Détermination du coût complet et élaboration des tarifs pour la plateforme de micro et nanotechnologies MIMENTO du laboratoire FEMTO-ST

Octobre 2021

1 Table des matières

1 Table des matières .................................................................................................................................................... 1

2 Table des figures ....................................................................................................................................................... 3

3 Table des tableaux .................................................................................................................................................... 3

1 Présentation de la plateforme de micro et nanotechnologies MIMENTO ............................................................... 4

1.1 L’institut de recherche FEMTO-ST .................................................................................................................. 4

1.1.1 FEMTO-ST aujourd’hui ............................................................................................................................ 4

1.1.2 La recherche ............................................................................................................................................. 5

1.1.3 Les enjeux sociétaux .................................................................................................................................. 5

1.1.4 Localisation ............................................................................................................................................... 5

1.2 La centrale de technologie MIMENTO ............................................................................................................ 6

1.2.1 Les recherches ........................................................................................................................................... 6

1.2.2 Les ressources ........................................................................................................................................... 7

1.2.3 Description des locaux .............................................................................................................................. 7

1.2.4 Equipements de la centrale ....................................................................................................................... 8

1.2.5 Produits et services proposés par la centrale ........................................................................................... 9

1.2.6 Modalités de financement de la centrale .................................................................................................. 9

1.2.7 Fonctionnement de la centrale ................................................................................................................ 10

1.2.8 Budget de fonctionnement ....................................................................................................................... 10

1.3 Typologie des utilisateurs ............................................................................................................................... 11

2 Détermination des coûts complets ......................................................................................................................... 12

2.1 Les différentes produits et services proposés de la centrale de technologie ................................................... 12

2.1.1 Produits liés à l’activité métier ............................................................................................................... 12

2.1.2 Services liés à l’activité support ............................................................................................................. 13

2.2 Périmètre des charges : détermination du coût complet .................................................................................. 13

2.2.1 Coût complet de fonctionnement ............................................................................................................. 14

2.2.2 Coût complet d’amortissement des équipements .................................................................................... 17

2.2.3 Coût des frais du personnel lié à l’activité de service de la centrale de technologie (permanent et CDD

payés sur subvention). ............................................................................................................................................. 17

2.3 Coût de fonctionnement : les clés de répartition ............................................................................................. 18

2.3.1 Clés de répartition liées aux heures d’utilisation des équipements ........................................................ 19

2.3.2 Clés de répartition liées à la surface de la plateforme ........................................................................... 19

2.4 Coût complet de fonctionnement : spécificités propres à certains postes de dépense. ................................... 20

2.4.1 Commun salle blanche ............................................................................................................................ 20

2.4.2 Autres frais, dépenses exceptionnelles et salaire des CDD .................................................................... 20

2.4.3 Fluides (coût de l’électricité) .................................................................................................................. 20

2.4.4 Frais spécifiques à une ou plusieurs ressources technologiques ............................................................ 21

2.4.5 Synthèse des clefs de répartition de chaque code entité en fonction des produits, ................................. 21

2.4.6 Calcul final du coût de fonctionnement bi-annuel .................................................................................. 23

2.5 Les unités d’œuvre (UO) ................................................................................................................................. 23

2.6 Synthèse des coûts unitaires de fonctionnement ...................................................................................... 24

3 Tarifs ....................................................................................................................................................................... 24

3.1 Tarification par typologie de clientèle ............................................................................................................ 24

3.2 Tarif académique ........................................................................................................................................... 24

3.3 Tarif industriel ............................................................................................................................................... 25

3.4 Tarif académique ........................................................................................................................................... 25

2 Table des figures

Figure 1 : Carte RENATECH avec les centrales technologiques du premier cercle (orange) et centrales de proximité de

Bourgogne-Franche-Comté et du Grand-Est (jaune). ....................................................................................................... 5

Figure 2 : Plan du site ........................................................................................................................................................ 6

Figure 3 : Plan de l’implantation des équipements principaux dans les deux bâtiments. ............................................... 7

Figure 4 : Recettes 2018-2019 ......................................................................................................................................... 11

Figure 5 : Dépenses de fonctionnement 2018-2019, la part correspondant au fonctionnement de la ligne pilote et des

investissements ne sont pas pris en compte. ................................................................................................................. 11

3 Table des tableaux

Tableau 1 : Tableau des équipements fin 2019, de leur valeur d’achat et de l’année d’acquisition. .............................. 9

Tableau 2 : Code entité (feuille clef de répartition) ........................................................................................................ 16

Tableau 3 : Valeur amortissable sur la période 2018 - 2019 pour chaque produit ........................................................ 17

Tableau 4 : Coefficient appliqué suivant la classe ISO pour passer des M2 au M2 normalisés. .................................... 19

Tableau 5 : Nombre d’heure d’utilisation des équipements sur 2018 et 2019 suivant les produits. ............................. 19

Tableau 6 : M2 et M2 normalisé affectés aux produits. ................................................................................................. 20

Tableau 7 : Clefs de répartition en fonction des produits, des codes entités (feuille « clef de répartition » dans le

fichier excel) .................................................................................................................................................................... 23

Tableau 8 : Synthèse des coûts unitaires de fonctionnement pour 2018-2019 ............................................................. 24

Tableau 9 : Répartition des subventions pour le calcul du tarif académique ................................................................. 25

Tableau 10 : Répartition des subventions pour le calcul du tarif académique............................................................... 25

Tableau 11 : Tarifs appliqués en 2020 ............................................................................................................................ 26

1 Présentation de la plateforme de micro et nanotechnologies MIMENTO

1.1 L’institut de recherche FEMTO-ST

1.1.1 FEMTO-ST aujourd’hui

L’institut FEMTO-ST (Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et Optique – Sciences et

Technologies, UMR 6174), est une unité mixte de recherche, née le 1er janvier 2004 de la fusion de cinq

laboratoires francs-comtois, formant ses départements initiaux.

Elle est placée sous la quadruple tutelle de l’Université de Franche-Comté (UFC), du Centre National de la

Recherche Scientifique (CNRS), de l’École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques

(ENSMM) et de l’Université de Technologie Belfort-Montbéliard (UTBM).

En 2008, à la faveur de la recomposition des départements existants visant une meilleure cohérence

scientifique, et de l’intégration de deux nouveaux laboratoires, FEMTO-ST s’est restructuré en six

départements scientifiques :

› AS2M (Automatique et Systèmes Micro Mécatroniques)

› ÉNERGIE

› MÉCANIQUE APPLIQUÉE

› MN2S (Micro Nano Sciences et Systèmes)

› OPTIQUE

› TF (Temps-Fréquence)

Enfin, en 2012, l’intégration du Laboratoire d’Informatique de Franche-Comté (LIFC) a conduit à la création

du septième département scientifique :

› DISC : Département d’Informatique des Systèmes Complexes

FEMTO-ST compte aujourd’hui plus de 750 membres, départements scientifiques, services communs et

direction confondus.

