A e r o t e c h W o r l d w i d eÉtats-Unis • Allemagne • Royaume-Uni • Japon • Chine • Taïwan • France

Inspection des semi-conducteurs et métrologie

Systèmes pour salle blanche et sous vide poussé

Automatisation intégrée et acquisition de données

Tests de capteur

Profilométrie de surface

www.aerotech.comDédié aux Sciences du Déplacement

Systèmes de déplacement automatisés pour tests, mesures et inspections

2 www.aerotech.com

Capacités de test, de mesure et d’inspectionDepuis 1970, Aerotech se consacre au développement de solutions industrielles de test, de mesure et d’inspection. Notre savoir-faire couvre les systèmes en atelier de production, en laboratoire R&D, dans les salles blanches et les chambres à vide. Notre capacité à fournir des produits et des systèmes spécialement adaptés aux besoins des utilisateurs finaux, des intégrateurs et des fabricants OEM à grand volume est inégalée et notre gamme offre qualité, performances, polyvalence et retour sur investissement maximum.

5•Platinesderotationcalibrées

mono-axeetmultiaxes

•Logicieldesimulationdedéplacement

•Commandesavancées

•Excellentestabilitédevitesseetdeposition

Tests de capteurs

•Plateformedemesuredesurfacecompacte(SMP)

•Driverslinéaires

•Supportdesystèmeintégré

•Mesuredeswafers,dessystèmesoptiquesetdesformescylindriques

•InspectionauxrayonsX

•Testsparultrasons

•Grandechoixdecomposants

•Driverslinéaires

•Moteurslinéairesetrotatifs

Tests non-destructifs 19

Profilométrie de surface 15

3

23•Ellipsométrie,scanningparinterférométrieen

lumièreblanche,mesuresparpalpage

•Platinesàmoteurlinéairehauteperformance

•Platinesrotativesetverticalesàentraînementdirectdefaibleépaisseur

•Chuckàdépressionavecmiseàniveauintégréenoption

•ContrôleursdigitauxlinéairesouPWM

Inspection et métrologie des semi-conducteurs

41•Contrôleursstandalone

etsurPC

•IntégrationPLCetdéplacementavecMotionPAC

•Interfaceopérateur

•Acquisitiondedonnées–SensorFusion

•Fonctionsavancéesdecommandeetderéglage

Automatisation et acquisition de données intégrées

•Testsdesystèmedenavigationinertiellepoursatellite

•Scanningpourlamicroscopieélectronique

•Polissaged’optiques

•Optiondevidede10-3à10-8

•Expériencedesapplicationssousvide

35Systèmes pour salle blanche et sous vide poussé

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Table des matières SIÈGE SOCIAL Aerotech, Inc. 101 Zeta Drive Pittsburgh, PA 15238 États-Unis Tél. : 412-963-7470 Fax : 412-963-7459 Email : sales@aerotech.com

Aerotech Royaume-Uni The Old Brick Kiln Ramsdell, Tadley Hampshire RG26 5PR, UK Tél. : +44 (0)1256 855055 Fax : +44 (0)1256 855649 Email : sales@aerotech.co.uk

Aerotech Allemagne Südwestpark 90 90449 Nuremberg, Allemagne Tél. : +49-911-9679370 Fax : +49-911-96793720 Email : sales@aerotechgmbh.de

Aerotech Japan WBG Marive East 22F 2-6-1 Nakase Mihama Ward, Chiba Japan 261-7122 Tél. : +81 (0)50 5830 6821 Email : sales@aerotechkk.co.jp

Aerotech Chine Room 101, No. 28 Building Tianlin Road 140 Xuhui District Tél. : +86 (21) 3319 7715 Email : saleschina@aerotech.com

Aerotech Taïwan 5F, No 32, Aly 18, Lane 478, Ruiguang Rd, Neihu District, Taipei City, 114, Taiwan R.O.C. Tél. : +886 (0)2 8751 6690 Email : salestaiwan@aerotech.com

Aerotech France 91280 Saint Pierre du Perray France Tél. : +33 1 64 93 58 67 Email : sales@aerotech.co.uk

Capacités de test, de mesure et d’inspection ................................................................... 2

Tests de capteursTests et étalonnage de capteur inertiel ............................................................................ 6Simulateurs de déplacement ........................................................................................... 8 Tests de capteur standards .............................................................................................. 12

Profilométrie de surface Plateforme de mesure de surface (SMP) ......................................................................... 16 Solutions traditionnelles de profilométrie et de mesure ................................................... 18

Tests non-destructifsInspection aux rayons X ................................................................................................. 20 Tests par ultrasons ........................................................................................................... 22

Inspection et métrologie des semi-conducteurs Mesure de film fin .......................................................................................................... 24 Inspection de wafers ....................................................................................................... 26 Microscopie à force atomique ........................................................................................ 28 Détection de défauts/balayage de particules ................................................................ 30 Caractérisation magnétique et électrique ........................................................................ 32 Inspection de réticules .................................................................................................... 33 SEM, TEM, FIB ................................................................................................................ 34

Systèmes pour salle blanche Capacités pour salle blanche .......................................................................................... 36

Systèmes sous vide pousséApplications sous vide..................................................................................................... 38 Plateforme de test rotative .............................................................................................. 40

Automatisation et acquisition de données intégrées Solutions d’automatisation intégrées d’Aerotech ............................................................ 42 Commandes standards .................................................................................................... 44 Commandes avancées .................................................................................................... 45 Acquisition de données – Sensor Fusion ......................................................................... 46 MotionPAC .................................................................................................................... 48 Un grand éventail d’options de driver ............................................................................ 50

Déplacement rotatif et linéaire Solutions de déplacement rotatif .................................................................................... 52 Solutions de déplacement linéaire ................................................................................. 56 Platines XY à coussin d’air .............................................................................................. 58 Nano-positionneurs ........................................................................................................ 60 Des composants aux solutions intégrées ........................................................................ 64

Pourquoi être partenaire avec Aerotech ...................................65

Systèmes customisés ..............................................................................66

Capacités dans d’autres marchés ..................................................68

Formation et support dans le monde ...........................................70

Prix et récompenses .............................................................................71Copyright © 2012, Aerotech, Inc. Les informations de cette brochure sont sujettes à changement sans préavis.

Tests de capteurs

6 www.aerotech.com

Tests et étalonnage de capteur inertiel Quels que soient la taille, la composition, les degrés de liberté ou la quantité de capteurs, Aerotech dispose d’une solution de test et d’étalonnage des capteurs inertiels d’aujourd’hui. Nos solutions sont conçues pour induire des accélérations, des positions et des excitations sinusoïdales en vue de tester et d’étalonner les accéléromètres, les gyroscopes, les systèmes de navigation inertielle, les gyroscopes à fibre optique, les appareils de mesure inertiels et les systèmes stabilisés. Couplées à nos contrôleurs de pointe incluant la suppression d’harmoniques, le logiciel Motion Simulator, le logiciel Motion Designer, et de nombreuses autres commandes avancées, ces solutions vous garantissent des tests et un étalonnage précis et très répétable.

Applications •Accéléromètres

•Gyroscopes

•ÉtalonnagedeMEMS

•Appareilsdemesureinertiels

Caractéristiques et avantages •Simulateursdedéplacementà

entraînementdirectdehauteprécision

•Couplereluctantnul

•Coupleélevé

•Coussinsd’airouroulementsmécaniques

•Acquisitiondedonnéesentempsréel

•Modesenposition,vitesseetoscillation

•Importationdeprofild’utilisateur

•Outilsdeprogrammationfacilesàutiliser

•Jointstournantsélectriquesoucâblestorsadésd’alimentationetdetransmissiondesignauxdesunitéssoustest

•Dessystèmesmono-axeséconomiquesauxsystèmesàtroisaxeshauteperformance

7

Le problèmeUne excitation sinusoïdale est souvent nécessaire pour effectuer des tests sur un dispositif inertiel ou pour l’étalonner. La nature même du test introduit des erreurs de déplacement à la fréquence d’excitation et à d’autres harmoniques d’ordre plus élevé. Si elles ne sont pas corrigées, ces erreurs risquent de fausser les résultats du test ou l’étalonnage, ou de provoquer des défauts évitables d’assurance qualité.

La solutionLa suppression d’harmoniques, qui fait partie de notre boîte à outils de commandes dynamiques, vous permet de compenser facilement toute perturbation provoquée par la fréquence d’excitation ou par une charge déséquilibrée. Cette fonction s’adapte à l’amplitude et à la fréquence de la source d’erreur. Un assistant de configuration facile d’emploi est fourni sur le scope digital et le simulateur de déplacement. Aerotech comprend que toute perturbation est inacceptable et a développé une suppression d’harmoniques sur tous ses contrôleurs afin de supprimer ces erreurs, ce qui conduit aux résultats de test et d’étalonnage les plus précis.

Erreurdepositionsanssuppressiond’harmoniques

Erreurdepositionavecsuppressiond’harmoniques

Commandeavancée:suppressiondesharmoniques

Platines de rotation de précision à entraînement direct calibrées en vitesse et en position•Roulementsàcontactobliqueoucoussins

d’airàhautecapacitédecharge

•Contrôleenboucleferméeextrêmementprécis

•Moteurbrushlesssansencochepourundéplacementréguliersanscouplereluctant

•Grandchoixdejointstournantsélectriquesintégrésàfaiblebruit,pourlessignauxetl’alimentationduclient

•Plusieurstypesdemoteurpourconfigurationsàhautevitesseouàcoupleélevé

•Excellentesperformancesd’erreurdedéplacement

•Orificesdoublespourliquideougaz

•Designfaiblemaintenance

•Résolutiondepositionjusqu’à0,000006°(0,1µrad)(0,02seconded’arc)

ARMS-260

ARMS-200

ARMS-150

8 www.aerotech.com

Simulateurs de déplacement - GUI Caractéristiques principales : •Poursimulateursdedéplacementà1,2ou3axes

•Interfaceutilisateurgraphiqueconviviale

•ImportationduprofildedéplacementgraphiquePVAT(position,vitesse,accélération,temps)

•Sortiesynchroniséeaveclaposition(PSO)poursynchronisationd’événementtempsréel

•Suividetrajectoireàpartird’entréesdigitales,analogiquesouprogrammées

•Lemodederéponseenfréquencepermetunbalayaged’entréesinusoïdaletlavalidationdesperformancesdesunitéssoustestdudispositifclient.

•Apprentissageitératifpourminimiserleserreursdeposition.

