edwardsvacuum.com EQUIPEMENTS DE VIDE POUR …€¦ · Assistance et service économiques délivrés par des experts 54 GUIDE DE ... EM/RV Pompes turbomoléculaires nEXT Stations

EQUIPEMENTS DE VIDE POUR LA RECHERCHE ET LE DEVELOPPEMENT

edwardsvacuum.com

La science : une vocationSolutions de vide complètes conçues pour des applications de laboratoire et de R&D.

Chez Edwards, nous avons une compréhension approfondie des processus de recherche et du rôle que le vide joue à chaque étape. Cette expérience, alliée à des technologies novatrices et une ingénierie collaborative, nous permet d'offrir une gamme complète de solutions de vide qui améliorent les performances d'un large éventail d'applications scientifiques.

Des petits laboratoires d'universités aux instituts de recherche et de développement d'envergure internationale, nos produits et notre expertise en applications œuvrent au profit du développement éducatif et de l'évolution scientifique dans le monde entier.

Cette brochure présente les produits Edwards les plus fréquemment utilisés dans une installation de laboratoire ou de R&D type. De nombreux autres produits sont disponibles dans notre catalogue produit, sur le site Web ou en contactant votre représentant vente local.

04 PRODUITS DE VIDE POUR LES APPLICATIONS PRINCIPALES

Pompes à vide et accessoires

42 MESURE Mesure de la pression et options d’affichage

46 COMPOSANTS ET MATERIELS Composants et matériels de vide pour la configuration d'un système de vide

52 SERVICE ET ASSISTANCE Assistance et service économiques délivrés par des experts

54 GUIDE DE RÉFÉRENCES Tableaux de conversion, unités et formules

TABLE DES MATIERES

Page 4

Nos produits de videNous proposons la plus vaste gamme de pompes primaires sèches et à joint d'huile. De par leur extrême fiabilité, leurs possibilités de performances et leur facilité d'entretien, ces pompes constituent aujourd'hui le standard de l'industrie. Pour les applications nécessitant un vide poussé, notre gamme complète de pompes turbomoléculaires à palier hybride et à suspension magnétique offre des vitesses de pompage comprises entre 47 et 4 300 ls-1.

Notre gamme de stations de pompage turbomoléculaire, associant une pompe primaire, une pompe turbomoléculaire et un contrôleur sous une forme compacte, ou notre pompe secondaire unique à étage Holweck et régénérateur à un seul arbre, fonctionnant de l'atmosphère à 10-6 mbar dans une seule unité, répondent parfaitement aux exigences d'une solution de pompage à vide poussé prête à l'emploi.

Pour les applications mettant en œuvre du vide très poussé (UHV) et du vide extrêmement poussé (XHV), notre gamme de pompes à fixation comprenant des pompes ioniques, des pompes à sublimation de titane et des pompes NEG (Non-Evaporable Getter) est la plus étendue. Les pressions atteintes s'élèvent à 10-11 mbar maximum.

Page 5

Produits de vide pour les principales applications

Pom

pes à

spira

les

sèch

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XDS/

XDS

Pom

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ls

Numéro de page 6 14 22 26 30 34 36 38 39 42 46

APPLICATIONS

Amorçage des pompes à diffusion ● ● ● ●

Amorçage des pompes turbomoléculaires ● ● ● ● ● ●

Concentrateurs centrifuges ● ● ● ●

Technologie de dépôt ● ● ● ● ● ● ● ●

Appareils de distillation et d'extraction ● ● ● ●

Microscopes électroniques ● ● ● ● ● ● ● ● ●

Lyophilisateurs ● ● ● ●

Hottes et boîtes à gants ● ● ● ●

Récupération et recirculation de gaz ● ● ● ● ● ● ●

Séchage de gel ● ● ● ●

Physique des hautes énergies ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

Pompage initial et régénération de pompes cryogéniques ● ● ● ● ● ● ● ●

Lasers ● ● ● ● ● ● ● ● ●

Détecteurs de fuites ● ● ● ● ● ●

Sas ● ● ● ● ● ●

Spectromètres de masse ● ● ● ● ● ● ● ●

Systèmes d'admission de spectrométrie de masse ● ● ● ●

Epitaxie par jet moléculaire ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