La Centrale de Technologie de l'Institut FEMTO-ST, appelée MIMENTO pour MIcrofabrication pour la

MEcanique, les Nanosciences, la Thermique et l'Optique, fait partie depuis 2004 du réseau RENATECH des

grandes centrales technologiques, dont le but est de soutenir l'ensemble de la recherche institutionnelle

française. Elle est dotée d'un parc d'équipement de Haute Technologie ouvert à la fois à des partenaires

académiques et industriels. Elle a bénéficié ces dernières années de financement européen (FEDER,

INTERREG), nationaux (Ministère, ANR, CNRS), et régionaux (DRIRE, Région, Conseil Général, CAGB).

La centrale de technologie de FEMTO-ST fait partie, avec quatre autres centrales, le LTM (Grenoble), l'IEMN

(Lille), le LAAS (Toulouse), et le C2N (Palaiseau), du Réseau National de grandes centrales technologiques

pour la Recherche Technologique de Base (réseau RENATECH soutenu par le programme RTB, en

partenariat avec le CEA – LETI). Le but de ce réseau est de soutenir l'ensemble de la recherche institutionnelle

française en mettant à disposition ses équipements et ses compétences auprès des centres de recherche

demandeurs.

Figure 1 : Carte RENATECH avec les centrales technologiques du premier cercle (orange) et centrales de

proximité de Bourgogne-Franche-Comté et du Grand-Est (jaune).

1.1.2 La recherche

La spécificité de FEMTO-ST est d’associer les Sciences et Technologies de l’Information et de la

Communication (STIC) avec les Sciences pour l’Ingénieur (SPI). Son champ thématique couvre en effet

l’optique, l’acoustique, les micro nanosciences et systèmes, le temps-fréquence, l’automatique,

l’informatique, la mécatronique, en même temps que la mécanique et les matériaux, l’énergétique et le génie

électrique.

Les actions de recherche de FEMTO-ST peuvent être fondamentales ou appliquées, et produisent

régulièrement un impact socio-économique, dans des secteurs comme l’énergie et les transports, la santé, les

télécommunications, le spatial, l’instrumentation et la métrologie, l’horlogerie et l’industrie du luxe.

L’institut peut s’appuyer sur des technologies de haut niveau, équipements et plateformes, en particulier la

centrale de micro et nanotechnologies MIMENTO.

1.1.3 Les enjeux sociétaux

Les enjeux sociétaux de FEMTO-ST sont :

› La société de l'information et de la communication, les objets intelligents et connectés

› La médecine du futur

› Les énergies renouvelables, sûres et efficaces

› Le renouveau industriel, l’industrie du futur

› Les transports et l’espace

1.1.4 Localisation

L'institut FEMTO-ST est situé en Bourgogne - Franche-Comté, au cœur de la technopole TEMIS

Figure 2 : Plan du site

1.2 La centrale de technologie MIMENTO

Depuis les années 90, la centrale de technologie MIMENTO a développé de nouvelles technologies dans le

cadre de projets de recherche en micromécanique, micro-nano-optique et micro-nano-acoustique. Grâce à un

ensemble d’équipements de haute technologie, cette centrale de l’Institut FEMTO-ST permet aux équipes de

recherche de concevoir et de réaliser des dispositifs basés sur les micro- ou nanotechnologies. Début 2008,

l’institut a élargi ses infrastructures de micro fabrication en ouvrant une nouvelle salle blanche de 400 m² sur

le technopole TEMIS (bâtiment Temis Innovation - Maison des microtechniques). Dans son prolongement, et

dans le cadre du projet TEMIS SCIENCES, une extension de 450 m² est opérationnelle depuis fin octobre

2013. Elle permet ainsi de regrouper les différentes filières spécifiques de micro fabrication de FEMTO-ST

sur un même lieu, dans un espace global de l'ordre de 1300 m², dont 865 m² de locaux de classe ISO 5 à 8.

Elle est gérée par une équipe technique composée d’une quinzaine d’ingénieurs et de techniciens qui a pour

rôle de soutenir les projets de recherche réalisés au sein de la centrale (projets internes ou externes). Ses

missions principales sont le développement de nouvelles technologies, la gestion d’un parc d’équipements de

haute technologie (maintenance et évolution des équipements) et l’accompagnement des utilisateurs

(formation et conseil sur les procédés de réalisation).

Depuis 2010, la centrale de technologie MIMENTO s’est doté d’une ligne pilote de micro-fabrication en salle

blanche de composants micro et nano acoustiques, et en particulier des dispositifs à ondes acoustiques pour la

réalisation de filtre RF (dispositifs SAW, BAW). Depuis l’origine, nous avons fait le choix de confier la

responsabilité de cette ligne de prototypage préindustriel à une spin-off de notre laboratoire, la société

FrecNsys qui est actuellement une division du groupe SOITEC. Cette Ligne est ouverte à la fois à des projets

de recherche technologiques et à des projets industriels, la société FrecNsys est le seul opérateur sur cette

ligne. A ce titre, elle prend à sa charge la partie des coûts de fonctionnement de la salle blanche qui sont

rattaché à cette activité. Cette ligne pilote occupe actuellement environ 200 m2 de la salle blanche de la centrale

de technologie MIMENTO et la quote part des frais généraux refacturés à la société FrecNsys pour l’utilisation

de cette ligne industrielle est défini dans le cadre d’une convention signée avec l’Université de Franche-Comté.

1.2.1 Les recherches

La centrale MIMENTO est l’une des cinq plateformes de micro-nanotechnologies du réseau national

RENATECH où elle est identifiée comme centre de référence en :

› Micro-nano-optique

FEMTO-ST Main building-

Direction Optique MN2S

AS2M

TF ENSMM

DMA UFC

Bâtiment Temis Innovation -

Maison des microtechniques

PLATFORME MIMENTO

› Micro-nano-acoustique

› Microsystèmes opto-électromécaniques (MEMS et MOEMS)

1.2.2 Les ressources

D’un point de vue technique, les équipements sont répartis dans la centrale par ressources technologiques.

Pour fabriquer un composant, il faut donc enchaîner des étapes entre ces différentes ressources :

Lithographie (reproduction d’un design sur le matériau à l’aide de polymère photosensible ou électro

sensible)

Dépôt (de matériaux présentant différentes propriétés : isolantes, conductrices …)

Gravure (usinage du matériau par voie chimique ou sèche par plasma)

Caractérisation (validation du dispositif tout au long des étapes de fabrication)

Connectique-packaging (conditionnement du composant final)

Nanotechnologie (observation et mise en forme des matériaux à l’échelle sub-micromètrique)

Chimie (usinage chimique et croissance électrolytique)

Découpe/polissage (découpe final des dispositifs et amincissement des substrats)

1.2.3 Description des locaux

Les équipements de la centrale MIMENTO sont situés soit dans la salle blanche du bâtiment Temis Innovation

– Maison des Microtechniques, au 18 rue Alain Savary, ou dans le bâtiment principal de FEMTO-ST au 15B

avenue des Montboucons (Figure 3)

Figure 3 : Plan de l’implantation des équipements principaux dans les deux bâtiments.