•GUIenmodeclient-serveurpermetuntraitementetuncontrôleenparallèleparleréseauEthernet

•Lasuppressiond’harmoniquesminimiseleserreursdepositioncrééesparlesdéplacementssinusoïdaux.

MotionDesigner

Réponseenfréquence

Analysedesdonnées

Écranprincipal

Programme

L’écrandeTrackingpermetdesélectionnerlessignauxexternesdesuivi

9

Simulateurs de déplacement - mono-axe

CommandesurPCparlelogicieldesimulationdemouvementAerotechetlesélectroniquesmontéesenrackNpaqouHLE

Mouvementdetilt

AcheminementdelapuissanceetdessignauxUUTpardesjointstournants

Zonedemontagedeplusieursunitéssoustest(UUT)surnosinterfacesdegrandetaillepourtestssimultanés

Rotationouoscillationàvitesseélevée

ARMS-260•Chargeutilede227kg

•Accélérationsanscharge>20000°/s2

•Vitesseminimale0,001°/s

Table calibrée en vitesse mono-axe ARMS•Lesconfigurationsmono-axesincluenten

optionunsupportautonomeultra-rigideavecpiedsréglables

•Reconfigurablepourunecoursecontinueoulimitée

•Jointtournantélectriquesurmesureenoption

•Orientationverticaleouhorizontale

•Tailledeplateauinterfacecustomisable

Platine de rotation calibrée en vitesse mono-axe haute précision avec tilt•Permetdetravailleràdifférentsangles

d’inclinaison

•Montéesurunerotationàvistangenteassurantletilt

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Simulateurs de déplacement – deux axesDes simulateurs de déplacement sur deux axes sont utiles pour les tests d’axe simultanés des capteurs de position, de

vitesse et d’accélération.

Platine de rotation calibrée en vitesse deux axes avec électronique intégrée •Rotationcontinuedesdeuxaxes

•Déplacementssansà-coups,grâceauxmoteursbrushlesssansencochessanscouplereluctant

•Jointstournantsélectriquespourpuissanceetsignauxcapteurs

•Jointstournantsd’alimentationgas/liquide

•Basemachinecontientlecontrôleurdedéplacement,lesdriversdigitauxlinéairesetlebandeaudesécuritéavecarrêtd’urgence.

PRÉCISION

21 janvier 2010Précision moyenne : 0.5

Répétabilité 0.3

Vérification 151379-A-1-1-AZToutes les unités = arcsecPrécision totale : 0.7

1

0,8

0,6

0,4

0,2

0

-0,2

-0,4

-0,6

-0,8

-1

Préc

ision

(arc

sec)

Position (degrés)ALAR-150 ES12803

DWH

Vers l’avantVers l’arrièreMoyenne

Graphiquedeprécisionsupérieureà±1arcsec(±4,85µrad)

Lacetcontinu

Rouliscontinu

Arrêtd’urgencedéportépoursécuritéergonomique

Driverslinéairesetcommanded’arrêtd’urgenceintégréspourminimiserl’espaceausolOptionsdePCà

distanceouintégré

Testsdescentralesinertiellesetdessystèmesgyroscopiques

11

Simulateurs de déplacement – trois axes

Les simulateurs de déplacement à trois axes assurent des mouvements de roulis, de tangage et de lacet simultanés pour les profils de vitesse angulaire dans

l’espace 3D réel.

•ConceptàencombrementréduitpourletestdesgyroscopesMEMS

•ConceptionmodulairebaséesurlesrotationsdelasérieARMS

•Coursecontinueoulimitéeenoption

•Piedsupportenoption

•Platinederotationenvitessemonoaxeintégréesdansuneétuve

•Montageverticalouhorizontaldisponible

•Tempsdecyclefiablepourtestsentempérature

1

0,8

0,6

0,4

0,2

0

-0,2

-0,4

-0,6

-0,8

-1

Préc

ision

(arc

sec)

Position (degrés)

Vers l’avantVers l’arrièreMoyenne

La précision et le voilage sont testés sur chaque simulateur de déplacement. Le voilage typique est inférieur à 10 µrad. La précision typique est de ±5 à ±10 µrad.

Roulis,tangageetlacetcontinus

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Tests de capteurs standardsLes produits fabriqués de nos jours contiennent des capteurs d’une grande diversité de formes et de tailles, qui leur permettent de fonctionner de façon plus intelligente et plus sûre. Il est donc essentiel de tester le bon fonctionnement de ces capteurs. Quel que soit le type de capteur, Aerotech a une solution répondant à vos besoins.

Applications •Capteursdeposition

•Détecteursinfrarouges

•Capteursautomobiles

•Capteursdepression

Caractéristiques et avantages •Excellentestabilitédevitesse

•Miseenpositionrapide

•Rendementélevé

•Grandeprécision

•Descomposantsausystèmecléenmain

•Largechoixdeplatines

•Interfaceutilisateurpersonnalisable

•Environnementdedéveloppementintégré(IDE)

•Techniquesdecontrôlecommandeavancées

Produits •APR

•ADRT/ADRS

•SériePRO(visàbillesetmoteurlinéaire)

•AGC

•ACS

•AGS1500

•Solutionspersonnalisées

APR

ContrôleursmultiaxesA3200etEnsemble

ADRS

PRO165LM

13

Une variété de platines de déplacement linéaire pour chaque application

ACT115:actionneursàfaiblecoûtetàdélaisrapidedelivraison

PRO165LM-XY:CombinaisonsstandardsXY,XYZetXYq

ANT130-L:platineàmoteurlinéaireàrésolutionnanométrique

MPS75SL:platinelinéaireminiatureàvis

SérieEnsemble

SérieSoloist

Vaste sélection de contrôleurs intégrés

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Le problème Les capteurs actuels ont une grande diversité de formes et de tailles, avec des fonctionnalités de plus en plus variées. En tant que développeur et fabricant de ces capteurs, vous attachez une grande importance aux phases de test et d’inspection. Aerotech sait que vous avez souvent besoin de solutions de tests et d’étalonnage personnalisées.

La solution Nos ingénieurs mécaniciens, électriciens et systèmes développeront avec vous une solution correspondant exactement à vos exigences de test. Nous pouvons fournir une personnalisation à tous les niveaux. Des moteurs spéciaux aux platines personnalisées et aux machines complètes avec capot fermé, sécurité et consoles, Aerotech est votre unique fournisseur pour vos besoins d’automatisation customisés.

Goniomètres AGC •Goniomètrespourenvironnements

detestuniques

•Driverslinéairespourenvironnementsdetestdélicats

•Solutionsintégréespourminimiserlestempsdemiseenroute

Tests de capteurs standards

DriverslinéairesNdrive(ML,CL,HLe)

15

Profilométrie de surface

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Plate-forme de mesure de surface (SMP) La plate-forme de contrôle de déplacement pour mesure de surface d’Aerotech (SMP) est une solution unique de profilométrie de surface. La SMP est particulièrement bien adaptée aux mesures et aux tests d’objets symétriques en rotation, mais aussi d’objets plus petits asymétriques. Avec un encombrement mécanique minimal, des commandes intégrées et des options polyvalentes de capteurs, la SMP peut être facilement installée dans tout laboratoire, centre d’essai ou atelier de fabrication. Les axes R et Thêta sont disponibles avec paliers à coussins d’air ou mécaniques, offrant une solution pour tous les budgets.

Caractéristiques et avantages •Idéalepourlesobjetsàsymétriede

rotation

•Comprendjusqu’à4axesdedéplacementsousunformatcompact

-Disponibleavecpaliermécaniqueouàcoussind’air

•Mesurepossibledessurfacessupérieuresetlatéralespourdespiècesplatesousphériques

•Conceptionmécaniquepermettantdiversesoptionsdecapteurs

-Interféromètreàlumièreblanche -Interféromètreàplusieurslongueurs

d’onde -Systèmedevision -Sondesdecontact

•Modèlecompact60%pluspetitquelessystèmescartésienstraditionnels

•Modèlehautevitesse40%plusrapidequelessystèmescartésienstraditionnels

•Excellenterépétabilitédeposition,del’ordredunanomètre

•Technologiededriverlinéaire

•Architecturelogiciellepolyvalenteàintégrationfacile

•Techniquesdecontrôlecommandesavancées,afind’éliminerlesperturbationsdel’environnement

•Interfaced’opérateurpersonnalisablepourréduirelestempsdeprogrammation

Z

TT

C

RR

17

Le problèmeLes composants mécaniques et les commandes sont seulement des éléments d’une machine de profilométrie ou d’inspection complète. L’intégration des capteurs, le développement des procédés et l’acquisition des données sont des éléments beaucoup plus importants. Il est souvent long et difficile de coordonner la position de la partie mécanique avec les valeurs des capteurs. Il est aussi nécessaire d’intégrer les résultats dans une interface d’utilisateur performante avant de mettre le produit final sur le marché.

Grâceaumoduled’améliorationderendementETMd’Aerotech,augmentezlastabilitédelavitesseetréduisezlesdélaisdemiseenpositionenprésencedevibrations.

La solution Aerotech offre une série d’outils logiciels puissants qui permettent de développer plus rapidement une interface adaptée.

•C#

•VB.NET®

•ManagedC++

•LabVIEW®(VIfournis)

•BibliothèqueC

•EPICS,TANGO

•IEC61131-3

Temps

Posi

tion

MotionDesigner-Générationgraphiquedetrajectoiresetanalysededonnées

Utilisezl’interfaced’opérateurAerotechpourundéploiementrapide

VILabVIEW®deprogrammationd’interfacepersonnalisée

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Solutions traditionnelles de profilométrie et de mesure Les applications de profilométrie de surface posent divers types de difficultés en ce qui concerne la technologie des commandes de déplacement : les systèmes avancés sont munis de sondes extrêmement sensibles, ce qui contraint de réduire le plus possible les déplacements parasites (planéité, par exemple), et l’acquisition rapide des données ne doit pas être ralentie par le contrôleur. Les plates-formes de balayage intégrées d’Aerotech offrent des fonctions clés qui augmentent à la fois le rendement et les performances.