Analyse granulométrique ● ● ● ● ●

Réfrigération et climatisation ● ● ● ●

Evaporation rotative ● ● ● ●

Préparation d'échantillons ● ● ● ●

Science des surfaces ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

Systèmes UHV et XHV ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

Centrifugeuses ultra-rapides ● ● ● ●

Filtration sous vide ● ● ● ●

Fours sous vide ● ● ● ●

Page 6

VENTILATEUR A REGULATION DE TEMPERATURE

Permet de faire tourner le ventilateur à vitesse réduite quand la charge est faible pour une atténuation du bruit acoustique dès 52 dB(A).

FLASQUE DE ROULEMENT

Séparation des gaz de procédé et de la lubrification du roulement pour un vide propre et l'absence absolue de contamination de la lubrification par les gaz de procédé au profit de la longévité du roulement.

VARIATEUR DE VITESSE

Avantages : performances constantes globales, simplicité de commande, consommation électrique moindre et réglage automatique de la tension pour une expérience utilisateur exceptionnelle.

AMELIORATION DE LA CONCEPTION DES SPIRALES

Vitesses supérieures et une décade de pressions limites de moins que la première génération de pompes à spirales avec une limite dès 7 x 10-3 mbar

TECHNOLOGIE DE JOINT D'EMBOUT AMELIOREE

Changement radical avec une durée de vie type du joint d'embout de plus de 2 ans sur la plupart des applications.

FONCTION DE LEST D'AIR A DEBIT ELEVE

Pompage possible de vapeurs, dont la vapeur d'eau jusqu'à 220 gh-1.

POMPES A SPIRALES nXDS

Fortes de leur capacité de pompage exceptionnelle, de leurs performances de vide limite optimales et de leurs fonctions de conception de pointe, les pompes à spirales sèches nXDS sont les plus performantes de leur catégorie.

La gamme nXDS propose des pompes à spirales améliorées. Elle offre des vitesses de pompage plus élevées, des pressions limites plus basses, une faible consommation d'énergie et un niveau de bruit réduit. Le lest d'air permet de pomper des vapeurs condensables, dont de l'eau, des solvants, des acides et des bases dilués. Les pompes nXDS intègrent les développements les plus récents de la technologie de joint d'embout, qui permettent d'accroître significativement la durée entre deux changements de joints.

Le modèle nXDS-C a été modifié pour une meilleure adaptation aux applications traitant des vapeurs ainsi que certaines applications de pompage mettant en jeu des substances et des particules corrosives. Cette version résistante aux produits chimiques dispose de vannes internes Chemraz® et de raccords en acier inoxydable. Le lest d'air de la pompe nXDS-R est obstrué de façon à empêcher toute ouverture accidentelle. Cette fonction s'avère utile pour les applications de recirculation de gaz rares ou de récupération de gaz.

SPECIFICITES DU PRODUIT

Chemraz® est une marque déposée de Greene Tweed

Page 7

Unités nXDS6i nXDS10i nXDS15i nXDS20i

CARACTERISTIQUES DU VIDE Vitesse de pompage maximale m3h-1 (cfm) 6,2 (3,6) 11,4 (6,7) 15,1 (8,9) 22,0 (13,0)

Vide limite (1) mbar (torr) 0,02 (0,015) 0,007 (0,005) 0,03 (0,022)

Vide limite avec lest d'air mbar (torr) 0,05 (0,038) 0,04 (0,03) 0,06 (0,045)

Tolérance à la vapeur d'eau mbar (torr) 35 (26) 20 (15)

Capacité de traitement de la vapeur d'eau gh-1 110 145 220

Pression d'admission continue maximale (2) mbar a (torr a) 200 (150) 50 (38)

Pression maximale de lest d'air/purge bar relatif (psig) 0,5 (7)

CARACTERISTIQUES DU MOTEURTension d'alimentation V 100-127/200-240 (+/-10%)

