅速にサポート致します。

制御機器製造から、機械加工・組立・検査 までを行うメイン工場です。 工場です。

RORZE CORPORATION

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機械・電気・ソフトの開発陣を始めとする 経験豊富なエンジニアが、お客様のご要望 実現のため、柔軟に対応致します。 こんな装置が欲しいというお客様のニーズ を形にするエンジニアリング拠点です。 前工程から後工程まで、搬送のことなら、 どんなことでもご相談ください。 開発も製造もメンテナンスもサービスも すべてお任せください。 もちろん、24Hのサポート体制で、お客様 の生産を強力にサポート致します。

他社が販売している製品と同等のものは 製品化しない。 従来よりも優れた製品、すなわち世界のニュースとなる製品を生み出そう！ この理念に基づき、 制御機器を中心とするコア技術を開発する エンジニアリング拠点です。 制御機器・搬送機器に加え、計測機器、 そしてバイオ関連の製品まで。 今、困っていること。 是非我々にご相談ください。

�������������������������������������� ����������������������������シリコンバレーに位置する 製造と開発を含めたカスタマーサポート拠点。 迅速なサポートをご提供致します。

RORZE CORPORATION

魅力的な価格

最高の性能 短納期

Electrical parts 86 % Down! parts 86 % Down!

Mechaanical parts 34 % Down!

Electrical parts 86 % DMMMMecparttttttss

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Machining parts 19 % Down!

MMMMMMMMMMMMROBOT　TOTAL 60% Reduction! LOADPORT　TOTAL 66% Reduction!

Electrical parts 79% Down! Mechanical parts 65 % Down!

LOADPORT TOTATTATAL 66% Re

llectrical parts 79% DMMMMMMMMMMMMechhhhhhhhh

Machining parts 54 % Down!

RORZE CORPORATION

極限まで贅肉を削ぎ、部品点数と配線を大幅削減。高品質と低コストの両立。

極限までの小型化、そして省配線化。 自律分散制御を極めた新開発制御システム。

瞬発力と保持力。STEPの優位性を活かしつつ、 唯一の弱点“脱調”を克服した究極のモデル。

RC-5 SERIES RC-4 SERIES

　 SERVO STEP-SERVO COST △ ◎ HOLDING TORQUE △ ◎ QUICK RESPONSE △ ◎ HIGH SPEED TORQUE ◎ ○ EFFICIENCY ◎ ○ CURRENT CONTROL FEED-BACK FEED-FORWARD POSITION CONTROL FEED-BACK FEED-BACK

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　 マルチプロトコル・マルチポートの通信。 　 メモリ共有のシステムが実現する新たな可能性。 　　 　 モーションコントローラとしても、 　 システムコントローラとしても、 　 最高の性能を実現致します。

ORG SENSOR

ARM MOTOR

ARM MOTOR

ROTATION MOTOR

FLIPPER MOTOR

CLAMP MOTOR

ORG SENSOR

ORG SENSOR ORG SENSOR

SOLENOID VALVE

PRESSURE SWITCH

SOLENOID VALVE

PRESSURE SWITCH

MISS-CLAMP SENSOR

CLAMP SENSOR

UNCLAMP SENSOR

CCW SENSOR

ORG SENSOR

CW SENSOR

Z MOTOR

INTERLOCK I/O

REMOTE DRIVER

TCP/IP

RS-485

HCL

RESERVE

MASTER CONTROLLER RC-550-G5C3-A

STEP-SERVO DRIVER

RD-S28M

STEP-SERVO DRIVER

RD-S28M

STEP-SERVO DRIVER

RD-S24M

STEP-SERVO DRIVER

RD-S24M

REMOTE

SB048

REMOTE DRIVER REMOTE

SB048

SB036

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FAN FILTER UNIT

PRESSURE SENSOR-BOARD

DIFFERENTIAL PRESSURE

SENSOR-BOARD

REMOTE I/O

MASS FLOW CONTROLLER

RS-485

HCL

MOTOR

ORG SENSOR

MAPPING SENSOR

SOLENOID VALVE

SOLENOID VALVE

1PORT 4UNIT DI:24 DO:24

(DI:6 DO:6 / UNIT)

6PORT TOTAL DI:144 DO:144

REMOTE I/O

・・・

TCP/IP

RESERVE

MASTER CONTROLLER RC-550-G5C3-A

STEP-SERVO DRIVER

RD-S28M

SB019-2 SB019-2

PRESSURE

SB070-VA

DIFFERENTIAL

SB068A

E84 DIO BOARD

SB058

E84 DIO BOARD

SB058

E84 DIO BOARD

SB058

E84 DIO BOARD

SB058

SB078

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2軸脱調レスモーション コントロールドライバ RMD-S224I-G2C2