1.2.4 Equipements de la centrale

Ressource Nom d'équipement Fonctionnalité de l'équipement Fournisseur Année d'achat

Prix d'achat

Nano

Station E Beam Raith e-line Raith 2008 707 500

FIB-FEI Helios Nanolab 600i FEI 2012 960 048

MEB (C4) Quanta 450W FEI 2012 226 000

MEB (C13) Apreo S (en remplacement du Quanta 450 w) FEI 2019 653 436

Lithographie

Aligneur Double Face EVG

EVG 620 EVG 2003 160 000

Spray Coating Altaspray Suss Microtech 2008 130 000

Tournette OC22 spin coating avec hot plate intégrée Opticoat ST22 ATM - SSE

2011 47 080

Tournette RC8 RC8 Suss Microtech 2000 15 528

Aligneur DUV EVG Aligneur DUV EVG 2015 227 000

ACS 200 piste d'enresinage Suss Microtech 2017 500 150

QS WET 300 nettoyage de masque Microtest 2018 230 244

DSM8 Caractérisation alignement Suss Microtech 2018 119 120

Filmetrics caratérisation des résines Scientec 2016 44 305

Nanoscribe machine de lithographie 3D Nanoscribe 2018 350 000

DWL 200 système de lithographie laser Heidelberg 2008 700 000

Dépôt

ICPECVD SENTECH SI 500 D Sentech 2009 309 365

Pulvé MP700S Pulvérisation cathodique Plassys Plassys 2017 256 560

Evap MEB600 Evap plassys Plassys 2017 271 900

Pulvé MP450S (avec sas)

pulvé ALN avec cathode 6 pouces Plassys

2002 72 503

Pulvé Plassys MP500 pulvérisation cathodique Plassys Plassys 2000 57 930

Evap - Alliance Concept, - EVA 450

évaporateur avec IAD, EVA 450 Alliance concept

2004 239 964

Fours Four RTP four recuit rapide Annealsys 2016 100 019

Four tube 1-2-3 four d'oxydation AET 2014 198 234

Gravure

DRIE-Alcatel DRIE silicium A601 Alcatel 2003 445 000

DRIE-STS Drie quartz / verre / niobate de lithium- PRO AOE STS

2006 415 000

RIE - F - Plassys RIE - MG200 Plassys 1996 86 262

RIE-O2-Nanoplas délaquage (monowafer) - DSB 6000 Nanoplas

2010 88 940

DRIE 6 pouces DRIE Silicium 6 pouces SPTS 2016 1 060 000

DRIE-SPTS DRIE silicium Pegasus-Rapier SPTS 2011 613 103

RIE CORIAL 200 R RIE Corial Corial 2018 202 550

DRIE Cl-Omega ICP chloré - Omega 201 Trikon 1997 861 629

Carac

Ellipso Jobin Yvon ellipso spectoscopique - Uvisel - NIR Jobin Yvon

2005 89 990

MEMS Analyser Mems analyser - MSA 500 Polytec 2010 240 278

STYLUS PROFILOMETER DEKTAK XT profilométre mécanique Bruker 2017 54 800

GBX MCAT Contact Angle Metrology mesure angle de goutte GBX 2014 10 500

FSM stress measurement FSMG 2014 71 060

Leica DM8000 microscope optique LEICA 2012 53 632

ESP150 COAXPLUS station de test sous pointe CASCADE MB Electronique 2018 22 000

DAGE 4000 plus caractérisation mécanique (Bond testeur) Nordson 2018 72 000

Chimie

lot de 6 sorbonnes de chimie

nettoyage, dvt, gravure KOH, électroformage HPE

2008 109 500

lot de 3 sorbonnes lift off et gravure métal (batch) Minaservices 2011 75 004

SRD 4 et 6 pouces rinçage et séchage Peritest 2016 38 347

Packaging Assembly

Wafer Bonding EVG wafer bonding EVG 601 EVG 2003 240 000

Wafer Bonding AML 402P acheté par équipe MOEMS AML

2013 83 778

Wafer bonder AML 6 pouces wafer bonder AML

2019 462 908

NP12 activation plasma NP12 Suss Microtech 2006 150 000

CL 200 cleaner /SOI bonder - CL 200 Suss Microtech 2006 91 000

Flip-Chip flip chip FC250 Suss Microtech 2006 218 000

TPT16 wire bonding TPT 2007 35 000

FEMTO-PRINT impression 3D FEMTO-PRINT 2018 498 599

CMP CMP Alpsitec 2014 254 332

Scie DAD 321 scie de découpe - DAD 321 Disco 2002 92 000

Scie DAD 3350 scie de découpe haute précision - DAD 3350 Disco

2012 175 000

Polisseuse Logitech polisseuse - PM5A Logitech 2003 85 200

Tableau 1 : Tableau des équipements fin 2019, de leur valeur d’achat et de l’année d’acquisition.

1.2.5 Produits et services proposés par la centrale

Dans le cadre de l'ouverture des grandes centrales de technologies du réseau RENATECH, l'institut FEMTO-

ST, s'engage à réaliser au sein de sa centrale de technologie des projets portés par des laboratoires extérieurs

ou par des PME/PMI lors de collaborations de recherche.

Chaque demande est examinée par un comité local, des itérations entre le demandeur et le personnel de la

centrale permettent de préciser la faisabilité du projet, son coût et les délais de réalisation. Suivant la nature

des travaux, des personnes extérieures sont invitées à réaliser elles-mêmes certaines étapes technologiques en

salle blanche.

Toutes les demandes de projet sont déposées sur le site du réseau RENATECH :

https://www.renatech.org/projet/.

1.2.6 Modalités de financement de la centrale

Financement

Le fonctionnement au quotidien et les investissements de la centrale s’appuient sur les financements suivants :

Subvention via le CPER (Contrats de Plan Etat-Région)

Subvention via le programme RTB (Recherches Technologiques de Base) de l’ANR (Agence nationale

de la Recherche)

Subvention via le CNRS dans le cadre du TGIR (Très Grands Instruments de Recherche)

Financement via les projets de recherche utilisant la centrale (Europe, ANR, DGA, Industriels, …)

Les équipements de la salle blanche ont été acquis par le laboratoire grâce à des subventions obtenus dans le

cadre du programme RTB de l’ANR, du CPER ou de projets FEDER. Les équipements ont été acquis soit

par le centre national de la recherche CNRS, soit par l’Université de Franche-Comté (UFC).