Produits •GantryàmoteurlinéaireAGS10000etAGS15000

•Nano-positionneurmultiaxesANT130-XY

•Nano-positionneurverticalANT130-L-Z

•Composantspoursolutionspersonnalisées

Caractéristiques et avantages •Stabilitédeposition

•Hauteprécision

•Coûtglobaldepossessioninférieur

•Ducomposantausystèmecléenmain

•Dessolutionsàtouslesniveauxdeprécision

-Platinesàvisàbilles -Platinesàmoteurlinéaire -Platinesàcoussind’air

SérieAGS15000Gantrycartésien

ANT130-XYetANT130-Lmontéssurunebase/unpontengranit

Tests non-destructifs

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Inspection aux rayons X Aerotech comprend les défis posés par les technologies à rayons X actuelles et fournit les composants et les platines nécessaires pour tous les domaines d’inspection aux rayons X. Avec des tolérances de plus en plus basses, la précision des axes est de plus en plus importante. C’est pourquoi vous devez choisir vos produits chez un fournisseur capable de pourvoir à vos besoins non seulement aujourd’hui, mais également demain.

Caractéristiques et avantages •Fonctionnementbassevitesseprécis

•Excellentestabilitédevitesse

•Solutionsdecommandepourtouslesaxes

•Grandchoixdecomposants

Produits •PlatinesàvisàbillesPRO115etPRO165

•PlatinerotativeàengrenageAGR

•PlatineADRSàentraînementdirectetroulementmécanique

•Platinesrotativesàentraînementdirectetcoussind’airABRSetABRT

•Solutionspersonnalisées

PlatinerotativeàengrenageAGR-50

PlatineABRS-200MPàentraînementdirectetroulementcoussind’air

PlatinelinéaireàvisàbillesPRO165

21

La solutionAerotech a une vaste gamme de platines et de composants satisfaisant tous les besoins des machines d’inspection à rayons X. Au niveau composant, nous disposons de moteurs linéaires, de moteurs rotatifs et de solutions de commande. Nos platines à vis à billes série Pro et nos platines rotatives à engrenage série AGR sont parfaites pour les axes non utilisés pour les tests. Pour les axes de test, nous offrons un grand choix d’options à entraînement direct et à coussin d’air, capables de répondre à toutes les spécifications.

ABL1500ZavecplatinerotativeABRT

Platinesrotativesàentraînementdirectetcoussind’airABRT

Driverslinéairespourfaibleémissionélectromagnétiqueetcommandedevitessesansà-coups

Le problèmeLes machines d’inspection à rayons X nécessitent des axes différents, avec des niveaux de précision variés. Les axes inutilisés pendant les phases de tests nécessitent souvent une technologie de type engrenage ou vis à billes seulement, mais les autres peuvent exiger un déplacement à entraînement direct ou même une précision de niveau coussin d’air.

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Tests par ultrasons Que vous recherchiez une machine de test aux ultrasons complète ou seulement les composants pour bâtir votre propre système, Aerotech a la solution. À notre grand choix d’actionneurs motorisés linéaires, de systèmes rotatifs à engrenage et de platines à vis à billes s’ajoute notre gamme complète de commandes parfaitement intégrées, pour vous offrir la meilleure solution, disponible auprès d’un même fabricant.

Produits •PlatinelinéaireàvisàbillesPRO115

•ActuateurlinéaireACT

•Driverslinéaires

•Driversrackables

•Moteurslinéaires

•Moteursrotatifs

•Machinesd’inspectionclésenmain

GantryXYZpersonnalisé,bâtiàpartirdesplatineslinéairessériePRO

Caractéristiques et avantages •Économique

•Pasd’émissiondebruitsélectromagnétiques

•Dessolutionspolyvalentes

•Descomposantsauxsystèmescomplets

Gammecomplètedemoteursetdedriverslinéaires

Inspection et métrologie des semi-conducteurs

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Applications•Ellipsométrie

•Réflectométrie

•Interférométrieàbalayageenlumièreblanche(SWLI)

•Mesuresparpalpeur

Caractéristiques et avantages •Contrôleenboucleferméedehauteprécision

•Codeuràsortiedigitaleenoption

•Moteurbrushlesssansencochepourdéplacementdouxsanscogging

•PlatinesthêtaetZdefaibleépaisseur

•Jointtournantintégrépouropérationduchucksousvide

•Chucksousvideavecmécanismedemiseàniveau

Mesure de film fin Aerotech offre un grand nombre d’options de platines linéaires, rotatives et Z pour les outils à deux, trois et quatre axes servant à mesurer le profil et l’épaisseur des films fins. Chaque système a été conçu pour maximiser le rendement tout en minimisant les erreurs de géométrie des profils et des épaisseurs. Tous les composants mécaniques sont étudiés pour être compatibles salle blanche, en respectant des normes de fabrication strictes, par le choix attentif des matériaux et grâce à des câblages bien pensés. Le contrôleur Ensemble d’Aerotech, doté de drivers Ensemble MP ultra compact, fournit une plate-forme de déplacement haute performance de faible encombrement.

Produits •Contrôleur/driverPWMEnsembleMP

•Platinesmotoriséeslinéaireshauteperformance(ALS20000,PRO225LM)

•Platinesàfaibleépaisseur,rotativesetZ(WaferMax-Z,WaferMax-T,ADRS)

PlatineXYALS20000àcoursede350mmavecplatineWaferMax-T

Waferchuckde300mmavec3pointsdemiseàniveau

DriversPWMEnsembleMP

25

Le problèmeLes considérations de place sont un souci constant dans les usines, ce qui force les fabricants de machines-outils à proposer des machines d’un encombrement le plus faible possible. Par ailleurs, Il faut également satisfaire diverses normes de sécurité. Des drivers compacts capables de fonctionner à des tensions non mortelles (48 VDC et en dessous) et pouvant être montés n’importe où sur la machine sont essentiels pour pouvoir satisfaire aux normes de réglementation comme Semi S2.

La solutionLes drivers MP et ML d’Aerotech sont compacts et compatibles avec une alimentation continue. Ils offrent presque toutes les fonctionnalités de commande des autres drivers, avec un encombrement quatre fois moins important. Cette taille compacte leur permet d’être montés pratiquement n’importe où et ils sont compatibles avec les alimentations de 24 et 48 VDC disponibles.

DriversEnsembleML10-40-IO-MXH(linéaire)etEnsembleMP10-IO-MXU(PWM)

41,1mm107m

m

14

1,2

mm

26 www.aerotech.com

Inspection de wafersLes systèmes d’inspection optique (fond clair et fond noir) font partie intégrante de toutes les unités de production de wafers. Ces outils de caractérisations des surfaces détectent une variété de défauts, y compris les vides, les creux et les rayures sur la surface du wafer. Un balayage ligne par ligne régulier à haute vitesse est nécessaire pour satisfaire les besoins des usines actuelles. L’ABL9000 d’Aerotech a longtemps été la norme de perfection pour ce type d’inspection, en fournissant d’excellentes caractéristiques de performance dynamiques.

Plate-formedecontrôlededéplacementABL9000avecpontengranit/axeZ,systèmed’isolationoptimiséetbasemachine.

Caractéristiques et avantages •LesmoteurslinéairesàentraînementdirectAerotech

permettentunbalayageàhautevitesseetdestempsd’inversionrapides,cequimaximiselerendementdelamachined’inspection.

•Aerotechoffreunevastegammed’axespouvantêtremontéssuruneplatineXY,ycomprisdesaxesthêtad’alignementdemiresetdesaxesZpourlafocalisation.

•Platineàouverturecentralepourapplicationsdemicroscopie

•Labasedelamachineetlesystèmed’isolationfournisparAerotechréduisentauminimumlestempsd’intégration.

•Lesingénieursexpérimentésd’Aerotechpeuventvousaideràconcevoirunsystèmedédiéàvosspécifications.

Aerotechfournitungrandnombredecombinaisonsdeplatineslinéairesetrotatives,convenantpratiquementàtouteslesapplicationsd’inspectionetdedétectiondesdéfauts.

ABL1500WB/ABL1500XYavecunZàcoussind’airABL1500Zàéquilibragepneumatique

ABL1500WB/ABL1500XYavecWaferMaxZq

Produits •Platinesàhautedynamique(PlanarHD,ABL9000,

ABL1500,ALS3600)

•Platinesverticalesetrotativesàentraînementdirect(WaferMaxZetT)

•Plates-formesdecommandeA3200àhauteperformance

27

LacommandeSlice(balayageligneparligne)lielemouvementdebalayageetledéplacementdefaçonàformerunseulmouvementrégulier,etàmaximiserainsilerendement.

Aerotechadenombreusesconfigurationsdeplatinesouvertes,ycomprisdessystèmesàpaliermécaniqueetàcoussind’air,parfaitspourl’inspectionoptiquedeswafers.

ContrôleurdemachinemultiaxesAutomation3200(A3200)

PlatineouverteALS3600personnaliséeàhautrendement

Le problèmeLe point le plus important d’un système de mesure de wafer optique est sa capacité à reconnaître et à mesurer correctement les défauts tout en respectant la cadence de la chaîne de production. Ceci suppose des structures mécaniques exceptionnellement rigides, la génération de profils de déplacement et des systèmes d’isolation adaptés. Afin de satisfaire les rendements horaires de production des wafers, il est essentiel que le système puisse respecter les spécifications de vitesse de balayage.

La solutionLes platines à palier mécanique comme à coussin d’air d’Aerotech ont été conçues avec une rigidité de structure maximale. Cette philosophie de design améliore le rendement en augmentant les fréquences propres. En outre, Aerotech a développé des routines d’optimisation de profil permettant une stabilisation plus rapide après accélération. La commande Slice régularise l’inversion de sens de la platine pendant le balayage ligne par ligne, et la fonction de programmation du gain directionnel réduit les délais de stabilisation en ajustant automatiquement les gains en fonction des erreurs de déplacement résiduels.

Erreur de position dynamique, cercle XY – Gain programmé Kpos

Temps (en secondes)

Erre

ur p

os. X

(µm

) E

rreu

r po

s. Y

(µm

)Er

reur

pos

. vec

torie

lle (

µm)

Temps (en secondes)

Temps (en secondes)

Cesystèmecomprenddesplatinesàcoussind’airetunretourcodeurparinterféromètrelaseràdeuxaxespourfournirunerésolutioninférieureàunnanomètre.

28 www.aerotech.com

Microscopie à force atomiqueDe nombreuses applications d’inspection exigent une grande stabilité positionnelle, mais aucune n’a de spécifications aussi strictes que celles des microscopes à force atomique. Aerotech offre de multiples plates-formes de contrôle de déplacement répondant directement aux besoins de la microscopie à force atomique, fournissant des pas incrémentaux nanométrique avec une stabilité en position inférieure au nanomètre. Les plates-formes recommandées sont toutes des systèmes à entraînement directe et à codeur sans contacts, dont les performances excellentes de précision et de stabilité ont été testées de façon approfondie.