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項　目 仕　様

定格電圧 ＤＣ２４Ｖ（入力電圧範囲：ＤＣ２４Ｖ±１０％）

消費電流 制御部：約１３０ｍＡ　ドライバ部：モータ電流値の約１.２倍(最大)

モータドライバ バイポーラ定電流チョッパー方式 0～4A マイクロステップ：1/1600

保護機能 過熱（８０℃以上）、過電流、電圧低下（１９V以下）

使用環境 ０～＋５０℃　３０～８５％ＲＨ（結露なきこと） （但し、ドライバ部の温度が８０℃以下になるように放熱してください）

保存環境 －２０～＋７０℃　３０～８５％ＲＨ（結露なきこと）

使用雰囲気 腐食性ガスがないこと。塵埃がひどくないこと

外形寸法 １３５Ｗ×９５Ｄ×５３Ｈ（ｍｍ）

　 究極の自律分散を実現するもう一つの RC-5 シリーズ。 　 コントローラ・ドライバ・DIO・A/D を一つのハードに。 　 機器の小型化・低コスト化に新たな可能性をご提供致します。 　 ソフトも新時代へ。 　 電気設計者や機械設計者が自分でロジックを組み、オペレーションする。 　 図面のように視覚的に捉えられるソフトウェアへ。

STEP1：マクロ ドラッグ＆ドロップ

STEP2： マクロ実行！

最短 ２STEPで

動作可能！

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HCL

SPINDLE ORG SENSOR

SOLENOID VALVE

SOLENOID VALVE

TCP/IP

SPINDLE MOTOR Y

ORG SENSOR Y

MOTOR Z ORG SENSOR

Z MOTOR

ALIGNMENT SENSOR

　 ローツェの省配線コントローラの特徴は、電源の供給機能。 　 センサや表示灯、電磁弁の電源も供給するため、配線が非常にシンプルに。 　 圧力センサモジュール・微差圧センサモジュール・リモートドライバなど、 　 豊富なラインナップで新たな可能性をご提供致します。 　

RMD-424I MOTION CONTROL DRIVER

PRESSURE SENSOR-BOARD

SOLENOID VALVE

SOLENOID VALVE

PRESSURE

SB070-VA

DIFFERENTIAL PRESSURE

SENSOR-BOARD

DIFFERENTIAL

SB068A

SB070

PRESSURE SENSOR-BOARD

CLAMP MOTOR

MISS-CLAMP SENSOR

CLAMP SENSOR

REMOTE DRIVER REMOTE

SB048

UNCLAMP SENSOR

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WID reader

Double aligner / Double sensor Aligner

Fine differential pressure sensor (In-house)

Buffer (Max 25 slot)

Display & Keyboard (Wall mount / Arm type)

Semi-Auto Teaching

Wafer flipper Turn type loadport

型式 ２ポート ３ポート ４ポート RSC131 RSC141 RSC151

適用 搬送対象 300mmウエハ　径：φ300±0.2mm　厚み：775±20μm キャリア SEMI E47.1 FOUP / M31 Auto-Door FOSB 備考 ※上記以外はお問い合わせください

電源 電源電圧 1φ AC200V～220V±10%　50/60Hz±5% 消費電流 4kVA (20A/200VAC)　FFU含む

真空 用力（元圧） -67～-93kPa 用力（流量） 40L/min 50L/min 60L/min

圧空 用力（元圧） 0.6～0.7MPa 用力（流量） 20L/min 30L/min 40L/min

I/O EMO接点出力 2系統(ドライ接点) インターロック 入力8点/出力8点（絶縁I/O）

　 標準化されたベースユニットが実現する短納期と低コスト。 　 過去の経験に基づく基本オプションパックが、仕様決めをよりスムーズに。 　 世界に認められたRORZEのクリーン性能と品質を。