Dépenses/charges

L’ensemble des dépenses de fonctionnement sont référencées sur des lignes identifiées dans un tableau Excel

« Tarification MIMENTO », feuille « dépense N-1 », « dépense N-2 », « bilan sur 2 ans ».

1.2.7 Fonctionnement de la centrale

La centrale de technologie MIMENTO est une centrale de technologie multi-utilisateurs ouvertes à divers

projets de recherche internes ou externes au laboratoire. Chaque utilisateur de la centrale de technologie est

formé à l’utilisation des équipements par le personnel technique de la centrale.

Chaque utilisateur, doit avant de pouvoir utiliser un équipement de la centrale de technologie avoir un projet

en cours enregistré sur le site du réseau RENATECH. A chaque projet est alors associé un nom et un numéro

de projet.

Lors des utilisations des équipements de la centrale de technologie, chaque personne doit au préalable réserver

son équipement via un site de réservation en ligne, la réservation est alors rattachée à un nom de projet et à un

utilisateur.

Depuis des années, la centrale de technologie disposait pour la réservation de ces équipements d’un logiciel

développé en interne (https://sblanche.femto-st.fr/) et depuis le mois d’avril 2018, elle s’est dotée d’un outil

informatique commun à l’ensemble des centrales du réseau RENATECH, le logiciel MyFab LIMS. Cet outil

a été développé par l’Université de Chalmers en Suède pour l’ensemble du réseau suédois des centrales de

technologie et mis en place en 2018 dans les centrales du réseau RENATECH. Depuis cette date l’ensemble

des réservations des équipements de la salle blanche MIMENTO sont réalisées via ce logiciel.

(https://lims.femto-st.fr/default.aspx).

1.2.8 Budget de fonctionnement

Les figures suivantes représentent la répartition des recettes (facturation) et des dépenses (engagement) de

fonctionnement pour les exercices des années civiles 2018 et 2019.

Figure 4 : Recettes 2018-2019

Figure 5 : Dépenses de fonctionnement 2018-2019, la part correspondant au fonctionnement de la ligne

pilote et des investissements ne sont pas pris en compte.

1.3 Typologie des utilisateurs

Il existe dans notre centrale de technologie deux types d’utilisateurs :

- Des utilisateurs académiques qui sont issus de laboratoire de recherche nationaux ou internationaux.

Parmi ces utilisateurs académiques sont inclus les équipes de recherche du laboratoire FEMTO-ST.

- Des utilisateurs industriels qui viennent utiliser nos équipements pour leurs propres activités de R&D,

certains de ces utilisateurs seront amenées à utiliser par eux même les équipements après formation

par le personnel technique de la centrale MIMENTO.

FEMTO – Soutien de base (TGIR)

47%

Contrats de recherche internes

23%

Labex9%

Projets exogènes académiques

4%

Projets exogènes industriels

15%Box industriels

2%

Budget 2018-2019

Consommables15%

Maintenance35%Fluides

36%

Dépenses Exceptionnelles

6%

Salaires 8%

Dépenses 2018-2019

De nombreux projets présentés par les chercheurs de FEMTO-ST sont collaboratifs, mêlant des académiques

et des industriels. Ces projets collaboratifs sont associés à des contrats partenariaux définis au sein des équipes

de recherche. L’ensemble de ces projets partenariaux, réalisé par le partenaire académique, seront considérés

pour la centrale de technologie comme des projets de recherche académiques.

Les projets portés par des industriels sans collaboration avec une équipe de FEMTO-ST seront par contre

considérés comme des projets industriels et enregistré avec l’intitulé PI dans la base de donnée des projets de

la centrale. L’ensemble de ces projets à vocation industriels représenteront l’activité économique de la centrale

de technologie. Notre centrale de technologie étant avant tout une infrastructure de recherche académique, la

part de l’activité économique de la centrale sera limitée à 20 % de son activité totale.

L’université de Franche-Comté, héberge également dans ses locaux un centre de développement

technologique, FEMTO – Engineering, qui assure l’interface entre la recherche et les besoins d’innovation

des industriels. Il s’agit d’une fondation de l’Université de Franche-Comté. Dans le cadre de son activité

FEMTO-Engineering, réalise au sein de la centrale de technologie MIMENTO des projets de développements

technologiques faisant intervenir les technologies de salle blanche, en fonction de la finalité de ces projets,

ces derniers seront soit comptabilisé comme des projets de recherche académique (académiques purs ou

partenariaux), soit comme des projets industriels liés à une activité économique.

Dans le cadre de l’ouverture des centrales de technologies du réseau RENATECH à des utilisateurs externes

au laboratoire, d’autres équipes que celles du laboratoire FEMTO-ST seront amenés à utiliser les équipements

de la centrale de technologies MIMENTO, on parle alors de projets exogènes. Ces projets seront considérés

de la même façon que les projets internes au laboratoire et seront traités comme des projets académiques ou

industriels selon la nature du demandeur.

2 Détermination des coûts complets

2.1 Les différentes produits et services proposés de la centrale de technologie

Dans la suite de ce document nous allons définir les divers produits et services qui seront disponibles au sein

de la centrale de technologie.

La plateforme propose des produits et services nombreux et variés permettant le prototypage de micro et nano

composants. Néanmoins ils peuvent être classés en deux catégories principales

- Opérations ou ensemble d’opérations technologiques pour la réalisation de micro et nano dispositifs

(activité métier de la centrale de technologie).

- Mise à disposition de personnel pour la formation aux techniques, à la préparation et au suivi de projets,

à l’encadrement de personnes (activité support).

2.1.1 Produits liés à l’activité métier

Divers produits ont été identifiés qui dépendent de l’activité réalisé au sein de la centrale de technologie, parmi

ces produits ont distinguera :

- L’utilisation des ressources standards de micro-fabrication en salle blanche, qui seront décomposée en

heure d’utilisation et que nous appellerons « heure salle blanche » (SB) dans la suite du document. Il

s’agira des principaux équipements des ressources lithographie, dépôt de couche mince, gravure

plasma, nanotechnologie, packaging et de quelques gros équipements de caractérisation.

- L’utilisation d’équipement nécessitant des process long (plusieurs heures d’utilisation sans présence

humaine), rentrent dans cette catégorie les fours d’oxydation ou les procédés d’usinage chimique. Ils

seront également décomposés en heures d’utilisation et nous parlerons alors d’« heure salle blanche

process long » (SB long).

- L’utilisation de petits équipements de caractérisation qui seront également décomposée en heure

d’utilisation et que nous appellerons « heure de caractérisation » (Carac). Ces équipements sont

systématiquement utilisés suite aux étapes technologiques réalisées au sein des autres ressources

technologiques ou des autres produits.