Fréquence d'alimentation Hz 50/60

Vitesse de rotation nominale tr/min 1 800

Vitesse de rotation minimale en veille tr/min 1 200

Résolution de commande de vitesse % 1

Puissance à la limite W 260 280 300 260

Puissance du moteur W 660

Connecteur d'alimentation IEC EN60320 C13

Fusible recommandé, 230 V (115 V) A 10 (13)

CARACTERISTIQUES PHYSIQUESPoids kg (lb) 26,2 (58) 25,8 (57) 25,2 (56) 25,6 (56)

Raccord à l'admission NW25

Raccord au refoulement NW25

Niveau sonore à la limite dB(A) 52

Niveau sonore avec protection acoustique dB(A) 47

Vibration au niveau de la bride d'admission mms-1 (eff.) < 4,5

Etanchéité (statique) mbar ls-1 < 1 x 10-6

Plage de températures de fonctionnement °C (°F) 10 à 40 (50 à 104)(1) mesuré en tant que pression totale.(2) Ces pompes sont conçues pour pomper à partir de la pression atmosphérique, mais un fonctionnement prolongé à des pressions d'admission dépassant les

valeurs spécifiées risque de réduire la durée de vie des roulements.

Caractéristiques techniques

PRODUITS DE VIDE POMPES A SPIRALES SECHES nXDS

Page 8

Performance

A. (4x) Encoches de 9 mm de large B. (4x) Pieds en caoutchouc

Toutes les versions nXDS ont la même taille physiqueDimensions en millimètres (pouces)

nXDS15i nXDS20i

1. Vitesse de pompage normale2. Puissance maximale normale3. Vitesse GB normale4. Puissance min. en veille5. Vitesse en veille min.

347 (13.66)

225 (8.86 )432 (17.01)

265 (10.43)189 (7.44)

149 (5.9)55 (2.16)

285

(11.

22)

145

(5.1

7)

160

(6.3

0)26

6 (1

1.26

)30

2 (1

1.89

)

A B

120

(4.7

2)

230 (9.06)295 (11.61)

0

2

4

6

8

10

12

14

16

0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000

0

100

200

300

400

500

600

700

800

CS/1

040/

A

(mbar)

(m3 h-1

)

(W)

123

45

0

5

10

15

20

25

0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000

0

200

400

600

800

1000

CS/1

041/

A

(mbar)

(m3 h-1

)

(W)

123

45

Dimensions

CS/1

038/

A

0

1

2

3

4

5

6

7

8

0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000 (mbar)

0

50

100

150

200

250

300

350

400

(m3 h-1

)

(W)

123

45

nXDS6i nXDS10i

0

2

4

6

8

10

12

0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000

0

100

200

300

400

500

600

CS/1

039/

A

(mbar)

(m3 h-1

)

(W)

123

45

Page 9

Informations de commande

nXDS avec accessoires communs

Produit Extension à 2 ans Extension à 3 ans

nXDS6i EW2AA5001 EW3AA5001




Silencieux NW25

Adaptateur de lest d'air vide

Filtre à l'aspiration/au refoulement NW25/NW25

Adaptateur de lest d'air

Supports anti-vibratoires (paquet de 4)

Description du produit N° de commande

Accessoires

TIC (turbo) 200 W D39712000

TIC (Turbo et Instruments) 200 W D39722000Filtre à l’aspiration/au refoulement NW25 A50597805

Adaptateur de lest d'air vide A73501806Adaptateur de lest d'air avec restricteur de 0,25 mm A73501809

Adaptateur de lest d'air sans restricteur A73501811

Silencieux NW25 A50597000Supports anti-vibratoires (paquet de 4) A24801441

Protection acoustique 110-120 V NRY5C0000

Protection acoustique 200-240 V NRD797000

Pièces détachées

Kit de joint d'embout A73501801

Kit roulements (1) A73501802Kit de vanne de lest d’air et de refoulement (standard et version R) A73501803

Kit de vanne de lest d’air et de refoulement (version C uniquement) A73501804

Kit de conversion pompe chimique pour nXDS6i, 10i ou 15i A73501807

Kit de conversion pompe chimique pour nXDS20i A73501808

Pièces détachées de filtre à l’aspiration/au refoulement - élément de 5 microns

A50597802

Pièces détachées de filtre à l’aspiration/au refoulement - élément de 1 micron

A50597803

Kit pour silencieux A50597800

Ventilateur de refroidissement A73501707

Bouton de contrôle du lest d’air A73501059

Cordons de raccordement

Fiche britannique 3 broches A50505000

Fiche Europe A50506000

Fiche Amérique du Nord A50507000

Sans fiche A50508000(1) Outillage et formation requis.