200/300 adapter with double mapping system

RFID / Barcode reader

Info-pad

Lockout pin

User space

Robot mapping

Protect bar / Area sensor

Ionizer

LED illumination

　豊富なオプション　　　　　　　　　　　　　ケミカルフィルターに関してはお問い合わせ下さい。

*推奨上位通信：TCP/IP

　＊真空吸着・エッジグリップ・落とし込みのハンドを準備しております

RORZE CORPORATION

お客様には、 プロセスモジュールを中核とする コアのIP開発に集中して頂きたい。

装置統合制御 / マテハン 自動化 / EES対応 …

周辺アプリケーション開発は、

我々にお任せください。 ローツェのソフトウェア

ソリューションが ご支援致します。

装置稼働状態の可視化

最新の GUI による高い操作性 優れたスケジューラ機能

統一性を持ったデータの記録 異常分析のサポート SEMI規格への対応

構築・導入・運用 全てのフェーズで、

強力にサポート致します。

ハードウェアもソフトウェアも。

構築

ｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝ

ｿﾌﾄ･ﾊｰﾄﾞ 導入

システム保守 システムインテグレーション

パッケージソリューション

導入サービス

導入 運用

RORZE

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Measuring point : L/L Measuring device : CCD-Camera Trigger : Edge detect by fiber-sensor Waiting time : 0.6 sec (after the trigger) Cycle pattern : AL→L/L(U-ARM)→AL→L/L(L-ARM)→AL Number of cycle : 150 Times

±3σ X:0.08mm Y:0.07mm Notch:0.07°

±3σ X:0.06mm Y:0.08mm Notch:0.08°

1) Repeatability Reference value X:±0.2mm Y:±0.2mm

2) Down-flow velocity Reference value max:0.65m/sec

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Measurement equipment 　Airflow meter*1： 　　AM-09（RION Corp.） 　 Differential pressure gauge ： 　　SB068A（RORZE Corp.） *1: Measurement under 200mm from the outlet of FFU

Differential pressure : 2.62[Pa]

Differential pressure : 4.88[Pa]

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3) Particles Reference value d φ0.1um 0pcs

4) Compliance standards

Running Pattern 　a: port1 port3(with alignment) 　b: port2 port3(with alignment) 　c: port3 → aligner → port3 　d: port3 → aligner → L/L A 　e: port3 → aligner → L/L B 　f: port3 → aligner → port3 　g: port3 → aligner → port3 FFU speed setting 　1100[rpm] Measurement equipment 　Particle Counter TS-3700 　（Hitachi High-Technologies Corp.）

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（pcs/CF d φ0.1μm average 5 minutes）

SEMI S2 SEMI S8 SEMI F47 EU 2006/42/EC MACHINERY DIRECTIVE EU 2006/95/EC LOW VOLTAGE DIRECTIVE EU 2004/108/EC DIRECTIVE

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SORTERでよくあるご相談 　　問：ストッカーにドッキングして使用したい。 　　答：ターン型のロードポートで対応可能です。

　　問：ターン型ロードポートでキャリアIDは対応可能？ 　　答：BCR/RFIDに対応可能です。

　　問：WIDを両面読み取りさせたい。 　　答：カメラを表裏両面に設置可能です。

　　問：ウエハを反転したい。 　　答：ボルツインターフェイスに対応した反転機をご用意致しております。 　　　　背面スペースを活かした配置を提案させて頂きます。

　　問：検査機をインテグレーションしたい。 　　答：もちろん可能です。背面エリアを使用致します。 　　問：平行移載のスループットは？読取ありのスループットは？ 　　答：レイアウトにもよりますが、 　　　　平行移載　1000枚/h 以上 　　　　読取あり　500枚/h 以上 　　問：シグナルタワーをカスタマイズしたい。 　　答：もちろん可能です。ご相談ください。 　　問：オンライン対応は？ 　　答：ソフトウェアのパッケージをご提供致します。

　　問：マニュアルオペレーションは？ 　　答：付属ソフトウェアにより、簡単な操作で実施頂けます。

　　問：キャリアによってティーチング位置やマッピング設定を変更したい。 　　答：インフォパッドによるキャリア識別機能で対応致します。 　　問：間違えたキャリアを使えないようにしたいのだけど。 　　答：ロックアウトピンによって対応致します。 　　　　FOSB検出センサのピンとインフォパッドのピンをロックアウトピンに変更できます。

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RSC152

RSC132

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EFEMでよくあるご相談 　　問：パスラインはどこまで低くできる？ 　　答：905mmまで対応可能です。（この場合の上限は1230mmとなります）

　　問：パスラインはどこまで高くできる？ 　　答：1330mmまで対応可能です。（この場合の下限は935mmとなります）

　　問：最大搬送距離は？ 　　答：背面パネルから340mmになります。（マージン10mmを確保した値）

　　問：EFEMの配線・配管の取り込み口を側面側にしたい。 　　答：取り込み口は、背面仕様と側面（アライナ側）仕様から選択可能です。

　　問：EFEM内にバッファを配置したい。マッピングも必要。 　　答：最大25枚のバッファを配置可能です。マッピングはロボットで対応致します。

　　問：装置の電装品をEFEMに搭載したい。出来ればディスプレイ等も。 　　答：FFUの上部にスペースを確保しております。 　　　　ディスプレイアーム及びケーブルの取付部を標準で準備しております。