- L’utilisation des équipements, généralement situés en dehors de la salle blanche (découpe et polissage),

qui seront là encore décomposée en heure d’utilisation et que nous appellerons « heure hors salle

blanche » (HSB).

- La fabrication d’un masque de lithographie réalisées en autre à l’aide du générateur de masques

Heidelberg, ils seront alors comptabilisés à l’unité, pour le calcul du coût nous associerons à chaque

masque des heures d’utilisation du générateur de masque et nous parlerons alors d’« heure masque »

(Masque).

- La location de box (Box) pour des industriels partenaires ou pour des équipes du laboratoire ayant

leur propre équipement qui seront cette fois décomposée en fonction des m2 (M2) utilisés.

- Les matières premières (wafers, boites, consommables spécifiques, …)

Chacun des équipements de la centrale de technologie sera donc rattaché à un de ces produits. Le tableau excel

« Tarification auditable » présente la liste des équipements et le produit auquel ils sont rattachés dans les

feuilles « Locaux » et « Inventaire ».

Le calcul des heures d’utilisations pour ces diverses catégories s’appuiera sur le système de réservation des

équipements (logiciel Myfab LIMS de Chalmers depuis avril 2018 et sur l’ancien logiciel de la salle blanche

avant). Ces outils informatiques, nous ont permis de calculer le nombre d’heures d’utilisation totale des

équipements de la centrale de technologie et nous avons ainsi déterminé le nombre d’heures attachées à chaque

produit de la centrale de technologie. Ces heures sont identifiées dans le fichier excel « Tarification auditable »

dans la feuille « heures par équipement ».

Nous avons d’autre part fait le choix de ne pas descendre à une granularité plus fine car nous souhaitons

considérer les étapes de micro-fabrication salle blanche comme un tout et nous souhaitons que les choix des

équipements retenus dans chaque procédé de micro-fabrication par nos utilisateurs soient faits avec des

considérations technologiques et non avec des considérations économiques qui pourraient être au détriment

de la réussite des projets.

Les coûts seront alors calculés en fonction des divers produits de la plateforme en lien avec les différentes

activités métiers au sein de la plateforme.

Les matières premières ne sont pas intégrées dans le calcul de coût de fonctionnement puisque qu’elles sont

facturées directement aux clients, au prix coutant.

2.1.2 Services liés à l’activité support

La centrale de technologie MIMENTO est gérée par un groupe d’ingénieur et de technicien qui ont à la fois

une activité de support générique envers l’ensemble des utilisateurs, cette activité consiste principalement à

la formation, au suivi des utilisateurs ainsi qu’à la maintenance des équipements de hautes technologies. Le

coût de cette activité de support générique pouvant difficilement être rattaché à un projet spécifique sera donc

réparti sur l’ensemble des projets en fonction du nombre d’heures d’utilisation de chaque projet.

De façon occasionnelle, les ingénieurs peuvent être également amenés à réaliser des étapes technologiques

pour le compte de projet de recherche spécifique, qui peuvent être des projets internes ou exogènes. Dans ce

cas ces heures qui sont une activité de service spécifique à un projet seront comptabilisé en « heures de

personnel salle blanche ».

Le coût du personnel est dans le fichier excel « Tarification MIMENTO » à la feuille « CC_salaire ».

2.2 Périmètre des charges : détermination du coût complet

Le coût complet se décompose en trois parties :

- Le coût de fonctionnement lié aux produits (activité métier).

- Le coût lié à l’amortissement des équipements.

- Le coût lié aux salaires du personnel permanent et ceux payés sur subvention (salaires liés à l’activité

métier).

Le coût complet de la plateforme est la somme de ces trois parties.

2.2.1 Coût complet de fonctionnement

La détermination du coût complet de fonctionnement est faite en deux étapes. Tout d’abord, l’ensemble des

charges de fonctionnement est réparti par codes entités (feuille « presentation code » du fichier excel

« tarification auditable ») suivant les ressources technologiques de la centrale MIMENTO. Ensuite, le total

des charges de chaque code entité est réparti avec des clefs de répartition (Tableau 7) sur les produits liés à

l’activité métier. Cette deuxième étape est décrite dans la partie 2.3.

L’ensemble de ces charges correspond aux :

- consommables et matières premières non individualisables et nécessaire aux étapes de fabrication,

- frais de maintenance préventive et corrective liés aux équipements et à certains produits spécifiques,

- fluides (eau, électricité).

- frais généraux qui sont rattachés soit à l’ensemble des produits, soit à un groupe de produits dont les

frais d’infrastructures,

- frais de personnels payés sur fond propre de la centrale.

Les différentes charges proviennent d’une extraction Jefyco pour les données UFC et d’une extraction Geslab

pour les données CNRS.

Remarque :

- Le fichier des charges de fonctionnement est contrôlé en amont par FEMTO-ST. Les charges non

incorporables n'apparaissent pas (charges à caractère exceptionnel, charges financières, heures

complémentaires, etc.).

- Ces données sont soumises à validation par les agents comptables de chaque tutelle.

- Les données des différentes tutelles sont regroupées dans un seul fichier.

- Dans le calcul du coût complet, les montants pris en compte sont les montants réellement dépensés

(facturés) pour l’activité de la centrale en HT.

- Une partie des frais de fonctionnement liée à l’activité de la ligne pilote de micro-fabrication de

composants acoustiques est directement refacturée à la société FrecNsys dans le cadre de la convention

qui la lie à l’UFC. Les sommes prises en compte dans le calcul du coût complet sont donc les sommes

restantes après diminution de la quote part liée à cette ligne industrielle

- Les matières premières sont facturées directement à nos clients. Elles ne rentrent donc pas dans notre

approche de coût complet.

Le tableau suivant présente l’ensemble des codes entités qui ont été retenue pour la centrale de technologie.

