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16 Janvier 2003 Réunion du CCSTIC 1

LES ACTIVITES DU RMNT

REUNION DU CCSTIC du 16 janvier 2003 au






Plan de l’exposé

1. Le Réseau Micro et Nano Technologies (RMNT).

2. Positionnement du RMNT.

3. Bilan à fin 2002.

4. Organisation et structures.

5. Relation avec les autres actions en France et en Europe.

6. Conclusion.






1- Le Réseau Micro et Nano Technologies (RMNT)






Réseau de recherche en Micro et Nano Technologies (RMNT)

• Un des réseaux créé suite aux assises de l’Innovation.

• Ce réseau s’inscrit dans un secteur de très haute technologie et fait appel à plusieurs disciplines.

• Démarche «bottom-up», éventuellement appel d’offre.• Labellise des projets coopératifs innovants.• Financement incitatif des Ministères ou de l’ANVAR.

Présentation






• Le champ d'application du RMNT :– Le dimensionnement, le fonctionnement, la fabrication collective

et la caractérisation d'objets de très petites dimensions pouvant aller jusqu'à une taille moléculaire.

• Ce réseau s'inscrit dans un secteur de très haute technologie et fait appel à plusieurs disciplines : électronique, mécanique, optique, chimie, biologie...

• Axes d'action du réseau– Identifier les verrous technologiques et les besoins du monde

économique. – Labelliser, après expertise, des projets coopératifs innovants qu'il

soumet aux pouvoirs publics pour financement éventuel. – Animer des rencontres et stimuler les échanges

• Dans un monde de très rapide évolution technologiques, le réseau doit diffuser de l'information à ses membres et à l'extérieur de façon la plus efficace

Champ d’application et axes d’action






Communication et diffusion du savoir et de la connaissance

Projets innovants coopératifs

Prospective technologique et industrielle

Diffusion d'information•Journées en région•Journées RMNT•…

X projetsY entreprisesetc

•Veille technologique•Documents de prospective

Support à la formation•Bourses ?•…

Infrastructure•Plate-formes•…

Répartition des activités






2- Positionnement du RMNT






• Le RMNT s'intéresse à la réalisation d'objets dont les dimensions s'échelonnent du nanomètre au millimètre, ces objets devant exhiber des fonctionnalités électriques, optiques, mécaniques, magnétiques, chimiques, biologiques, etc.

• Le RMNT a une vocation industrielle et d'ingénierie. Le RMNT couvre :– Les technologies permettant de réaliser ces objets

– L'invention de ces objets

• Une partie des connaissances nécessaires existe dans des laboratoires, d'autres sont à inventer.

• Le RMNT a pour vocation d'aider à développer ces connaissances dans les laboratoires et les entreprises en partenariat.

• Les projets développés se situent à la frontière de la connaissance de l'entreprise.

Le champ du RMNT






Technologie

Dispositif

Objet

Service

RMNT

Le RMNT développe les technologies et dispositifs de base et peut supporter leur intégration dans un micro-objet.

Le RMNT vise des applications de grande diffusion, fort impact économique ou de grande plus-value stratégique

Positionnement industriel






Domaines applicatifs

Micro-Nano-Technologies

Micro-Nano-électronique

Micro-Nano-optique

Micro -Nano -mécanique

Micro -Nano -biologie

Micro -Nano -chimie

RMNT

Procédés

Machines et outillages

Métrologie

Matériaux pour micro et nano dispositifs

Conception

Positionnement scientifique et technique






1 mm1 m 1 µm 1 nm

Atome

MoléculeOnde lumineuse

Onde téléphonie

mobile

ADN

Cellule VirusAcariens

Fourmis

Micro-dispositifs

Nanodispositifs

Nano-Eléments

Systèmes

1 pm

Noyau atomique

Transistor

Puce ADN

Micro- accéléro

mètre RMNT

Circuit intégré

Industrie manufacturière

Savoir-faire

Micro-Systèmes

Nano-couches

Positionnement scientifique et technique






Technologie

Dispositif

Produit

Réalisation contrôlée de couches ultra-fines (1µm à < 1 nm) dans des matériaux divers, micro et nano structurésMicro-Nano-métallurgie de la matière : découpage, assemblage et soudage, remplissage, moulage, interaction laser/matière, auto-assemblage, …

électrons

Micro-Nano-Métrologie : mesures des caractéristiques électriques, optiques, mécaniques, chimiques, etc…

Dispositifs élémentaires (Transistor, hétérostructures, matrices, micro-pompes, …)