　　問：その場合、配線はどうなるの？ 　　答：オプションで外付け配線用ダクト（背面/側面）をご用意しております。

　　問：メンテスペース確保のためEFEMの形状を変更したい。（背面の両角を斜めにカットしたい。） 　　答：EFEMとロードロックの間にダクトを設置する方法をご提案致します。 　　　　EFEMと装置の間の距離を確保することによって、カットが不要になります。

　　問：EFEM側からドアバルブの交換が出来るようにしたい。 　　答：背面パネルを分割構造にすることで対応可能です。

　　問：ロードロックのパージエアーにEFEMのクリーンエアーを使用したい。 　　答：FFUの吹き出し口の直下のエアーを準備可能です。

　　問：エンドユーザ仕様でプロテクションバーを付けたい。 　　答：プロテクションバー取付部が標準装備されております。 　　　　また、エリアセンサー用配線と表示ランプ用配線も設置済みです。

　　問：オプション類は後でも付けられる？ 　　答：弊社標準オプションは全て可能です。　

　　問：スループットは？ 　　答：標準的な枚葉搬送レシピで約250枚/時間になります。　

　　問：ヨーロッパへの販売を考えているのだけど。 　　答：様々な仕様を考慮してCE、SEMIを第三者認証中です。（2014年5月完了予定） 　 　

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RSC141

RSC131

RSC151

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　 ソータの背面にあるデッドスペースを活用したウエハストッカー。 　 実質フットプリントゼロで、QCウエハのデリバリータイムを改善致します。 　 緻密な差圧管理と気流コントロールで、　 　 最高のクリーン性能をご提供致します。 　 　　ストッカー組み込みタイプもラインナップ。 　 既にお使いのキャリアストッカーに、 　 ソータ機能とQCウエハのバッファ機能を 　 容易に追加頂けます。 　 600枚・1800枚・2700枚の３タイプの 　 バリエーションからご選択ください。

　 独立シャッター方式を採用し、最小開口でウエハを搬送。 　 ポッド内の環境変化を最小限にするとともに、N2の消費を劇的に抑えます。 　 脱着可能な独立ポッド方式を採用し、メンテナンスやクリーニングにも 　 容易に実施頂けます。 　 フィルタを通したN2を供給することで、管路の影響によるパーティクルの 　 問題を排除致します。

Pitch:9mm×25wafer

Independent Shutter(9t)

Labyrinth Seal Clear window (For Mapping)

フィルタを通してN2を供給

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BWS600 (for carrier stocker)

N2-WS1600

RORZE CORPORATION

　 ご使用になられているポッドに合わせて最適な設計を行います。 　 ポッド開閉の自動化には、様々なノウハウが必要です。 　 非接触方式のアライメントなど、 　 多くのテクノロジーで自動化を実現致します。 　 クリーン性能を極限まで追求した弊社の製品を 　 是非一度ご評価ください。

Mask Protection Engineering Tool 　 次世代リソグラフィ技術、波長13.5nm 極紫外線 EUV。 　 ペリクルが使用できないという大きな技術課題に対し、 　 ローツェが誇るクリーンテクノロージのすべてを注ぎ込んだ搬送システム。 　 RSP200 / 二重ポッド 二つのキャリアに対応。 　 大気搬送・真空搬送・スケジューラ、そして GUI、 　 装置の設計段階から導入運用まで、専門メーカとして 　 提案型のソリューションをご提供致します。

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RSR160

MPE TOOL

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　 お客様のプロセスに最適なレイアウトと構成を、 　 フロントエンドモジュールを含めてご提案させて頂きます。 　 プロセスモジュールを中核とする 　 コアのIP開発に集中して頂き、 　 搬送部分は是非我々にお任せください。 　 もちろん、ハードウェアもソフトウェアも。 　

　 コンセプトはオプティマム。 　 目指すものは、最小のフットプリントと最大のスループット。 　 もちろん機能面でもローツェならではのご提案を準備しております。　 　 光学式センサと真空ロボットによるウエハ搬送位置補正機能、 　 そして真空アライナによる高精度位置決め機能。 　 ２つの機能で新たな可能性をご提供致します。

RORZE CORPORATION

PLVS-E152

RORZE CORPORATION

　 高真空・高精度・高機能。 　 ローツェが誇る真空用ロボットのフラグシップモデル。 　 自社開発の隔壁構造真空用ダイレクトドライブモータが、 　 低アウトガス・低コンタミネーションを実現致します。 　 搬送中にウエハの位置ズレを自動的に補正する、 　 ウエハ搬送位置補正機能を搭載。 　 マルチプロセスによる累積位置ズレの問題を解決致します。