Produits •Plates-formesdecontrôlededéplacementmultiaxes

ultra-stables(ABL9000,ANT95-XY,ANT130-XY)

•Électroniquesdecommandehauterésolutionàfaiblebruit(NdriveHLe,Npaq/DL4010,NdriveML)

•Autresmatériauxdeconstructionspécialementchoisispourminimiserlesproblèmesthermiques

Caractéristiques et avantages •ContrôleurdedéplacementA3200àdrivers

linéairesdiscretsoumontéssurrack

•PlatinesmotoriséeslinéairesXYintégréeshauteperformance–paliersàcoussind’airoumécaniques

•Laplate-formedecontrôlededéplacementultra-stablefournitunetrèsgrandestabilitépositionnelleetunedérivethermiqueminimale

ABL9000gantryplanàcoussind’airpourwafersde300mm

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La solutionL’ABL9000 d’Aerotech peut être « verrouillé » à la fois sur les axes X et Y pour augmenter considérablement la stabilité positionnelle dans le temps. Des méthodes spéciales permettent de contrôler la procédure de verrouillage tout en conservant les informations de position. Ceci assure que l’utilisateur connaît toujours l’emplacement de l’échantillon, quelle que soit la condition de verrouillage.

Des méthodes d’étalonnage spéciales peuvent être utilisées pour améliorer la précision à la fois en modes verrouillé et non verrouillé, au niveau du plan de travail d’un système à platine XY. Ces techniques sont conçues pour réduire non seulement les erreurs de position mais aussi les erreurs de direction X et Y provoquées par les rotations thêta X, thêta Y et thêta Z.

Le problèmeLes microscopes à force atomique produisent des images de géométries très complexes d’une résolution exceptionnellement élevée. Le défi est de trouver une plate-forme de contrôle de déplacement offrant à la fois un positionnement de très grande précision et une absence totale de mouvement une fois en position. L’instabilité positionnelle est un mouvement parasite que la microscopie à force atomique ne peut pas tolérer.

L’InvarALS130-XYàaxeZàéquilibragepneumatiqueestspécialementconçupouraugmenterconsidérablementlastabilitéthermique.

SystèmeplatineANT180-XY

ANT130-XY ANT95-XY-ULTRA

Driverlinéaireautonomeousurrack

0 5 10 15 20 25 301

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

Temps (s)

Pos

ition

(nm

)Résolution haut de gamme de 1 nm

Graphedespasde1nmdel’ANT95-XY-ULTRA

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Détection de défauts/ balayage de particulesLes systèmes de déplacement linéaire ultra-régulier sur coussin d’air d’Aerotech et les platines rotatives à haute performance sont un excellent choix pour la mesure des défauts macroscopiques, de la contamination particulaire et des défauts génériques. Des platines rotatives et linéaires à haute vitesse couplées à un contrôleur de déplacement ultra-moderne fournissent des mesures précises avec un rendement élevé. Qu’il s’agisse de déplacements simples sur le même plan circulaire, ou de profils d’inspection hélicoïdaux très précis, Aerotech a la combinaison de platines optimale.

Produits •ContrôleurdedéplacementA3200à

driverslinéairesautonomesoumontéssurrack

•Lafonctiondesuppressiond’harmoniquesminimiselecouplageparasitiqueentrelesaxesrotatifsetlinéaires.

•Platinesmotoriséeslinéairesàcoussind’airhautesperformances(ABL1500/ABL2000)

•Platinesrotativestraditionnellesoubrochehautevitesseàentraînementdirect(ABS2000/ASR2000/ABRS/ADRS)

Platineàcoussind’airABL2000surmesureavecplatinerotativefaibleépaisseurcustomisée

Selonl’orientationdel’axeetlesspécificationsd’intégration,AerotechpeutconcevoirunesolutionR-thêtahauteperformancesurmesure.

BrocheàroulementmécaniquesérieASR2000

Aerotechfournitàlafoisdesbrochesàroulementmécaniqueetàcoussind’air,pourdesvitessesderotationallantjusqu’à6000tours/min.

BrocheàroulementmécaniquesérieABS2000

31

Le problèmeLorsque des axes rotatifs à haute vitesse sont incorporés dans une plate-forme de contrôle de déplacement multiaxes, l’équilibrage du chuck devient une importante considération. L’équilibrage correct de la charge améliore la précision en réduisant les vibrations de la machine et augmente le rendement en permettant des vitesses de broche plus élevées.

Caractéristiques et avantages •CommandesavancéesAerotech–

suppressiond’harmoniques

•Réductiondeserreursdepositionssurlestrajectoirespériodiques

•Éliminationdesperturbationspériodiques

•Adaptatifàl’amplitudeetàlafréquencedelasourced’erreur

•Assistantsdeconfigurationintégrés

La solutionDans le cas des applications à broche très rapide, Aerotech peut effectuer un centrage/équilibrage du mandrin afin de réduire le temps d’intégration. En outre, les commandes avancées d’Aerotech comprennent une fonction de suppression d’harmoniques, conçue spécialement pour réduire considérablement les interférences entre les axes rotatifs à déséquilibre résiduel et les axes linéaires.

Systèmedecommandeàdriverlinéairehautepuissance

Erreurdepositionsanssuppressiond’harmoniques

Erreurdepositionavecsuppressiond’harmoniques

Commandeavancée:suppressiondesharmoniques

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Produits •DriversautonomesEnsembleCP/MPourackEpaq

•XYàentraînementlatéral,AGS1000,sériePRO

•SérieAVS/AVSI,ATS100pourmiseaupoint

•SérieAGR

Caractérisation magnétique et électrique Des systèmes à quatre axes traditionnels aux systèmes gantry de faible encombrement, Aerotech offre une multitude d’options pour les mesures électriques et magnétiques. Dans le cas des mesures magnétiques, Aerotech peut aussi fournir des structures sur mesure augmentant la distance entre les matériaux magnétiques et la zone de travail ou des solutions de blindage spécialement conçues.

Caractéristiques et avantages •ConfigurationsgantryouXYtraditionnelles

•Codeurrotatif,linéaireoupilotageendoubleboucle

•Hauteprécisionetgrandestabilitéenposition

•Conceptionssurmesuredisponibles

GantrycartésienAGS1000

PlatineàrouleauxcroisésXYsurmesure

ContrôleurstandalonemultiaxesEnsemble

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Inspection des réticules L’inspection des réticules nécessite une combinaison unique de composants mécaniques offrant à la fois une précision extrêmement élevée et une ouverture dégagée de large diamètre. En associant des coussins d’air très rigides et des axes à moteur linéaire doubles, on obtient une platine ouverte XY aux caractéristiques de performance exceptionnelles. L’ABL3600 représente un saut de performance majeur par rapport aux platines ouvertes à palier mécanique traditionnelles.

Caractéristiques et avantages •Ouverturedégagéedegrandedimension,

pourunaccèscompletàl’inspectionetàl’illumination

•AxesXetYàdeuxmoteurlinéaire,offrantd’excellentesperformancesdelacet(0,5seconded’arc)

•Touslescoussinsd’airsontentièrementpréchargéspouroffrirausystèmeunerigiditéexceptionnelle.

•Moteurbrushlesssansencochepourundéplacementréguliersanscouplereluctant

•Uncodeurlinéaireouunretourcodeurparinterféromètrelaserpermetunpositionnementextrêmementprécis.

Produits •ABL3600

•ALS3600

•Tip-Tiltsurmesure

•ContrôleurA3200

•ChâssisdecommandeNpaq

ContrôleurdemachinemultiaxesAutomation3200(A3200)

Coussind’airouvertABL3600aveccourseXYde250mm

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La solutionAerotech fournit depuis longtemps des systèmes de déplacement compatibles avec les environnements sous vide, pour une variété d’applications comme l’inspection des semi-conducteurs, les tests de satellite et la profilométrie par faisceau ionique. Notre personnel d’application, d’ingénierie et de production est extrêmement qualifié et expérimenté dans la conception de solutions adaptées aux besoins de test des dispositifs d’inspection sous vide.

SEM, TEM, FIBLes microscopes à balayage électronique, à transmission électronique ou à faisceau d’ions focalisés fournissent des images d’une résolution exceptionnellement élevée avec de grandes profondeurs de champ. Ils offrent de nombreux avantages par rapport aux microscopes traditionnels. Des images extrêmement nettes sont obtenues à partir d’échantillons allant des spécimens biologiques aux wafers de semi-conducteurs. Quel que soit le composant testé, Aerotech dispose d’un large éventail de solutions électromécaniques à faible champ magnétique et adapté au vide poussé.

ApplicationsLes microscopes électroniques et à faisceau ionique d’aujourd’hui requièrent des systèmes de déplacement à très haut rendement, utilisant des matériaux compatibles avec les vides poussés et incorporant une gestion attentive du champ magnétique. Toutes ces fonctions assurent des mesures rapides et précises, avec une très faible contamination.

•ComposantsBGA

•Spécimensbiologiques

•Qualificationdesmatériaux

•Waferspoursemi-conducteurs

Caractéristiques et avantages •Solutionspersonnalisées

•Rendementélevé

•Miseenpositionrapide

•Hauteprécision

•Descomposantsausystèmecléenmain

•Environnementdedéveloppementlogicielintégré

•Techniquesd’asservissementavancées

PlatineàvideXYavecaimantsblindésspéciaux

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Systèmes pour salle blanche

36 www.aerotech.com

Capacités pour salle blanche Aerotech fabrique le plus grand nombre de solutions de déplacement en salle blanche, pour des applications hautes performances comme la métrologie et l’inspection des wafers.

Les systèmes de déplacement pour salle blanche d’Aerotech comprennent : •Desdispositifsdegestiondescâblesproduisantpeu

departicules

•Deslubrifiantssanshydrocarbures,compatiblesaveclessallesblanches

•Destraitementsdesurfacespéciaux

•Desprocédésdefabricationparticulièrementconçuspourmaximiserlapropretédusystème

•Unemballagefinalensalleblanche

Salle blanche •ISOclasse6

•ZonesISOclasse5

•Contrôledetempératurejusqu’à±0,1degréC

•Zonesréservéesautransfertdesproduitsetàl’assemblageprincipal

•Plaquesengraniteavecisolationactivepourlesessais PlatineàmoteurlinéaireALS20000XY

Coussind’airhorizontalABL9000avecsystèmed’isolationsurmesure

Systèmeàouverturecentraleàrendementélevé

Systèmes pour vide poussé

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Applications sous videSa grande expérience applicative, la portée inégalée de ses produits et ses vastes capacités techniques font d’Aerotech le partenaire de choix en ce qui concerne les systèmes de contrôle de mouvement sous vide. Depuis sa création, Aerotech conçoit et fabrique les systèmes de contrôle de mouvement et de positionnement les plus performants sur le marché, et ses plateformes sous vide ne font pas exception. Les produits de contrôle de mouvement de précision d’Aerotech offrent les performances critiques nécessaires pour les applications sous vide exigeantes d’aujourd’hui dans des secteurs tels que la fabrication et l’inspection des semi-conducteurs, la fabrication des appareils optiques et la défense/aéronautique. La devise d’Aerotech est toujours à la base de nos efforts de développement des systèmes sous vide : « Dédié aux Sciences du Déplacement ».