Circuit intégré

Ondes lumineuses µ-ondes Vibrations

Capteurs Émetteurs

Circuit puissance

Optique Télécom

Chimie organique

Principe physique Biologie

TransformationType d'action

Connaissance des matériaux, substrats, etc. aux échelles micro et nano-métriques dans leurs spécificités aux très faibles dimensions

BiologieChimie

Inté

grat

ion

Mécanique

Champ d’application du RMNT






ULTIMOX : Ultimes Oxydes : Caractérisation , modélisation et fiabilité des oxydes de grille ultra minces (~ 2 nm)

PREUVE : R&D pour la Lithographie Extrême U.V. (13 nm)

MICROMAP : Micro tomographe infra-rouge pour applications industrielles et médicales

QUASIC : Quasi substrats bas coût pour l'électronique de puissance à base de SiC monocristallin reporté sur SiC polycristallin par la technologie Smart-Cut®

Procédés

Machines et outillages

Métrologie

Matériaux

SHAMAN : Simulation Hybride pour Applications Multi-domaines Analogiques et NumériquesConception

Exemples de projets Ruptures de Technologie






Micro-Nano-électronique

Micro-Nano-optique

Micro -Nano-mécanique

Micro-Nano-biologie

Micro-Nano-chimie

ALDEBARAN : Apport de la technologie CMOS/SOI ("Silicon On Insulator") aux applications radiofréquences et hyperfréquences sans contacts et très basse tension

NANOPACK : Packaging micro-photonique de NanoLasers

LOCADYN3D : Microsystème de capture de mouvement pour Interfaces Homme Machine (IHM) professionnelles et grand public

EMATI : Encapsulation des micro-systèmes pour application aux techniques de mesure in vivo

NARD : Microsystème de diffusion de produits sélectifs

Exemples de projets Applications innovantes






3- Bilan à fin 20023- Bilan fin 2002






Bilan au 01/11/2002

• 119 projets ont été déposés et examinés dont 25 en deuxième analyse après améliorations souhaitées.

• 51 projets ont été labellisés.

• 609 partenaires (dont ~300 différents) ont participé à la rédaction de projets.

• Effort global correspondant à 930 hommes*an.

• Soutien par les Ministères et l’ANVAR > à 42 M€.






•Les projets sont fortement coopératifs (~5 partenaires par projet)

•L’effort moyen par projet est de 17.6 homme*ans.

•La durée moyenne des projets est de 28 mois.

•Le financement demandé moyen/projet est de .82 M€.

•Le financement des Ministères s’élève à ~42 M€.

Projets labellisés






Bilan projets labellisés au 01/11/02






Bilan projets labellisés au 01/11/02






Répartition des projets labellisés par domaine






Répartition Main d’œuvre par domaine






Répartition projets par domaine d’application






Répartition Main d’œuvre par domaine






Evolution du nombre de projets soumis






Principales causes de refus définitif

• Pas d’innovation.

• Pas de différenciation utile.

• Marché accessible ne justifiant pas l’investissement.

• Partenaire industriel insuffisamment armé.

• Incohérence technique et économique.






Principales causes de renvoi à un second examen

• Etat de l’art insuffisant.

• Objectifs multiples ou mal définis.

• Avantages concurrentiels mal définis.

• Partenariat insuffisant, engagement de l’industriel douteux.

• Absence de jalons intermédiaires.






4- Organisation et structures






• Faire émerger et suivre des projets coopératifs innovants à finalité industrielle.

– En répondant à la demande économique et en restant à son écoute,

– En favorisant les coopérations et les transferts entre la Recherche et l'Industrie,

– En suscitant la création et la croissance de jeunes entreprises,

– En contribuant à animer la communauté scientifique et technique.

• Pour ce faire, le réseau– Identifie les verrous technologiques et les besoins du

monde économique,– Labellise, après expertise, des projets coopératifs

innovants qu’il soumet aux pouvoirs publics pour financement éventuel,

– Anime des rencontres et stimule les échanges.

Objectifs et Orientations






• Le réseau est piloté par un Comité d'Orientation constitué d'industriels et de représentants de la recherche publique du domaine.

C'est le Comité d'Orientation qui sélectionne et labellise les projets qui seront proposés pour un financement public.

• Des experts, choisis par le comité d'orientation lui apportent un support scientifique et technique.

• Le Bureau Exécutif assure le fonctionnement du réseau. Il est constitué d'une représentation permanente et d'antennes couvrant le territoire national.Son animation est réalisée par les antennes régionales.

Organisation générale du RMNT






• MISSIONS :– de définir les orientations stratégiques du réseau. – d'examiner les projets, et au vu des expertises scientifiques et techniques,

déterminer auxquels d'entre eux attribuer le label du réseau. – de suivre les projets labellisés ayant reçu une aide des pouvoirs publics.