　 MUSASHIと共通の駆動部に、 　 スチールベルトタイプのアームを組み合わせ、 　 高真空対応と最小旋回半径を両立。 　 ロングブレードが装置設計の自由度を高めます。 　

型式 搬送 対象 [mm]

耐真空度 [Pa]

旋回直径[mm]

最大搬送位置 [mm]

旋回 範囲 [° ]

昇降 範囲 [mm]

X-Y 精度 [mm]

Z 精度 [mm]

RR493L230Z07 300 10 940 1000 70 ±0.05 ±0.1

RR493L300Z07 300 10 940 1000 140 ±0.05 ±0.1

-6

-6

型式 搬送 対象 [mm]

耐真空度 [Pa]

標準 旋回直径 [mm]

標準最大搬送位置 [mm]

旋回 範囲 [° ]

昇降 範囲 [mm]

X-Y 精度 [mm]

Z 精度 [mm]

RR481L300Z07 300 10 730 1100 70 ±0.1 ±0.1

RR493L200Z07 300 10 530 700 70 ±0.1 ±0.1

RR493L230Z07 300 10 610 820 70 ±0.1 ±0.1

RR493L300Z07 300 10 730 1100 70 ±0.1 ±0.1

-6

-6

-6

-6

RORZE CORPORATION

RR490L405Z07

RR481L300Z07

RR493L200Z07

A

RORZE CORPORATION

　＊上記リストはダブルアーム・真空吸着仕様時の仕様です。 ＊シングルアーム・落とし込み・エッジクランプ等の対応も可能です。 　＊フィンガマッピング・リスト部マッピングなどの対応も可能です。

型式 搬送 対象 [mm]

最小 旋回 直径 [mm]

最大 搬送 位置[mm]

旋回 範囲 [° ]

Z 動作 範囲 [mm]

ARM 精度 [mm]

旋回 精度 [° ]

Z 精度 [mm]

RR751-L1511-341 300 565 659 330 340 ±0.1 ±0.03 ±0.1

RR751-L1511-411 300 565 659 330 410 ±0.1 ±0.03 ±0.1

RR753-L2011-411 450 740 870 330 410 ±0.1 ±0.03 ±0.1

RR757-L1511-341 300 565 659 330 340 ±0.1 ±0.03 ±0.1

RR757-L1511-411 300 565 659 330 410 ±0.1 ±0.03 ±0.1

　・RR751 　　　最も標準的で、最もコストパフォーマンスに優れたモデル。 　　　装置のレイアウトの自由度が最も高く、 　　　弊社標準システムにも採用される主力機。 　　　ハイレベルなクリーン性能、最高レベルのスループットをご提供致します。 　・RR757 　　　RR751をベースに可搬重量強化と補間動作対応を可能にした上位モデル。 　　　ARMと旋回動作を補間同期させ、 　　　横並び2ポートの搬送を走行軸なしで実現致します。 　　　2ポート吸着仕様のEFEM及びソータで、 　　　圧倒的なコストメリットを提供致します。 　　　アーム駆動部のクロスローラーベアリングを大型化し、 　　　セラミックトレイなどの重いワークも、より高精度に搬送可能です。 　・RR753 　　　RR751をベースに、450mmをメインターゲットとしたロングリーチ対応モデル。 　　　オフセットアームが省フットプリントを実現致します。 　　　RR757のアーム構造を踏襲し、450mmの重い搬送物への対応を実現しております。

*推奨上位通信：TCP/IP

RR751

RORZE CORPORATION

　 SERVO STEP-SERVO DRIVE POWER DC48V DC48V FLANGE SIZE 60[mm] × 60[mm] 60[mm] × 60[mm] LENGTH 69.5[mm] 67.3[mm] HOLDING TORQUE 0.573[Nm] 1.0[Nm]

MAXIMUM OUTPUT 180[W] 180[W] 3000-4500[RPM] 1800-3000[RPM]

なぜ、ステッピングサーボ？

圧倒的な瞬発力 驚くような保持力 正確無比な追従性

一つの動作が 0.5 秒。

そんな用途では、他の追従を許さない。

もちろんコストでも！

だから我々は選んだ、この最高のモータを。

1) モータ比較表

2) グラフ

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RORZE CORPORATION

RR751-L1511

RR757-L1511

RORZE CORPORATION

RR753-L2011

型式 WRIST 数

最小旋回 直径[mm]

最大搬送 位置[mm]