Aerotech est spécialisée dans les plates-formes de contrôle de déplacement sous vide•Sélectiondesmatériaux

•Préparationdessurfaces

•Ventilationdelavisserieetéliminationdesvolumespiégés

•Sélectiondeslubrifiants

•Gestionthermique

•Contrôledeschampsmagnétiques

•Nettoyage

•Étuvage

•Manutentionetemballage

Options de vide disponibles auprès d’Aerotech •Optionvidefaible(10-3torr)

•Optionvidestandard(10-6torr)

•Optionvidepoussé(10-8torr)

L’expérience sous vide d’Aerotech couvre un large éventail d’applications•Testsdecomposantsdesatellite

•Microscopieélectroniqueàbalayage(SEM)

•Inspectionparfaisceauélectronique

•LithographieextrêmeUV

•Profilométrieàfaisceauionique

•Implantationionique

•Déposition

•Polissageoptique

SystèmeàvideXYpréparépourlefonctionnementà10-8torr

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Une vaste gamme de produits standards de contrôle de mouvement Aerotech est disponible en versions sous vide. Outre les plateformes standards, Aerotech fabrique couramment des systèmes personnalisés conçus pour répondre à des besoins pratiques précis. Toutes les plateformes de déplacement sous vide d’Aerotech minimisent le temps d’immobilisation des pompes, la contamination des enceintes et les problèmes thermiques. En outre, ces systèmes peuvent incorporer des fonctions pratiques essentielles, telles que la réduction des champs magnétiques.

Servomoteurlinéaireblindépoursalleblanched’Aerotech

SalleblancheAerotech

Mesuredechampmagnétiqueréellesuruneciblede300mmdediamètre

TracéRGAréeld’unsystèmeXY

Multiplesconfigurationsdisponibles

40 www.aerotech.com

L’étalonneur rotatif Aerotech (ARC) représente une nouvelle norme de performances industrielles pour les étalonnages de tables obliques ou rotatives. Au cœur de l’étalonneur est un grand axe sur coussin d’air rotatif avec une précision de déplacement de l’ordre du nanomètre. Cet axe maître sur coussin d’air de haute précision est en acier afin

de s’adapter au coefficient de dilatation thermique de la structure en granite environnante. Le coussin d’air joue le rôle de générateur d’angles maître, avec des angles aussi réduits que 0,015 seconde d’arc, jusqu’à plus de 360° (rotation continue).

L’étalonneur est muni d’un auto collimateur haute résolution, haute précision, pour la mesure des surfaces optiques. L’instrument tout entier est construit sur une structure en granit, isolée de la base de la machine et du sol par une isolation d’air passive. Un capot fermé sur mesure isole le système des turbulences d’air, des fluctuations thermiques haute fréquence et de la lumière ambiante. Les composants électroniques sont abrités dans un capot fermé séparé de l’instrument, afin de protéger celui-ci des parasites électriques et de la chaleur. Le logiciel d’étalonnage spécial donne à l’opérateur un contrôle facile du pas angulaire, de la procédure de test (fermeture de cercle, par ex.) et de la génération de tracé/rapport.

Plateforme de test rotative

1. Analyse d’incertitude de mesure angulaire réalisée selon ANSI/NCSL Z540-2-1997 : Guide d’expression d’incertitude de mesure durant l’étalonnage d’une table rotative sur 360°, avec des pas de 10°, au moyen d’une technique modifiée de fermeture de cercle. La température du laboratoire était contrôlée à 20 °C +/- 0,25 ºC.

Caractéristiques techniques• Précision d’axe maître :

<0,15 seconde d’arc (<727 nano-radians)

• Pas incrémental minimum (angle min.) : 0,015 seconde d’arc (73 nano-radians)

• Résolution de système électronique : 0,0069 secondes d’arc (34 nano-radians)

• Incertitude de mesure angulaire : < 0,2 seconde d’arc d’incertitude étendue, k=2 (< 970 nano-radians, k=2)1.

• Logiciel personnalisé pour l’exécution automatique de test et la génération de rapports

• Utilitaires de commande et de tracé intégrés

Position (degrés) 0 50 100 150 200 250 300 350

0,2

0,15

0,1

0,05

0

-0,05

-0,1

-0,15

-0,2

Données relevées le 5.05.10

Données relevées le 11.05.10Données relevées le 06.05.10

Err

eur d

e po

sitio

n (s

econ

des

d’ar

c)

Erreur d’axe du maître ARC – répétabilité étalonnée sur plusieurs jours

Automatisation et acquisition de données intégrées

42 www.aerotech.com

•Hautesperformances

•Facileàutiliser

•Souple

•Évolutive

•Enréseau

•Coûtdepossessionoptimisé

•Technologiesd’asservissementavancées

Servomoteurs linéaires et rotatifs

Ensemble

Connectivité réseau et bus de terrain •Ethernet/IP™

•Modbus®/TCP

•DeviceNET

•EthernetTCP/IP

•USB

•RS-232

•GPIB

Automatisation 3200

•SurPC

•1à32axesdedéplacementcoordonné

•Jusqu’à32tâches

•RS-274(codeG)

•Fonctionsavancéespourapplicationsexigeantes

•DriversPWMoulinéaires(jusqu’à150A)

•Commandedescannerpourmarquage

•Fonctionnalitélaserétroitementintégrée

•Rétrofittagepossible

•PLCintégré–MotionPAC

•Autonome

•Contrôleurde1à10axes

•Jusqu’à4tâches

•Déplacementcoordonnépolyvalentetéconomique

Solutions d’automatisation intégrées d’Aerotech

Configurez votre solution d’automatisation avec Aerotech

• Plate-forme logicielle commune : outils, environnement de programmation puissant, calculateurs, diagnostics

Interfacedeprogrammation Autotuning Fonctiondetransfert

43

Accessories•Driverslinéaires

•Arrêtd’urgence

•Configurationsurrack

•PCsurrack

Acquisition de données

•Autonome

•Contrôleurde1à10axes

•Jusqu’à4tâches

•Déplacementcoordonnépolyvalentetéconomique

•VariateursPWMoulinéaires(pointe10à150A)

•Actionnedesmoteursbrushless,linéaires,rotatifs,CCàbalaisoupasàpas

•Surbureau,surrackouenbaie

Soloist

•Autonome

•Enréseaujusqu’à1024mono-axes

•Jusqu’à4tâches

•Contrôleurélégant,économiqueetpolyvalent

•VariateursPWMoulinéaires(de10à150A)

•Actionnedesmoteursbrushless,linéaires,rotatifs,CCàbalaisoupasàpas

• Plate-forme logicielle commune : outils, environnement de programmation puissant, calculateurs, diagnostics • Servez-vous des bibliothèques et du SDK pour développer vos propres applications avec .NET, C#, VB.NET, C ou LabVIEW®.

MotionPACÉditeurdeparamètres Scopedigital

SensorFusion

44 www.aerotech.com

Codeurrotatif

Codeur linéaire

Commandes standards

Déplacement ligne par ligne

Pour les fabricants OEM comme les utilisateurs finaux, les contrôleurs Aerotech offrent le plus grand choix d’interfaces de programmation et de fonctions de déplacement parmi tous les systèmes d’automatisation sur le marché.

Augmentezlerendementencombinantlesphasesdescanetdepasdansunmouvementdecontour.

Étalonnage d’axe

Compensezleserreursmécaniquesreproductiblesdansunsystèmedepositionnement.

Mode gantry

Lescommandescomplexesd’ungantrysontréduitesàquelquescommandessimplesdeconfigurationdumoteurdoubleet/ouducodeurdouble.

Rotation des pièces

Utilisezcettefonctionpourreproduireletravailsurunepiècebidimensionnelleselonplusieursorientations,sansavoiràretraduireleprogramme-pièce.

Correction des erreurs 3D

MesurezleserreursXYZetlecontrôleurpeutcorrigerlapositioncommandéeetobtenirundéplacementprécisverstouslespointsdel’espace3D.

Commande double-boucle

Lacommandedouble-boucleestutiliséepourrattraperlejeuetcorrigerlesautressourcesd’erreur.

Interféromètre laser

Lessystèmesnécessitantunerésolutionextrêmementélevéeetunegrandestabilitédesignalutilisentdesinterféromètrescommecodeur.

Changement de vitesse

Lavitessechangeàlacommandesuivante,accélérationlimitée,sansarrêt.

Correction d’orthogonalité

AméliorezlaprécisionplanaireX-Yensaisissantsimplementl’erreurd’orthogonalitéconnue;lecontrôleurcompenseautomatiquement.

45

Commandes avancées

Cible viséeTrigger AerotechTrigger de commande

Erreur de trigger

Position du codeur étalonné

Programmation du gain directionnel

Diminuezletempsdemiseenpositionetaugmentezlastabilitéenposition.

Compensation de frottement

Réduisezletempsdemiseenpositionetleserreursd’inversiondesens.

Sortie synchronisée avec la position (PSO)

Déclenchezdesévénementsexternesàunepositionprécisependantledéplacement.

Motion Designer

Générationgraphiquedetrajectoireetanalysededonnées

Formatage de la commande

Réduisezlesvibrationsaupointdetravail

Fonction de transfert

Utilitairederéglageetdediagnosticquiamélioreconsidérablementlerendementdusystème

Suppression d’harmoniques

Réduisezleserreursdepositionnementsurlestrajectoirespériodiquesenéliminantlesperturbationspériodiques.

Commande d’apprentissage itératif

Réduisezleserreursdesuivisurlesmouvementsrépétésquipeuventêtreapprisetoptimisés.

Module d’amélioration du rendement ETM

Augmentezleniveaudestabilitéetdiminuezletempsdemiseenpositionenprésencedevibration.