ENTITES CENTRALE DE TECHNOLOGIE Code Entité

COMMUN SALLE

BLANCHE

Gants, surchausses, charlottes, tapis, chiffons 0FCO

nettoyage blouse 0FBL

Location bouteilles gaz 0FGA

Hook Up nouveau équipements 0FHO

Eau DI 0FDI

Petit équipement 0FPE

Sécurité 0FSC

Contrat de maintenance clim SB extension 0FC2

Contrat de maintenance air -azote SB extension 0FA2

Contrat air -azote SB n°1 (ancienne SB) 0FA1

Consommables : huile, filtres, neutra, glycol … 0FCM

Humidificateur (lit ionique) 0FHU

Maintenance préventive onduleur 0FMO

Contrat de maintenace clim SB n°1 (ancienne SB) 0FC1

Maintenance corrective 0FMC

Frais MMT 0FFR

Ménage MMT 0FME

Mise à blanc 0FMB

CARACTERISATION

Consommables divers 0CCO

Contrat MEB 0CMP

Maintenance corrective 0CMC

DEPOT

Gaz (Ar, N2, O2, Silane, ...) 0DGA

Gaz ligne pilote (cadre) 0DLP

Consommables divers 0DCO

Cibles, matières premières 0DCI

Maintenance corrective 0DMC

Maintenance préventive 0DMP

GRAVURE

Gaz (SF6, C4F8, CHF3, C2F6, He, Cl, HBr,…) 0GGA

Consommables divers (joints, fluides caloporteur) 0GCO

Lot maintenance prev (pièces détachées) 0GCM

Contrats maintenance DRIE 0GMP

Sécurité gaz 0GSC

Maintenance corrective 0GMC

LITHOGRAPHIE

Résine 0LRE

Produits chimiques 0LPC

Consommables (pipette, bols, flacons, seringues, …) 0LCO

Petit équipement 0LPE

Maintenance evg 0LMP

Maintenance masqueur 0LMM

Maintenance corrective 0LMC

PACKAGING

Consommables divers 0PCO

Maintenance préventive 0PMP

Maintenance corrective 0PMC

NANOTECHNOLOGIE

(Ex ECRITURE

DIRECTE)

Consommables e-beam 0NCO

Consommables FIB 0NCF

Maintenance préventive : contrats FIB + EBEAM 0NMP

Maintenance corrective 0NMC

CHIMIE

Consommables dépôt Electrochimique 0CHC

Produits chimiques 0CHP

Maintenance 0CHM

FRAIS GENERAUX Electricité MMT (CNRS) 0FEL

HORS SALLE

BLANCHE

(POLISSAGE + SCIE)

Consommables fibre + wafer… 0HCO

Maintenance préventive 0HMP

Maintenance corrective 0HMC

Participation au contrat de maintenance air-azote Temis-science 0HA3

SUBSTRATS

Wafers 0SWA

Masques 0SMA

Boîtes + cahiers SB 0SBO

AUTRES FRAIS

Mission 0AMI

Licence logiciel 0ALI

Frais de port 0APO

Frais divers 0ADV

Exceptionnel 0AEX

Environnement personnel 0AEN

SALAIRE Salaires des CDD sur fonds propres 0PER

Tableau 2 : Code entité (feuille clef de répartition)

2.2.2 Coût complet d’amortissement des équipements

Dans notre calcul du coût complet, nous ajoutons le coût de l’amortissement de l’ensemble des équipements

de la centrale de technologie (Tableau 1). L’ensemble des éléments, équipement, année et coût d’achat,

localisation, sont reportés dans le fichier Excel « Tarification auditable » sur la feuille « Inventaire ».

Afin d’harmoniser notre mode de calcul entre les différentes tutelles, nous avons fait le choix de prendre en

considération l’amortissement dit économique des équipements qui est estimé sur la durée de vie moyenne

des équipements. La durée de vie moyenne prise en compte pour ce type d’équipement de haute technologie

a donc été fixée à 10 ans, qui est la durée moyenne de renouvellement de notre parc d’équipement.

Pour le calcul du coût complet de la salle blanche, nous avons fait le choix de diviser l’ensemble des

immobilisations des équipements en cours par un nombre d’heures théoriques d’utilisation. Le calcul du

nombre d’heures théoriques est basé sur un calcul utilisé dans le cadre du réseau RENATECH pour connaitre

le taux d’occupation de notre salle. Il est calculé de la façon suivante :

- Nombre d’heures théoriques est égale à : nombre de jours d’ouverture de la salle blanche x nombre

d’heures d’utilisation moyen par jour x nombre d’équipements réservables.

- Le nombre de jours d’ouverture est de 237 jours /an (hors week-end, jours fériés et fermeture annuelle)

- Le nombre d’heure moyen d’utilisation est considéré à 5h / jour

Le tableau récapitulant le calcul des amortissements se trouve sur la feuille « CC_amortissement ».

Le tableau suivant représente pour chaque produit de la centrale la valeur amortissable sur la période 2018 et

2019, le nombre d’équipement réservable et le nombre d’heures théoriques correspondantes. Nous avons

ensuite divisé chaque valeur amortissable par le nombre d’heure Renatech afin de trouver un coût horaire

moyen correspondant à l’amortissement.

Tableau 3 : Valeur amortissable sur la période 2018 - 2019 pour chaque produit

Remarque :

- Il n’est fait mention que des immobilisations avec un amortissement en cours. Les immobilisations

déjà amorties ne sont pas prise en compte dans le calcul. D’autre part les équipements achetés sur des

projets spécifiques, en particulier les projets FEDER ne seront pas pris en compte dans le calcul.

2.2.3 Coût des frais du personnel lié à l’activité de service de la centrale de technologie

(permanent et CDD payés sur subvention).

Il s’agit d’intégrer les frais de personnels travaillant dans la centrale de technologie pour la réalisation des

produits/prestations au prorata de leur implication. Nous considérons ici uniquement les personnels

Produit  AmortissementNombre

équipements

Heures

Renatech

théorique (UO)

Coût 

amortissement

unitaire

SB 754 286 € 37 87 690 8,60 €

SB long 77 775 € 7 16 590 4,69 €

Carac 94 915 € 9 21 330 4,45 €

Masque 70 000 € 1 2 370 29,54 €

HSB 85 866 € 6 14 220 6,04 €

Box 0 € 0 0 0,00 €

TOTAL 1 082 843 € 60 142 200 6,59 €

permanents et les personnels payés sur des subventions du type CPER ou RTB. La partie du personnel payé

sur fond propre de la centrale est pris en compte dans le coût complet de fonctionnement.

Remarque :

- Les ingénieurs de la centrale de technologie travaillent une partie de leur temps sur des projets de

recherche spécifiques de l’institut (projet ANR, projet européen, projet région, …) et une partie pour

les activités de service. Seule la partie de leur salaire correspondant à cette activité de service sera pris

en compte pour le calcul du coût complet.

- Pour les personnels permanent, nous avons considéré que la part de leur activité de service représentait

20 % de leur temps et que le reste soit 80 % de leur temps était consacré à des activités de recherche

spécifiques. Nous n’avons donc pris en compte que 20 % de leurs salaires chargés annuel dans le calcul

du cout complet pour tenir compte de cette activité de service.

- Pour les personnels permanents, dont une part de l’activité est soit lié à d’autre service, soit à d’autre

fonction dans l’institut (enseignement, recherche dans des équipes), seule la quote part de leur activité

correspondant à la centrale de technologie a été prise en compte dans le calcul.