旋回範囲 [° ]

Zリーチ [mm]

精度 [mm]

RR734-L2122-411 Double 580 795 340 410 ±0.1

RR734-L2822-411 Double 700 970 340 410 ±0.1

RR736-L4122-410 Double 580(半円) 1175 180 410 ±0.1

　 中段差圧プレートを使用し、 　 究極のパーティクル性能を実現可能。ハイエンド向け高性能ロボット。 　 独自のモーションコントロールアルゴリズムが、 　 滑らかな動きとハイスループットを両立致します。 　 詳細はお問い合わせください。 　　 *推奨上位通信：TCP/IP

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型式 搬送対象 適合キャリア

RV201-F07-001 300mm SEMI E47.1 FOUP, SEMI M31 Auto-Door FOSB

RV204-F02-001 450mm FOUP, MAC

　・RV201-F07-001 　　　標準的なロードポートで、FOUP と AD-FOSB に対応。 　　　独自の開閉機構とモータによる精密な速度制御が、 　　　ハイレベルなクリーン性能を提供致します。

　・RV201-F07-C02 　　　オープンカセット対応のアダプタとダブルマッピングシステムを 　　　搭載したマルチサイズ対応ロードポート。 　　　FOUP と AD-FOSB に加え、200mmのオープンカセット等に対応。

　・RV201-F07-T01 　　　ストッカーへの連結を実現するキャリア反転機能付きロードポート。

　・RV204-F02-001 　　　450mm用の標準的なロードポート。 　　　FOUP と MAC に対応。

*推奨上位通信：TCP/IP

RV201-F07-001

RV201-F07-C02

RV201-F07-T01

RORZE CORPORATION

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FFU Clean Air 圧力差により気流をコントロール。

外部からのパーティクル侵入をシャットアウト！

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キャリア内が負圧になると、 コンタミのリスクが発生！ 弊社のロードポートは、 この問題を解消しています。

Difference Pressure [Pa]

Time [sec]

ミニエン内のクリーンエアを 積極的に外に流す。 オリジナルのドア開閉方法で 実現する究極のクリーン性能。

RORZE

他社

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他社

RORZE CORPORATION

　RV201-F07-001

　RV201-F07-T01

RORZE CORPORATION

　RV201-F07-C02

　RV204-F02-001

RORZE CORPORATION

型式 保持方法 搬送対象 [inch]

XY精度 [mm]

角度精度 [° ]

平均処理時間 (角度合わせ込) [sec]

RA120-C01-A01 真空吸着 12 ±0.2 ±0.2 2

RA220-6CV-001 真空吸着 6-12 ±0.2 ±0.2 2

RA320-822-001 真空吸着 8 ±0.1 ±0.1 高速:2 標準:3.5 高精度:5

RA320-C22-001 真空吸着 12 ±0.1 ±0.1 高速:2 標準:3.5 高精度:5

RA320-E22-001 真空吸着 18 ±0.1 ±0.1 標準:4 高精度:6

RA320-822-W001 真空吸着 8,12 ±0.1 ±0.1 高速:2 標準:3.5 高精度:5

RA320-C22-W001 真空吸着 12,18 ±0.1 ±0.1 標準:4 高精度:6

RA321-0CC-BW001 エッジ グリップ 12 ±0.1 ±0.1 3

　・RA320-822-001 / RA320-C22-001 / RA320-E22-001 　　　もっとも標準的なアライナ。 　　　３つのアライメントモードを実装。 　　　ニーズに合わせた動作を提供致します。（高速モードは弊社ロボット専用） 　　　8 インチ用(822)、12 インチ用(C22)、18 インチ用(E22)の 3 モデル。

　・RA320-822-W01 / RA320-C22-W001 　　　センサをダブルで搭載し、２サイズのウエハに対応可能としたモデル。 　　　コマンドを間違えてワークを破損するリスクを完全に回避しました。 　　　8 & 12 インチ用(822)、12 & 18 インチ用(C22)の２モデル。

　・RA120-C01-A01 / RA120-E01-A01 / RA220-6CV-001 　　　最小のスペースとコストを実現する弊社ロボット専用の単軸アライナ。 　　　アライナで検出した誤差をロボットで補正し搬送致します。 　　　（2014年8月販売開始予定）