46 www.aerotech.com

Acquisition des données - Sensor Fusion Le système Sensor Fusion sur bureau, en rack ou en baie vous permet d’enregistrer les E/S de capteurs synchronisées avec précision sur les positions codées, et de récupérer les résultats à l’aide d’une interface logicielle facile à utiliser. L’association du Sensor Fusion à PSO et à SCOPE est la solution offerte par Aerotech pour tous vos besoins d’acquisition des données le Sensor Fusion peut avoir jusqu’à quatre cartes en options :

Avec un choix de cartes PSO, codeur, digitales et analogiques, le Sensor Fusion vous permet d’enregistrer les données de capteur et de position d’une façon non égalée jusqu’à présent. Sa modularité permet d’ajouter des cartes comme des cartes de vision et d’acquisition de données en série. Grâce aux options bureau, rack et baie, il existe un Sensor Fusion pour toutes les applications. En tant que membre de la gamme intégrée des contrôleurs de déplacement A3200, le Sensor Fusion vous permet de collecter à la fois des données de position et de capteur.

•Entréeanalogique

•Sortieanalogique

•Entréedigitale

•Sortiedigitale

•EntréecodeuretsortiePSO

Caractéristiques et avantages •Acquisitiondesdonnéesprécisément

intégréeaucontrôlededéplacement

•E/Scapteuralignéesprécisémentsurlespositionsducodeur

•Enregistrementetlecturedesdonnées

•Combinelesentréescapteurentempsréel

•Fréquencedecollectede5MHz

•Uneinterfacelogiciellefacileàutiliser

•Aucunlogicielsupplémentairenécessaire

•Surbureau,surrackouenbaie

SensorFusion

47

SF-DO-01SF-DO-02•32sortiesdigitales

•Lecture5MHz

•32mAà5V

•Optionhautepuissance:325mAà5-24V

Entrée digitale Sortie digitale

Entrée codeur et sortie PSO

SF-DI-01•32entréesdigitales

•Fréquencedecollectede5MHz

•5Vou24V

•Actifauniveauhautouauniveaubas

SF-ENC-01•4entréescodeur(TTL)

•4sortiesPSO

•Fréquencedecollectede1MHz

Sortie analogique Entrée analogique

SF-AI-01SF-AI-02•16entréesanalogiques

•Fréquencedecollectedejusqu’à400kHz

•Résolution18bits

•Plaged’entréessélectionnable

SF-AO-01SF-AO-02•8ou16sorties

•Lectureà500kHz

•Résolution16bits

•5V,10Voutensionderéférenceexterne

SF-AO-03SF-AO-04•4ou8sorties

•Lectureà750kHz

•Résolution20bits

•5V,10Voutensionderéférenceexterne

48 www.aerotech.com

MotionPAC – PLC intégré au déplacement •30à50%deréductiondutempsdedéveloppement

•MouvementhauteperformanceentièrementintégréàunenvironnementPLCstandard

•Outilsetdiagnosticsfacilesàutiliser

•Conformeauxnormesetpolyvalent:IEC61131-3,.NET,PLCopen,surPC

•IntégréaucontrôleurdedéplacementA3200

Programmez en IEC6 1131-3 : LD, FBD, ST

Définissez le matérielLe mode en ligne affiche toutes les valeurs Tag

Gestionnaire d’axe LD standard Créez des bibliothèques

Combinez LD et FD sur le même programme

Blocs de mouvement complètement intégrés

Base de données des tags

Programmes LD, FBD ou ST

49

Automatisation intégrée : MotionPAC

MotionPAC•CEI61131-3•PLCopen•BlocsdemouvementAerotech•Gestionnaired’axe•Environnementcompletdedéveloppementet

dedébogage•Programmedesimulation

Motion Composer•Gestionnaired’axe•Diagnosticsdemouvementbasniveau•Programmationdemouvement•Algorithmesdecommandeavancés

Scope•Captureetanalysedesignal•Autotuning•Fonctiondetransfert•Réglagecodeur•Commandesavancées

HMI•Sélectionetexécutiondeprogramme•PanneaudeJOG•Contrôlemachine•Boutonspersonnalisables•Gestionnaired’axe

E/S et acquisition des données•Acquisitionultra-rapidedesdonnées,synchronisée

aveclemouvementetlePLC•Positionnementhautevitesse•Sortiesynchroniséeaveclaposition•Verrouillagesmachine•E/Sdubusdeterrain

Base de données centrale des tags machine•Tagsdisponiblesdanstouteslesapplicationspar

leurnom•Définitiondestagslocauxouglobaux•TagsdéfinisdansladéfinitionE/S,oudansST,LD,

FBDouleprogrammedemouvement

50 www.aerotech.com

Un grand éventail d’options de driver

MP

1 1 1 11 6 6

10 A

10-80 VDC (sortie)

1-AI6-DI/4-DO

1-AI/1-AO

8-DI/8-DO

1-AI/1-AO

Toutes les unités peuvent assurer une commutation sinusoïdale et une commande en double boucle, et commander un moteur DC, brushless ou pas à pas.

16-DI/16-DO

1-AI/1-AO

16-DI/16-DO

1-AI/1-AO

16-DI/16-DO

4-AI/4-AO

16-DI/16-DO

4-AI/4-AO

6-DI/4-DO

1-AI/1-AO

6-DI/4-DO

1-AI/1-AO

6-DI/4-DO

1-AI/1-AO

10-320 VDC 10-320 VDC ±40-80 VDC±40 VDC

10 A

S.O.

Npaq® : 10-30 A

Npaq® : 10-320 VDC

Multiples configurations

disponibles

Multiples configurations

disponibles

1-AI par axe

8-DI/8-DO par axe

1-AI/1-AO par axe

Epaq : 24-90 VDC

Epaq : 10 A10-30 A 10-150 A 10-20 A

PWMPWM PWM Linéaire Linéaire Npaq® : PWM ou linéaire

Epaq : PWM ou linéaire

Drivers/ commande

A3200

Commande Ensemble

Commande Soloist

Type de sortie

Axes

Sortie de courant de pic

Tension de bus CC

E/S standard

E/S en option

Codeur incrémental

Codeur absolu

Résolveur/ Inductosyn

Sondes capacitives

Interféromètre laser

CP HPe HLe MLCL Racks de commandes intégrés

Châssis de commande Npaq® ou Npaq® MR

Châssis de commande et contrôleur de mouvement

Epaq ou Epaq MR

1

16-DI/16-DO

1-AI/1-AO

6-DI/4-DO

1-AI/1-AO

±40 VDC

10 A

Linéaire

Déplacement rotatif et linéaire

52 www.aerotech.com

Solutions de déplacement rotatif

•Ouverturesde100mm,150mm,200mm,250mmet325mm

•Capacitédechargeaxialejusqu’à595kg

•Précisionetrépétabilitéexcellentes

•Moteursanscouplereluctantpourdesdéplacementssansà-coups

•Aucunjeuderéduction

ALAR•Aucunevariationdelaprécision

aucoursdutempsdueàl’usureduréducteur

•Vitessederotationcontinuede45à300tours/min

•Versionsfonctionnantsousunvidede10-6torr

•Hauterésolutionconfèreuneexcellentestabilitépasàpasetenposition.

NotresérieALAR-LPestconçuepourêtreinstalléeavecl’axeverticalcoïncidantàlapesanteur.LeLPestpluscompactqueleSPpourlesapplicationsquidisposentd’unencombrementlimité.

Stabilitédepositionde±0,05µrad Hauterésolutionpermetdespaspluspetits

NotresérieALAR-SPestconçuepourêtreinstalléeverticalementouhorizontalement.

53

Rotation à coussins d’air à transmission directe et précision extrême, de faible encombrement •Erreursminimalesdedéplacement

radial,axialetenvoilage

•Codeurrotatifdirectedehauteprécision

•Modèleplan,peuvolumineux

•Capacitédechargeaxialejusqu’à97kg

•Préchargemagnétique

Rotation à coussins d’air à transmission directe et précision extrême•Servomoteurbrushless,àstator

lisse,àcoupledesortieélevéettransmissiondirecte

•Moteursanscouplereluctantpouruneexcellentestabilitédevitesse

•Erreursminimalesdedéplacementradial,axialetenvoilage

•Codeurrotatifdirectedehauteprécision

•Ouverturedégagéedelargediamètre

•Aucuncontactmécanique

•Coussinsd’airpréchargéspeuventfonctionneràl’enversousurlecôté.

•Capacitédechargeaxialejusqu’à69kg

SérieABRS

SérieABRT

54 www.aerotech.com

Platine rotative haute précision

•Précisionsjusqu’à1,1seconded’arc

•Capacitédechargeaxialejusqu’à450kg

•Codeursincrémentauxouabsolus

•Roulementsdegrandedimensionavecunerésistanceàlatorsionetdeschargesadmissiblesélevées

•Vitessederotationcontinuede375à800tours/min

•Septmodèlesdisponibles,chacunavecuneouverturedégagéede50mm,75mmou100mm

Platines rotatives à transmission directe de faible encombrement •Servomoteurbrushlessà

transmissiondirecteetcoupledesortieélevé

•Moteuràstatorlissesanscouplereluctantpourunestabilitéexceptionnelledelavitesse

•Codeurrotatifdirectdehauteprécision

•Profilfinminimisantlahauteurdetravail

SérieADRS

SérieAPR

55

Platine rotative à large ouverture et transmission par réducteur

SérieAGR

•Vitesseetcapacitédechargeaméliorées

•Grandeouverturepermettantunelargegammed’applications

•Utilepourleschargeslourdesetnonéquilibrées

•Réducteurirréversible

•Fonctionnesousvideà10-6torr

SérieADRT

Platines rotatives à transmission directe et couple de sortie élevé•Servomoteurbrushlessetsans

couplereluctantpourunestabilitéexceptionnelledelavitesse

•Ouverturedégagéedelargediamètre

•Capacitédechargeélevéeethautevitesse

•Précisionde5-60secondesd’arc

56 www.aerotech.com

Série ALS •Platinesàmoteurlinéaireàtransmissiondirecte

•Conceptionàcapotrigideetétanchéitélatéralepourunelongueduréedeviesansentretien

•Codeurlinéairehauteprécisionenoptionpourlesapplicationsnécessitantuneexcellenterégulationdevitesse

•Multiplestaillesdebâtietlongueursdecoursevariées,permettantunegrandevariétédeconfigurations

•GestionintégréedescâblespourlesconfigurationsXY,XYZetinterfacespersonnalisées

Série AGS•Modèleoptimisépourcontournageprécis

•Vitesseà3m/setaccélérationà5g

•Servomoteurslinéairesbrushlesshautepuissancepourdéplacementsréguliers

•Coursesjusqu’à1,5mx1,5m

•AxesZetpersonnalisablespourconfigurationspolyvalentes

•Codeurslinéairessanscontact

•Lesystèmeconfigurabledegestiondescâblespermetd’intégrerlasersàfibre,caméras,conduitespneumatiques,etc.pourdesapplicationsmultiples.