• MODE DE TRAVAIL– Le Comité d'orientation se réunit au moins trois fois par an.

• CHOIX DES MEMBRES– Ils sont nommés par les pouvoirs publics– Le Comité d'orientation, est composé de membres représentant les

industriels, les scientifiques et les universitaires du domaine.

• CONFIDENTIALITE– Les membres sont tenus à un devoir de réserve et de confidentialité

Comité d ’Orientation






Comité d ’Orientation

Nord

D. Lippens (IEMN) Nord-Est

D. Hauden (LPMO)

Rhône-Alpes

J. Therme (CEA/Leti)

B. Limon (Biomérieux)

G. Labrunie (CEA Valorisation)

C. Dussurgey (Thales Avionics)

Ile de France

C. Puech (Thales HTO)

L. Malier (Optronics-Alcatel)

F. Troalen (Paris V)

L. Gouzènes (STMicroelectronic)

C. Dupas (ENS)

J. Aubert (IEF)

G. Faini (LPN)

Grand Sud-Ouest

B. Poli (RECIF)

G. Nicolessi (Nanotimes)

A. Martinez (LAAS)Sud

D. Bois (CMP)






• MISSION :– Assister le Comité d'Orientation dans l'instruction des projets et lui

fournir le support logistique dont il a besoin. – Préparer les travaux du Comité d'orientation. – Proposer les actions de communication et promouvoir le Réseau. – Harmoniser les actions avec celles des autres Réseaux.

• MODE DE TRAVAIL– Le Bureau Exécutif se réunit au moins une fois par mois.– Il est structuré en une représentation permanente localisée à Grenoble

et en antennes régionales qui couvrent le territoire national et la relaient.

– Chaque consortium peut avantageusement demander conseil aux antennes régionales dont il relève.

• CHOIX DES MEMBRES– Ils sont nommés par les pouvoirs publics

• CONFIDENTIALITE– Ses membres sont tenus à un devoir de réserve et de confidentialité

Bureau Exécutif (Point d’entrée du Réseau)






Bureau Exécutif

Ile de France

J. F. Pône (CNFM)

Grand Sud-Ouest

J. Pistré (IXL)

Nord

A. Vanoverschelde (IEMN)

Grand Ouest

Ph. Dupuy (MEITO)Bureau (Rhône-Alpes)

M. Girardet (INPG)

C. Sonrel (LETI)

P. Viktorovitch (LEOM)

Sud

M. Hänbucken (CRMC2)

Est

M. Froelicher (C.T.M.)

Nord-Est

Ph. Alnot (CRPCMM)






• RÔLE DES EXPERTSLes experts sont chargés d'apporter un avis scientifique et technique sur les projets qui leurs sont soumis par le Comité d'Orientation. Chaque projet sera examiné au moins par deux experts, l'un du monde académique, l'autre du monde industriel, désignés par le Comité d'Orientation.

• CHOIX DES EXPERTSLes experts sont choisis pour leur compétences scientifiques et techniques dans leur domaine sur une liste établie, après avis des pouvoirs publics, par le Comité d'Orientation.Le choix des experts s'attache à respecter quelques grands équilibres, notamment entre recherche publique et recherche industrielle, à couvrir l'ensemble des domaines des micro et nano technologies, et à assurer la plus large représentativité possible des compétences. Il pourra être fait appel à des experts étrangers reconnus pour leurs compétences.

• CONFIDENTIALITE Un engagement de confidentialité est demandé aux experts retenus pour expertiser un projet.

Experts






de l’ordre de 350 personnalités du milieu industriel et du milieu de la recherche publique.

• Liste approuvée par le Ministère de la Recherche

• dix domaines d’expertise : biotechnologie microélectronique optoélectronique puissance et microénergie microcomposants nanostructures / nanomatériaux assemblage / hybridation / connectique ultra-précision périphériques conception

Le Groupe d ’experts






Les projets exploratoires sont des projets à risque élevé, s'inscrivant dans le contexte du développement à moyen terme de nouveaux procédés, composants, systèmes ou micro-systèmes pour les domaines applicatifs du réseau. Ils doivent s'attaquer à résoudre des verrous technologiques pour prouver la faisabilité d'une nouvelle fonctionnalité.

Les projets précompétitifs sont des projets s'inscrivant dans les domaines applicatifs du réseau, présentant un caractère intégrateur et se situant clairement en amont du développement industriel et dont l'aboutissement est un démonstrateur intégrant de nouvelles fonctionnalités.