　・RA321-0CC-BW001 　　　RMD搭載ACEシリーズクランプアライナ。（2014年4月販売開始予定）

*推奨上位通信：TCP/IP

RORZE CORPORATION

RA320-C22-001

RA320-822-001

RORZE CORPORATION

RA120-C22-001

RA321-0CC-BW001

RORZE CORPORATION

RA320-822-W001

RA320-E22-001

RORZE CORPORATION

　・搬送ロボット付きインキュベータ 　　　培養環境から駆動部を完全隔離。 　　　駆動部からのコンタミや振動を気にする事なく、安定した培養が可能！ 　・メンテナンスを考えたシステム設計 　　　カルーセル式ターンテーブルは、マグネットカップリング駆動。 　　　工具不要で簡単に脱着可能。テーブルを取り外せば庫内は完全フラット。 　　　クリーニングも容易です。 　・125℃乾熱滅菌機能搭載 　　　タッチパネルの滅菌モード選択で、自動で庫内の隅々まで乾熱滅菌します。 　　　MERCK社製BI(SGMStrip 9372)により、滅菌性能を評価しています。 　・各種装置へインテグレーション可能！ 　　　RS232C・TCP/IP通信を搭載。各種装置へインテグレーション可能です。

SCALE 仕様 収納プレート（シャロープレート） 120枚(20×6ラック） 装置サイズ W620×D888×H1470 内容積 / 重量 230L　/　250kg 加熱方式 ダイレクトヒータ 温度制御方式 PID制御 電源 AC100V　15A リモートコントロール RS232C　or　TCP/IP

表示機能 プレート収納状態 環境状態リアルタイム

設定温度 培養設定温度 室温+7℃～50℃ 温度精度 37±0.5℃ 滅菌時 125℃以上

湿度 90%以上 CO2 0～20% 低酸素用N2（オプション） ～1%（酸素濃度）

立上り時間 25℃～36.5℃ 2H以内 25℃～125℃ 3H以内

インターロック 滅菌時ドアロック

RORZE CORPORATION

生命科学の基本である細胞に「命を与える（*1）」 細胞培養技術を強力にサポートするために新開発された、 バイオ・オートメーション用総合スケジューリング・ソフトウェア・パッケージ iPS細胞をはじめとする細胞の培養には、 播種・培養・培地交換・観察・回収など、 複雑な工程の条件設定と管理が要求されます。 必要な消耗品や培地（試薬）の供給と廃棄、 入力情報と出力データの管理なども必要です。 それらを全自動化（無人化）するためには、 システム化されたハードウェアとともに、 フレキシブルでパワフルなソフトウェアが必要です。 今までのスケジューリング・ソフトウェアでは、 そのコントロールは不可能とされてきました。 AsuRaは、ユーザーが設定したパラメーターやプロトコール（スケジュール）に従い、 ロボット・搬送装置・インキュベーター・分注機・検出器・消耗品や試薬供給廃棄装置などを 統合的に制御することで、一連の細胞培養作業の条件と進行をプレート（ディッシュ）毎に 自動管理し、全自動で培養計画を完了させます。 さらに細胞情報、培養条件、作業・観察・検出結果などのデータも保存管理します。 また進行中の培養計画を停止することなく、 任意のタイミングでインターラクティブに培養計画を追加・変更することも大きな特徴です。 　　　

（＊1）AsuRa：　サンスクリット語の Asu「命」 Ra「与える」より

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振動 振動を止めたい！この対策効果あったの？ 効果を数値で確かめられるので対策も簡単！ 振動を止めたい！この対策効果あったの効果を数値で確かめられるので対策も簡

機械の異常の三大要素である 　　　　　　　“振動・音・ノイズ”を可視化！！

RORZE CORPORATION

音 機械から変な音がするから直したい。 でもサーボ調整が…　周波数が分かれば簡単！

ノイズ 目には見えない。音も聞こえない。どうやって 調べるの？　可能なんです、見ることが！

RORZE CORPORATION

型式 入力電圧 消費電流 上位接続 センサ

接続 記憶容量 重量

　RC-541 DC24V 200mA TCP Bluetooth

Ver2.0 準拠*1 128MB 130g

無線方式だから、今まで調べることが難しかった 可動部の振動までをも可視化！

サーボ調整の時間を大幅に短縮！ 今まで感覚頼りだった検査を数値で管理へ！ 部品の保全交換も数値で効果をレポート可能！

周波数分析が実現する新たな可能性。

予防保全が可能になる時代は、すぐそこに。

　組み込み型計測システム、ついに登場。

(*1 プロファイルSPP　最大通信距離１０ｍ、最大接続数1台)

RORZE CORPORATION

名称 3軸加速度センサ 3軸加速度センサ 6軸モーションセンサ

型式 MSDB-XYZ02A-BT MSDB-XYZ02-BT MSDB-XYZ02G-BT MSDB-XYZ04-BT MSDB-XYZ04G-BT MSDB-XYZ08-BT MSDB-XYZ08G-BT

充電方法 マイクロUSB(充電電流約50mA/DC5V) 内蔵電池 リチウム二次電池　(70mAh×2)