Série ABL•Performancegéométriqueexceptionnelledescoussins

d’air

•Coursejusqu’à1,2mètre

•Codeurlinéaireouboucleparinterféromètreàlaser

•Précisioninférieureaumicron

•SystèmesXYetXYZintégrés

•Moteursàtransmissiondirectesanscouplereluctant

ALS5000WB

AGS15000

ABL1500

ABL8000

Solutions de déplacement linéaire

57

Série PRO •Entraînementàvisàbillesmeulées

deprécision

•Constructionrobuste

•Palierlinéaireàlongueduréedevie

•Modèleàjointlatéralaveccouverclerigideprotègemieuxcontrelesdébrisquelemodèleàjointsupérieur.

•Faiblecoût,hauteperformance

•Coursede50à1500mm

Série ATS•Avisàbillesdeprécision

•Constructionrobuste

•Codeurlinéairesanscontact,dehauteprécision

•Systèmedeguidagelinéaireàlongueduréedevie

•Coursesde25mmà1000mm

•Optionspourchargelourde

•Peutfonctionnersousvide10-6torr

•Plateausupérieuretcouverclerigides

•Erreursdepalierfaiblepouruneexcellenteperformancegéométrique

Série MPS•Largeursde50et75mm

•Coursejusqu’à100mm

•Entraînementparvisàfrottementouparvisàbillesdeprécision

•MoteurpasàpasouservoDC

•Roulementsàrouleauxcroisés

•Configurationsmultiaxescompactes

Série PRO LM •Moteurlinéaireàtransmission

directepourdéplacementultra-précis

•Systèmedeguidagelinéaireàlongueduréedevie

•Coursesde100mmà1500mm

•Platineàfaiblecoût,dehauteperformance

MPS50SL/MPS75SLXY

PRO165

PRO165LM

ATS5000WB

58 www.aerotech.com

Platines horizontales à coussin d’airABL9000•Préchargesurtouslesaxes

•AxeYàmoteurlinéairedouble

•Coursejusqu’à1,2mx1,2m

•Codeurlinéaireouretourparinterféromètrelaser

PlanarHD

•Rendementmaximiséavecunevitessedebalayagede2m/setuneaccélérationde5G

•Changementdesensrapideettempsdemiseenpositionminimisé

•Contrôleactifdulacet

•Retourcodeurlinéaireouinterféromètreàlaser

•Coursejusqu’à1,2mx1,2mRectitudedynamique,270mmdecourseaucentre,àunevitessemaximumde500mm/s

ABL9000

PlanarHD

59

AHL9000•Axedebalayageàcoussind’air;axepasàpasà

paliermécanique

•Axepasàpasàmoteurlinéairedouble

•Coursejusqu’à1,2mx1,2m

•Codeurlinéaireouretourparinterféromètrelaser

ABG10000•Coussinsd’airpourunmouvementultra-régulier

•Touslesaxessontentièrementpréchargés

•Axeinférieuràmoteurlinéairedouble

•Coursejusqu’à1mx1m

•Options:axeZ,isolationdesvibrations,basedemachineetbaiedecommande

AHL9000

ABG10000

60 www.aerotech.com

Nano-positionneurs

Platine linéaire mono-axe ANT95-L•Transmissiondirectesansfrottement,sans

couplereluctantetsanscontact;jeuethystérésisnuls

•Hauterésolution(1nm),répétabilité(75nm)etprécision(250nm)

•Stabilitéenposition<1nm

•Roulementsàrouleauxcroisésavecanti-glissementdescages

•Rendementdynamiqueélevé

•DisponibledanslesconfigurationsX,XY,XYZetdenombreusesautrescombinaisons

Platine linéaire 2 axes ANT95-XY •PlatineàmoteurlinéaireXYbasprofilintégrée

•Transmissiondirectesansfrottement,sanscouplereluctantetsanscontact;jeuethystérésisnuls

•Hauterésolution(1nm),répétabilité(75nm)etprécision(250nm)dechaqueaxe

•Stabilitéenposition<1nm

•Roulementsàrouleauxcroisésavecanti-glissementdescages

•Rendementdynamiqueélevé

-25-12,5

012,5

25

-25-12,5

012,5

25-3-2-10123

Position (mm)

Position (mm)

Err

eur

de p

réci

sion

(∝m

)

Incrémentsde1nmdel’ANT95-50-L-PLUS

LasérieANT95-Loffredescoursesde25,50,75ou100mm.

PrécisiondusystèmeANT95-50-XY-ULTRA2D

LasérieANT95-XYoffredescoursesde25x25mmou50x50mm

61

Platine linéaire mono-axe ANT130-L•Transmissiondirectesansfrottement,sanscouple

reluctantetsanscontact;jeuethystérésisnuls

•Hauterésolution(1nm),répétabilité(75nm)etprécision(250nm)

•Stabilitéenposition<1nm

•Roulementsàrouleauxcroisésavecanti-glissementdescages

•Rendementdynamiqueélevé

•Grandchoix:4optionsdecoursedifférentes

Platine linéaire 2 axes ANT130-XY •PlatineàmoteurlinéaireXYbasprofilintégrée

•Transmissiondirectesansfrottement,sanscouplereluctantetsanscontact;jeuethystérésisnuls

•Hauterésolution(1nm),répétabilité(75nm)etprécision(250nm)

•Stabilitéenposition<1nm

•Roulementsàrouleauxcroisésavecanti-glissementdescages

•Rendementdynamiqueélevé

AWARDS

-80-40

040

80

-80-40

040

80-3-2-10123

Position (mm)

Position (mm)

Err

eur

de

pré

cisi

on

(µm

)

LasérieANT130-Loffredescoursesde35,60,110ou160mm.

Tracéàincrémentsde1nmdel’ANT130-060-L-PLUS

LasérieANT130-XYoffredescoursesde60x60,110x110ou160x160mm.

PrécisiondusystèmeANT130-160-XY-ULTRA2D

62 www.aerotech.com

0 5 10 15 20 250,05

0

0,05

0,1

0,15

0,19

0,24

0,29

0,34

0,39

0,44

0,48

0,53

Posi

tion

(ra

d)

Temps (s)0 5 10 15 20 25

0,01

0

0,01

0,02

0,03

0,04

0,05

0,06

0,07

0,08

0,09

0,1

0,11

Posi

tion

(sec

onde

d’a

rc)

Platines rotatives ANT95-R et ANT130-R •Résolutionélevée(0,01seconded’arc)

•Rendementélevésurleslonguescourses

•Spécificationsd’erreurdedéplacementexceptionnelles

•Stabilitédepositionde0,005seconded’arc

•Précisionde3secondesd’arc

•Répétabilitébidirectionnellede1,5secondesd’arc

•Configurationsmultiaxes

Goniomètres ANT-20G •Transmissiondirectesansfrottement,sans

couplereluctantetsanscontactpourjeuethystérésisnuls

•Vitesseélevée(150°/s)

•Résolutionélevée(0,05seconded’arc)

•Excellentestabilitédeposition

•Plageangulaireétendue;coursede20°

•Montageorthogonaldedeuxberceauxaveccentrederotationconfondus

•Sansmaintenance

•Encombrementréduit

Tracéàincrémentsde0,01seconded’arcdel’ANT95-R

Tracéàincrémentsde0,05seconded’arcdel’ANT-20G-90

63

0 5 10 15 20 25 302

0

2

4

6

8

10

12

14

16

18

20

22

Temps (s)

Pos

ition

(nm

)

ANT95-L-Z et ANT130-L-Z•Performancenanométriquesurdes

grandescourses

•Hauterésolution(2nm),répétabilité(75nm)etprécision(300nm)

•Stabilitéenposition<2nm

•Roulementsàrouleauxcroisésavecanti-glissementdescages

•Rendementdynamiqueélevé

Tracéàincrémentsde2nmdel’ANT95-50-L-Z-PLUS

0 5 10 15 20 25 302

0

2

4

6

8

10

12

14

16

18

20

22

Temps (s)

Pos

ition

(nm

)

Tracéàincrémentsde2nmdel’ANT130-5-V

ANT95-3-V et ANT130-5-V •Précisionnanométriquesurune

coursede3ou5mm

•Stabilitéenposition<1nm

•Précisionde200nm

64 www.aerotech.com

Le problèmeLe cahier des charges des systèmes de mesure varie énormément selon la destination finale de la machine. En tant qu’intégrateur ou fabricant OEM, ceci vous oblige à constamment évaluer le nouveau matériel de déplacement en fonction de spécifications en constante évolution. Le risque est de concevoir des solutions incohérentes, ce qui complique les tâches de maintenance par la suite.

La solutionAerotech offre des solutions pour tous les niveaux de performance et besoins de composants. Au niveau le plus simple, nous offrons des commandes et des moteurs que les utilisateurs peuvent intégrer dans leurs propres systèmes. S’ils désirent des composants plus complets, nous disposons d’un grand choix de platines linéaires et rotatives, de technologie de vis à billes, d’engrenage, de moteur linéaire, de palier mécanique et de coussin d’air. S’ils préfèrent un système complet, Aerotech peut fournir la base machine, les systèmes d’isolation, les commandes intégrées, les contrôles de sécurité et les capots. Nous pouvons vous apporter une solution clé en main qui ne demande plus que l’ajout d’un capteur et la mise en place du procédé.

MoteurrotatifbrushlesssansencochesBMS60

AxeZsurmesure

MoteurlinéairesérieBLM

ContrôleurlogicielA3200

ContrôleurNpaqenrack

Des composants aux solutions intégrés...

65

Pourquoi être partenaire avec Aerotech

Intégration verticale Notre savoir-faire en moteurs, drivers, commandes et platines nous permet de fournir des solutions optimisées complètes.

Interconnectivité Les systèmes Aerotech sont conçus pour fonctionner ensemble. Ceci vous permet de passer plus de temps à développer votre procédé, et moins de temps à vous préoccuper de l’intégration.

Vérification des systèmesAvant leur expédition, tous les systèmes sont complètement assemblés et vérifiés. Les paramètres sont réglés en usine selon vos spécifications.

DocumentationTous les systèmes sont accompagnés d’une documentation complète. Les schémas de connexion, les feuilles de spécification et les tracés de certification des platines sont compris avec chaque système.