2.3 Coût de fonctionnement : les clés de répartition

Afin de répartir les diverses charges de fonctionnement listées précédemment sur chacun des produits, nous

utiliserons trois clés de répartition différentes :

- L’heure d’utilisation des équipements du produit considéré (« heures »)

- La surface occupée par l’ensemble des équipements du produit considéré (« M2 »)

- La surface normalisée en fonction de la classe de propreté occupée par l’ensemble des équipements du

produit considéré (« M2 normalisé »).

Les principaux équipements de la salle blanche étant liées au système de réservation, nous pourrons facilement

leur appliquer une clé de répartition en fonction des heures d’utilisation.

Cependant comme certaines zones de la salle appelées « box » sont mises à disposition de partenaires

industriels ou académiques pour y installer leur propre équipement pour lesquels aucun système de réservation

n’est disponible, nous avons choisis de répartir les frais liés au fonctionnement global de la salle blanche en

fonction des M2 occupés par les équipements et non en fonction des heures de réservation. L’ensemble de ces

M2 sont déclaré dans la feuille « Locaux » et leur répartition en fonction de la clientèle dans la feuille « heures

par équipement »

D’autre part, certains coûts de fonctionnement d’une salle blanche sont dépendant de la classe de propreté de

la zone considérée, c’est pourquoi nous avons choisi pour certaines dépenses une clé de répartition qui dépend

de la classe de propreté de la salle où est installé l’équipement utilisé. En particulier le coût de la climatisation

(contrôle de la température et de l’hygrométrie de l’air soufflé) des salles est proportionnel aux taux de

renouvellement d’air. Or le renouvellement d’air d’une salle en classe ISO 7, est 2 fois plus important qu’en

classe ISO8. De la même façon pour une salle de classe ISO 6, le renouvellement d’air sera 4 fois plus

important et pour une classe ISO 5, 8 fois plus important

C’est pourquoi, nous avons choisi d’appliquer un ratio sur les coûts en fonction de la norme ISO de la salle.

Pour cela nous utiliserons comme clé de répartition des 2 normalisés ISO8 où nous multiplions les surfaces

des salles considérées par un coefficient multiplicateur qui dépend de la classe de propreté (Norme ISO). Le

calcul entre « M2 » et « M2 normalisé » est réalisé dans la feuille « Locaux » du fichier excel « tarification

auditable ».

Norme ISO Coefficient multiplicateur

ISO 8 1

ISO 7 2

ISO 6 4

ISO 5 8

Tableau 4 : Coefficient appliqué suivant la classe ISO pour passer des M2 au M2 normalisés.

Nous allons donc reprendre en détail ces trois clés de répartition

2.3.1 Clés de répartition liées aux heures d’utilisation des équipements

Pour ce calcul l’ensemble des heures d’utilisation des équipements sera pris en compte.

Le tableau ci-dessous synthétise le nombre d’heures d’utilisation pour chaque produit de la salle blanche.

Notons cependant que certains équipements de caractérisation ou des équipements utilisés en parallèle avec

d’autres équipements technologiques ne sont pas facturés, ils ne seront donc rattachés à aucun produit, nous

les avons donc comptabilisés dans ce tableau dans la ligne « NF ».

Tableau 5 : Nombre d’heure d’utilisation des équipements sur 2018 et 2019 suivant les produits.

2.3.2 Clés de répartition liées à la surface de la plateforme

Le tableau ci-dessous synthétise cette fois le nombre de M2 et de M2 normalisé ISO 8 affectés à chaque

produit de la centrale de technologie. Les M2 par type de produit sont calculés en fonction de l’implantation

des équipements dans la centrale. Les M2 normalisés sont ensuite calculés en fonction des coefficients du

Tableau 4.

Produit  UO TOTAL

SB h 18009,5

SB long h 2244,5

Carac h 1094,5

Masque h 1742

HSB h 2144,6

Box M2 34

NF h 3833

Total 29068,1

Total des UO par produit

Tableau 6 : M2 et M2 normalisé affectés aux produits.

2.4 Coût complet de fonctionnement : spécificités propres à certains postes de

dépense.

2.4.1 Commun salle blanche

Les charges affectées à cette rubrique sont réparties sur l’ensemble des activités « métier » de la plateforme

ayant lieu en salle blanche (lithographie, gravure, dépôt, etc.).

Si la dépense concerne également les box en salle blanche, la clé de répartition choisit sera soit les M2, soit

les M2 normalisé ISO 8.

Chaque fois que la dépense est en relation avec la climatisation de la salle qui dépend de la classe de propreté,

nous avons opté pour une clé de répartition en fonction des M2 normalisé ISO 8

Remarque :

- L’activité « hors salle blanche » n’est pas affectée par cette répartition. En effet les charges « commun

salle blanche » ne sont affectées qu’aux ressources présentes dans la salle blanche.

2.4.2 Autres frais, dépenses exceptionnelles et salaire des CDD

Les charges affectées à ces rubriques concernent l’ensemble des activités « métier » de la plateforme, elles

seront donc réparties en fonction des M2 occupés par les ressources technologiques concernées.

2.4.3 Fluides (coût de l’électricité)

L’électricité de la salle blanche est utilisée pour deux postes, un premier poste pour le fonctionnement du

système de traitement d’air de la salle blanche (à hauteur de 60 %) un deuxième poste pour le fonctionnement

des équipements (à hauteur de 40 %).

Cette répartition entre la partie climatisation et la partie équipement de la consommation électrique s’appuie

sur des mesures effectuées lors de l’arrêt des équipements pendant les périodes de fermeture annuelle.

Concernant les clés de répartition de ces deux dépenses, nous avons choisi de les répartir en fonction des M2

normalisé ISO 8 pour la part correspondant à la climatisation et en fonction des heures d’utilisation pour la

part correspondant aux équipements eux-mêmes.

Remarque :

- L’objet de coût « hors salle blanche » n’est pas affecté par cette répartition puisque cette ressource ne

se trouve dans un autre bâtiment.

Produit  M2 M2normaliséSB 273 671

SB long 50 103

Carac 47 126

Masque 10 33

HSB 9 16

Box 56 128

NF 185 565

Total 629 1643

2.4.4 Frais spécifiques à une ou plusieurs ressources technologiques

Lorsque des charges sont affectées à un seul produit, elles seront directement rattachées à ce produit, et lorsque

ces charges sont rattachées à plusieurs produits, ils seront répartis en fonction du nombre d’heure d’utilisation

de chacun des produits concernés.

2.4.5 Synthèse des clefs de répartition de chaque code entité en fonction des produits,

Le tableau suivant (feuille « présentation clé ») résume les diverses clés de répartition des charges liées aux

activités métier de la salle blanche. Chaque fois qu’une croix est mise dans le tableau cela signifie que le

produit correspondant est concerné par cette dépense.