稼働時間(電波状況により異なります) 3時間20分 2時間50分 充電時間 約2時間20分

使用周囲温度および湿度 0～50℃（充電時：0～45℃）、5～85%（結露なきこと）

加速度センサ

軸数 3軸

加速度検出範囲(感度) ±2G（低ノイズ） ±2G(64±2LSB/G) ±4G(32±2LSB/G) ±8G(16±1LSB/G)

オフセット※2 0±0.15G 応答周波数 DC～800Hz(@-3dB) DC～340Hz(@-3dB) サンプリング周期 1msec

角速度センサ

軸数 - 3軸 角速度検出範囲 - ±2000deg/sec 感度 - 70mdeg/sec/digit オフセット - 0±75deg/sec 応答周波数 - DC～93Hz サンプリング周期 - 2msec 通信方法 Bluetooth Ver.2.0 準拠

外形寸法(mm)および重量 67.3(W)×35(D)×15(H)、約30g

(*1 プロファイルSPP　最大通信距離１０ｍ、最大接続数1台)

型式 入力電圧 消費電流

PC 接続

センサ 接続 記憶容量 重量

MSDB-XYZ-LOGGER

DC5V 200mA USB2.0 Bluetooth

Ver2.0 準拠*1 128MB 130g

(*2 ツール側でオフセット表示可能)

RORZE CORPORATION

　 世界最高峰エベレスト(8,848m)の並びに位置し、 　 エベレストが高いがゆえに目立ちませんが、 　 8,516mと高い山です。 　 漢字にあてれば、「楽孜」(ローツェ)であり、 　 　「楽」(ラク)…たのしい、おおらか、たやすい。 　 　「孜」(シ)…勤勉、すぐれた、等の意味があります。 　 半導体・液晶産業を支えるローツェ株式会社は、エベレストの世界最高を脇で支えている 　 ローツェ峰の姿であり、我々のフィロソフィーである 　 　「技術に自信を持って、楽しみながら仕事のできる集団」 　 　 にぴったりの社名であると確信しています。

約3,750枚の太陽光パネルを持つ発電設備の容量は、 954キロワット。 年間想定発電量： 　106万キロワットアワー （一般家庭約300世帯分の 　年間消費電力量に相当）

RORZE CORPORATION

「会社は個人の技術の向上を図り、 　 将来の希望を実現させるところ」

そして、

お客様と一緒に夢を叶えていく。

我々はこの方針のもと、 地域とともに発展を 続けていきたいと 考えています。

本社

〒720-2104　広島県福山市神辺町道上1588-2

TEL(084)960-0001　　FAX(084)960-0200

神奈川FAセンター

〒243-0432　神奈川県海老名市中央2-4-8ニコービル5F

TEL(046)236-1380　　FAX(046)236-1381

京都FAセンター

〒612-8238　京都府京都市伏見区横大路下三栖山殿53-1

TEL(075)612-6370　　FAX(075)612-6377

九州工場

〒861-1116　熊本県合志市福原1-16

TEL(096)292-4100　　FAX(096)292-4105

RORZE TECHNOLOGY, INC. （台湾）

1F., No.12, Industry East Road., IV, Science-based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C.

TEL+886-3-5776482　　FAX+886-3-5776461

RORZE AUTOMATION, INC. （米国）

48625 Warm Springs Blvd. Fremont, California 94539, U.S.A.

TEL+1-510-687-1340　　FAX+1-510-687-1350

RORZE SYSTEMS CORPORATION （韓国）

364 Gyeongancheon-ro, Yongin-si, Kyunggi-do, 449-923, Korea

TEL+82-31-335-9100　　FAX+82-31-337-1811

RORZE ROBOTECH CO., LTD. （ベトナム）

LotF2,F3 & F4, NOMURA-HAIPHONG Industrial Zone, Anduong District, Haiphong City, Vietnam

TEL+84-31-3743030　　FAX+84-31-3743044

RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD.（シンガポール）

627 A Aljunied Road, #10-11 Biztech Centre, Singapore 389842

TEL+65-6844-5502　　FAX+65-6844-5510

RORZE TECHNOLOGY TRADING CO., LTD.（中国）

Room 1107, Building 1, Sandhill Plaza, No.2290 Zuchongzhi Road, Zhangjiang Hi-Tech Park, Pudong New District, Shanghai, China

TEL+86-21-50101028　　FAX+86-21-50101007