Aerotech offre à ses clients des avantages importants en tant que fournisseur unique des solutions :

R&DNos ingénieurs travaillent en permanence au développement des produits et à l’amélioration continue.

Leader technologique Aerotech améliore constamment les produits existants et en introduisent de nouveaux. Nous nous dédions véritablement aux sciences du déplacement.

QualitéAerotech est un fournisseur certifié ISO 9001 avec un programme de qualité rigoureux.

Une présence mondiale Aerotech est présente dans le monde entier. Nous avons des établissements de vente et de service complets au Royaume-Uni, en Allemagne, au Japon, à Taïwan et en Chine. Nous disposons également d’un nombre croissant de bureaux de vente directe et d’ingénierie d’application en Amérique du Nord, et travaillons avec des représentants dans divers autres pays.

Assistance et réparations Parce que tous les composants du système sont conçus et fabriqués par Aerotech, nous disposons de la base de connaissance technique la plus élevée disponible. Contrairement aux entreprises qui ne fabriquent qu’une partie de la machine, Aerotech produit tous ses composants, ce qui minimise les temps de réparation.

Solution en provenance d’une seule source Aerotech conçoit et fabrique des platines, moteurs, drivers et contrôleurs de précision, en vous fournissant tous les composants nécessaires à la création d’un système complet.

Expérience d’application Depuis 1970, Aerotech a réalisé des milliers de projets de contrôle de déplacement, couvrant un large éventail d’applications.

Siège social • Pittsburgh, PA • États-Unis

Aerotech Royaume-Uni

Aerotech Allemagne

Aerotech Japon

Aerotech Chine

Aerotech Taïwan

66 www.aerotech.com

Systèmes customisésAerotech conçoit et fabrique des sous-systèmes customisés hautes performances. Notre équipe d’ingénieurs hautement qualifiés en mécanique et en électronique permet à nos clients de réduire les temps de mise sur le marché. Aerotech propose un soutien en temps réel à nos clients sur place, dans nos locaux ou sur Internet.

Profilométrie par faisceau d’ions sous vide

Système sous vide, refroidi par liquide

Production d’optiques de précision Inspection d’optique biface

Prototypage rapide Machine de contrôle Pick&Place

Inspection optique

Machine d’inspection, production en grande série

Machine de mesure 4 axes

Lithographie expérimentaleMachine d’inspection de tête d’impression

Usinage laser haute précision

Écriture sur tambour Indexeur optique haute vitesse

Lithographie à écriture directeCaractérisation magnétique

67

Fabrication de pièces unitaires Réparation de mémoireInspection des composants Inspection des circuits imprimés

Lithographie Mesure de film fin

Écriture de tambour

Inspection de substrats de grande taille

Inspection de wafers à haut rendement

Tourelle de test rotative Inspection de module solaire Pick and Place

Système d’inspection sous vide Microscopie

Traitement sous vide FPD processing

68 www.aerotech.com

Systèmes de contrôleLes contrôleurs de déplacement, moteurs et drivers Aerotech sont utilisés dans nos propres systèmes de positionnement et par les utilisateurs finaux et équipementiers partout dans le monde. De la plate-forme d’automatisation machine A3200 base PC qui peut contrôler jusqu’à 32 axes, au contrôleur mono-axe Soloist, en passant par le contrôleur de déplacement standalone multiaxes Ensemble, Aerotech offre des options variées et adaptées à vos applications.

Automatisation généraleDepuis 1970, Aerotech fabrique des produits d’automatisation de haute qualité. L’étendue de la gamme de produits offerts par la société (nano-positionneurs automatisés, systèmes plans à coussins d’air, systèmes gantry haute vitesse, platines d’élévation, linéaires et rotatives, moteurs brushless linéaires et tournants, contrôleurs de déplacement mono et multiaxes, goniomètres, support d’optiques et tourelles) distinguent Aerotech des autres fabricants d’appareils de contrôle de déplacement. Aerotech est « Dédié aux Sciences du Déplacement ».

Usinage laser Aerotech possède une vaste expérience dans le domaine des composants et systèmes de contrôle de déplacement pour les procédés laser, tels que le découpage, le soudage, le marquage, la gravure et le micro-usinage. Ces procédés sont essentiels aux progrès technologiques dans les secteurs de la fabrication photovoltaïque, l’aéronautique et la fabrication des dispositifs médicaux.

Capacités dans d’autres marchés

Énergie photovoltaïque, piles à combustible et énergies alternatives Une vaste expérience pratique et une gamme variée de produits de contrôle de déplacement font d’Aerotech le partenaire idéal pour vos plates-formes de fabrication et de test pour le photovoltaïque, les piles à combustible ou les énergies alternatives. Nos centres opérationnels répartis aux quatre coins du monde ont déjà conçu et fabriqué de nombreuses plates-formes de contrôle de déplacement pour ces marchés et nous continuons en offrant des solutions innovantes

69

Défense et aérospatialeAerotech a fabriqué des centaines de systèmes haute précision, dont plusieurs pour les environnements sous vide poussé (10-6 torr) et en salle blanche. Notre équipement est utilisé pour les essais de systèmes électro-optiques, l’usinage laser haute performance, les essais et la fabrication de matériaux, la poursuite des cibles, l’étalonnage et la vérification des détecteurs pour satellites, les tests de centrale inertielle, le balayage, le pointage optique, la répétabilité et les tests de durée de vie pour le contrôle de qualité. Des systèmes personnalisés sont disponibles avec des délais rapides.

Fabrication des dispositifs médicaux et sciences de la vie Aerotech fabrique des systèmes et composants de contrôle de mouvement de haute performance pour les applications médicales et des sciences de la vie, telles que la découpe des endoprothèses, les systèmes de soudage médical au laser pour stimulateurs cardiaques et cathéters, la fabrication des implants intraoculaires et des lentilles de contact, le séquençage d’ADN et de sang, les broyeurs et perceuses à interface haptique, les appareils de radiographie, les scanners à résonnance magnétique et les tomodensitomètres. Nous pouvons personnaliser un système de soudage médical au laser en fonction de vos besoins.

Recherche et développement dans les secteurs publics et universitairesL’étendue de la gamme de produits Aerotech offre des solutions pour les vastes besoins de la recherche et du développement des secteurs publics et universitaires. Nos nano-positionneurs sont suffisamment précis non seulement pour les expériences de l’optronique, mais aussi pour les postes de travail utilisés dans le micro et le nano-usinage. Les positionneurs et tourelles rotatifs multiaxes d’Aerotech offrent la précision nécessaire pour la recherche dans les secteurs de la défense, des satellites et de l’aéronautique. Des applications uniques doivent disposer de solutions uniques et Aerotech peut fournir des systèmes personnalisés répondant à vos besoins.

Fabrication et assemblage électroniqueRapidité, précision et fiabilité sont essentielles aux machines Pick&Place, machines de découpe de pochoirs, assembleurs de cartes de circuits imprimés et autre matériel de fabrication et d’assemblage électronique. Depuis 1970, Aerotech satisfait les critères les plus rigoureux en matière de matériel de fabrication et d’assemblage électronique et nous continuons de relever les normes avec nos technologies avancées de déplacement.

70 www.aerotech.com

Aerotech propose des formations et des services partout dans le monde, sur les sites clients ou dans un de nos centres de formation.

Programme de formation •Coursstandardetpersonnalisés•Formationspratiquesauxsystèmesdepositionnement

Aerotech•Formationsinteractivesavecdesinstructeursexpérimentés•Installationsconfortablesetspacieuses

Installation et mise en serviceAerotech offre des services de mise en route afin de minimiser les temps de démarrage, de réduire les coûts et d’accélérer le passage en fabrication. La connaissance de nos produits, associée à votre expertise en matière de procédés et d’applications, permet d’optimiser la réalisation de vos nouveaux systèmes.

Support technique Aerotech propose un support technique complet pour ses produits, y compris le soutien et la maintenance sur place, et un service de téléassistance par téléphone, fax, site Internet et logiciel WebEx®. En tant que fabricant et ingénieurs, nous savons combien il est important d’éviter les pannes.

Formation Les formations Aerotech aident nos clients à profiter pleinement de nos produits. Grâce à la démonstration et à l’utilisation de toutes les fonctions d’un produit, les utilisateurs réduisent le temps de mise en service et optimisent rapidement leurs applications. Les formations Aerotech ont été conçues et sont actualisées en permanence en tenant compte des suggestions et réactions de nos clients.

Avec 40 ans d’expérience dans la conception de systèmes et composants de contrôle de déplacement et de positionnement, Aerotech possède une réputation de fiabilité inégalée. Lorsque vous faites l’acquisition d’un produit Aerotech, nous vous encourageons à apprendre à en profiter au maximum. Aerotech propose des formations sur place (dans vos locaux) ou dans nos centres, à votre convenance.

AerotechLtd(Royaume-Uni)

AerotechGmbH(Allemagne)

AerotechKK(Japon)

AerotechInc(États-Unis)

Formation et support dans le monde

71

SemiconductorInternationalMeilleurproduitsélectionnéparlarédaction2007–WaferMaxT™

SemiconductorInternationalMeilleurproduitsélectionnéparla

rédaction2008–Ensemble™

ControlEngineeringPrixEngineers’Choice2008–LaserTurn®1

ControlEngineeringPrixEngineers’Choice2011–ANT130-XY

ControlEngineeringProduitfinalisteduprixEngineers’Choice

2012–MotionPAC

DesignNewsProduitfinalisteduGoldenMousetrap2008–

Nmark™SSaM

DesignNewsProduitfinalisteduGoldenMousetrap

2009–LaserTurn®1,AGS15000,ANT95-XY

DesignNewsGagnantduGoldenMousetrap2010–

ANT-130XY

PrixEuroAsiaIC2006IndustryAward–WaferMaxZ™

LightwaveOFC2001Produitfavoridesparticipants–

FiberAlign®130

DesignNews2002Nominépourlemeilleur

produit–Automation3200

Excellencedeconceptiondemachineentechnologiesdefabrication–

Slides/Ways1998et2000

AandrijftechniekPrix2002–FiberMax®

ProductDesignandDevelopment50meilleursproduitsde2002–

Automation3200

LightwaveNFOEC2002Produitfavoridesparticipants

–FiberMax®

Prix et récompenses

H - Siège social d’Aerotech l - Agence commerciale s - Filiale Aerotech n - Représentant

Dédié aux Sciences du Déplacement

Aerotech - Ventes et services dans le monde

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