Tableau 7 : Clefs de répartition en fonction des produits, des codes entités (feuille « clef de répartition »

dans le fichier excel)

2.4.6 Calcul final du coût de fonctionnement bi-annuel

La somme de chaque colonne du Tableau 7 correspond au coût de fonctionnement de chaque produit.

2.5 Les unités d’œuvre (UO)

Du fait de la diversité des ressources présentes dans les zones de la centrale de technologie et pour être en

cohérence avec les réalisations technologiques, 2 unités d’œuvre sont utilisées pour les produits :

- L’heure d’utilisation.

- Les M2 (pour la location des box).

Un facteur essentiel pour déterminer le coût complet de fonctionnement unitaire de chaque ressource est de

déterminer le cout de l’inducteur en fonction de l’unité d’œuvre choisi.

Le coût de l’inducteur de chaque produit/prestation est obtenu en utilisant la formule de calcul suivante :

(Somme des charges pour la réalisation de tous les produits/prestations identiques) / (Somme des unités

d’œuvres pour ces produit/prestations).

Consommables Polissage/Scie

Consommable fibre + wafer ,,, 0HCO x heures

Maintenance Polissage/Scie

Maintenance préventive 0HMP x heures

Maintenance corrective 0HMC x heures

Participation contrat Temis Science 0HA3 x heures

Electricité

Elec MMT (UFC + ENSMM) 60 % pour clim0FEL x x x x x x m2 normalisé

Elec MMT (UFC + ENSMM) 40 % pour équipement0FEL x x x heures

dépenses exeptionelles

0AEX x x x x heures

0EQU x x x x heures

Frais Wafers

Wafers 0SWA

Masques 0SMA

Boîtes + Cahiers SB, liners 0SBO

Consommables spécifiques sur projets0SCP

Autres Frais

Mission 0AMI x x x x x x heures

Refacturation infra x x x x x x heures

formation 0AFO x x x x x x heures

Licence logiciel (cadence) 0ALI x x x x x x heures

Frais de port 0APO x x x x x x heures

Frais divers 0ADV x x x x x x heures

Environnement personnel 0AEN x x x x x x heures

Salaire

Salaire Fond propre 0PER x x x x x x heures

Salaire CPER 0PER

2.6 Synthèse des coûts unitaires de fonctionnement

Le tableau suivant présente la synthèse des coûts horaire :

Tableau 8 : Synthèse des coûts unitaires de fonctionnement pour 2018-2019

Les tableaux de synthèse se trouvent dans la feuille « synthèse CC » du fichier excel « tarification auditable »

3 Tarifs

3.1 Tarification par typologie de clientèle

Afin de présenter un tarif adapté à chaque typologie de clientèle, nous avons déterminé deux tarifs pour chacun

des produits de la centrale de technologie:

- Tarif académique

- Tarif industriel

Le tarif académique correspond au coût de fonctionnement moins les subventions annuelles allouées par la

centrale.

Le tarif industriel correspond au coût de fonctionnement, auquel nous avons ajoutés le coût lié aux

amortissements, le coût du personnel permanent et CDD financés par le CPER et une marge éventuelle.

3.2 Tarif académique

Afin de faire fonctionner sa centrale de technologie, l’institut FEMTO-ST reçoit annuellement des subventions

du CNRS dans le cadre du financement des grands instruments de recherche (TGIR). Le montant de ces

subventions pour les années 2018 et 2019 s’élève à 730 713 €.

Une part de ces subventions est utilisée par la centrale de technologie pour son fonctionnement (installation

de nouveaux équipements, qualification des équipements, développements technologiques utiles à tous, petit

investissement d’équipement, etc.). Il s’agit des heures subventionnées dans la feuille « Tarif » du fichier excel

« tarification auditable ». De plus, pour réduire le coût d’accès à la salle blanche des projets de recherches

académiques, le tarif pourra être inférieur au coût de fonctionnement. Le coût de fonctionnement pour les

académiques sera donc diminué de cette part de subvention. Dans la feuille « Tarif », la soutenabilité de cette

politique est vérifiée.

Enfin, le reste de cette subvention annuelle nous permet également d’avoir un fond de roulement indispensable

au bon fonctionnement de la centrale (pour faire face aux aléas).

La répartition de ces subventions sur les divers produits sera donc la suivante (feuille « Tarif » :

Produit  UO

Coût 

fonctionnement

unitaire

Coût 

amortissement

unitaire

Coût salaire 

unitaire

Coût complet 

unitaire

SB h 60,81 € 8,60 € 12,91 € 82,32 €

SB long h 41,97 € 4,69 € 11,40 € 58,06 €

Carac h 76,57 € 4,45 € 17,75 € 98,77 €

Masque h 33,12 € 29,54 € 12,16 € 74,81 €

HSB h 25,76 € 6,04 € 12,45 € 44,25 €

Box m² 1 321,72 € 0,00 € 175,50 € 1 497,22 €

Total 50,23 € 6,59 € 11,53 € 68,35 €

Tableau 9 : Répartition des subventions pour le calcul du tarif académique

3.3 Tarif industriel

Pour le tarif industriel, le coût d’amortissement et le coût des salaires est rajouté au cout de fonctionnement.

Le tarif appliqué est le suivant (feuille « Tarif » :

Tableau 10 : Répartition des subventions pour le calcul du tarif académique

3.4 Tarif académique

L’ensemble des tarifs sont communiqués aux utilisateurs, que ce soit avec les conventions d’accueils des

extérieures ou le site intranet du laboratoire.

Produit  Tarif 2019

Coût 

fonctionnement

unitaire

Subvention (+) /

Marge (-) par

Unité d’Œuvre

Subvention (+) /

Marge (-) écart 

fonct. Tarif heures

facturées

Subvention

heures staff

coût 

fonctionnement

SB 49 60,81 € 11,81 € 103 609 € 380 297 €

SB long 17 41,97 € 24,97 € 21 074 € 44 446 €

Carac 11 76,57 € 65,57 € 44 295 € 25 040 €

Masque 52 33,12 € -18,88 € -18 350 € 12 139 €

HSB 30 25,76 € -4,24 € -5 843 € 4 315 €

Box 227 1 321,72 € 1 094,72 € 42 628 € 0 €

TOTAL 187 413 € 466 236 €

Produit  Tarif 2019Coût complet 

unitaire

Subvention (+) /

Marge (-) par

Unité d’Œuvre

Subvention (+) /

Marge (-) écart 

fonct. Tarif heures

facturées

SB 89 82,32 € -6,68 € -19 918 €

SB long 28 58,06 € 30,06 € 10 264 €

Carac 18 98,77 € 80,77 € 7 431 €

Masque 80 74,81 € -5,19 € -2 093 €

HSB 55 44,25 € -10,75 € -6 435 €

Box 700 1 497,22 € 797,22 € 13 553 €

TOTAL 2 803 €

Tableau 11 : Tarifs appliqués en 2020