Les projets de Plates-FormesUne plate forme est définie comme une infrastructure avancée et originale d'expérimentation (conception, technologie, essai…) pourvue de ses moyens d'exploitation. Elle peut être éventuellement constituée d'une fédération de moyens répartis.Elle doit relever des objectifs définis par le RMNT.Un projet de plate forme porte sur l'investissement, la mise en place et la validation de la plate forme, ou l'amélioration d'une plate forme existante, à l'exclusion de toute étude complémentaire, qui peut faire l'objet d'une proposition d'étude séparée."

Définition des projets innovants






• Projets exploratoires. => MR

• Projets précompétitifs. => MinEFI / ANVAR

• Projets de plates-formes.

• Centrales technologiques.

• Plates-formes de caractérisation et de tests.

• Plates-formes d’intégration.

Typologie des projets






• Dépôt des projets au «fil de l’eau», sauf appels spécifiques

• Projets obligatoirement coopératifs.• Levé d’un verrou technologique.• «Business plan» fortement recommandé

Recommandations






• Pertinence du projet par rapport aux Micro & Nano Technologies (du nm à la centaine de µm).

• Perspectives de retombées économiques, industrielles et scientifiques.

• Caractère novateur du projet.• Qualité, complémentarité et ouverture du

partenariat.• Rigueur de la définition des objectifs

intermédiaires et finaux.• Clarté de rédaction du dossier.

Méthodes d’évaluation






• Expertise des projets

– A charge des experts nommés par le CO.

– Chaque projet est expertisé par un expert industriel et un expert de laboratoire public.

• Sélection des projets

– Chaque projet est instruit par deux rapporteurs (industriel et laboratoire public) issu du CO en s'appuyant sur les rapports des experts.

– Les projets sont labellisés collégialement par le CO.

Sélection des dossiers et labellisation






• Chaque projet labellisé sera orienté vers l'une des administrations suivantes qui décidera du soutien éventuel en fonction de ses possibilités budgétaires dans le cadre des procédures existantes.

– Le Ministère délégué Recherche et nouvelles Technologies

– Le Ministère de l'Economie, des Finances et de l'Industrie

– La DGA

– L'ANVAR, l'agence française de l'innovation

• Projets de type plateforme :

– Le financement des projets de plate-forme fera l'objet d'un examen spécifique par les deux ministères, notamment pour la part relative aux achats d'équipement et aux frais d'exploitation.

Demande de financement






5- Relations avec les autres actions, en France

et en Europe






RMNT

RNRT (Télécom)

Technologies pour la santé

GenHomme

Dispositifs pour télécom, optiques, transistors

Biopuces, microcapteurs, Nano-bio-ingéniérie

Le RMNT développe en amont les technologies de base utilisées par les projets des autres réseaux

RNMP (Matériaux) RIAM (multimédia)

Pile à combustible

Prédit

Positionnement / autres Réseaux français






RMNT et ses plates-formes technologiques

Eureka

Réseaux d'excellence

6° PCRDProgrammes

intégrés

Le RMNT correspond au développement français des grands programmes européens

Article 169

# 2 IST# 3 Micro et

nanotechnologies

Infrastructures SEA

France

EuropeMEDEA+

Circuits intégrésPIDEApackaging

EURIMUSMicrosystèmes

ITEALogiciels

Positionnement / aux grands programmes






Recherche fondamentale

Recherche de base

Recherche appliquée Développement ProductionRecherche

préconcurrentielle

PrototypesDémonstrateurs

Connaissances génériques

Produits

Processus de

productionProcédésBriques

de procédés

Connaissancesd'un domaine

Plans, schémas, dessins

RMNTAction concertée "nanosciences et nanotechnologies"

Recherche industrielle

Eureka

6° PCRD

Infrastructure/Plateformes

Positionnement / aux stades de la recherche






Présentation

6- Conclusions






Conclusion (I)

• Le RMNT fonctionne depuis près de 4 ans.• 51 projets ont été labellisés (certains d’entre-eux se

terminent ou sont terminés).• Renouvellement des membres du Réseau.

CO > 50% BE > 60%• Diffusion de l’information :

• Site internet existant et régulièrement mis à jour.

• Documents de présentation.

• Journées de présentation en région.

• Journées nationales du RMNT en 2001 et 2002.

• Rédaction d’un livre blanc sur les micro et nano technologies.






Conclusion (II)

• Soumission des projets au « fil de l’eau », ouverture à des appels d’offres thématiques et à des projets de plates-formes.

• Mise en place des Centrales Technologiques de 1er Cercle (Grenoble, Lille, Paris, Toulouse).

• Opportunités dans le cadre des programmes européens (PCRDT, Eureka,..)

• Positionnement international