Pompes :

Accessoires et pièces détachées :


Produit standard

nXDS6i A73501983

nXDS10i A73601983

nXDS15i A73701983

nXDS20i A73801983

Versions résistantes à la corrosion (C)

nXDS6iC A73502983

nXDS10iC A73602983

nXDS15iC A73702983

nXDS20iC A73802983

Versions sans lest d'air (R)

nXDS6iR A73503983

nXDS10iR A73603983

nXDS15iR A73703983

nXDS20iR A73803983

Extension de garantie :

PRODUITS DE VIDE POMPES A SPIRALES SECHES nXDS

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POMPES A SPIRALES SECHES XDS

FLASQUE DE ROULEMENT

Séparation des gaz de procédé et de la lubrification du roulement pour un vide propre et l'absence absolue de contamination de la lubrification par les gaz de procédé au profit de la longévité du roulement.

VARIATEUR DE VITESSE

Avantages : performances constantes globales, protection contre les surcharges de la pompe et fonction marche/arrêt à distance.

FONCTION DE LEST D'AIR A DEBIT ELEVE

Pompage possible de vapeurs, dont la vapeur d'eau jusqu'à 240 gh-1.

MOTEUR A ESPACE D'AIR AXIAL UNIQUE

Réduction de la taille globale de la pompe, puissance et bruit moindres.

CONCEPTION SIMPLE A SPIRALE SUR UN SEUL CÔTÉ

Entretien rapide pour de faibles frais d’investissement et une durée opérationnelle maximale.


Les pompes à spirales sèches XDS sont devenues le standard de l'industrie partout où un pompage sec est essentiel, car cette solution de pompes à vide propre et robuste a fait ses preuves dans un grand nombre d'applications et de procédés.

Les pompes XDS35i utilisent un flasque de roulement novateur qui isole l'environnement de vide de toutes les formes de lubrifiants, mais le rend également hermétique. La fonction de lest d'air a été retirée de la variante XDS35iNGB pour les applications telles que la recirculation de gaz rares et la récupération de gaz.

Le modèle C a été modifié pour une meilleure adaptation aux applications traitant des vapeurs ainsi que certaines applications de pompage mettant en jeu des substances et des particules corrosives. La version C dispose de vannes internes Chemraz® et d’un raccord de refoulement en acier inoxydable.

La pompe XDS46i partage de nombreuses caractéristiques avec la XDS35i, mais présente un débit maximal de 40 m3h-1. La pompe a été optimisée pour une vitesse de pompage maximale à des pressions d’aspiration comprises entre 1 mbar et 10 mbar. Elle est ainsi parfaitement adaptée à l'amorçage des pompes turbomoléculaires.

Chemraz® est une marque déposée de Greene Tweed

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Unités XDS35i XDS46i

CARACTERISTIQUES DU VIDEVitesse de pompage maximale m3h-1 (cfm) 35 (21) 40 (23,5)

Vide limite (1) mbar (torr) 0,01 (0,008) 0,05 (0,04)

Vide limite avec lest d'air 1 mbar (torr) 0,02 (0,015) 0,08 (0,06)

Vide limite avec lest d'air 2 mbar (torr) 10 (7,5)

Tolérance à la vapeur d'eau mbar (torr) 35 (23) 40 (30)

Capacité de traitement de la vapeur d'eau gh-1 240

Pression d'admission continue maximale (2) mbar a (torr a) 40 (30)


CARACTERISTIQUES DU MOTEURTension d'alimentation V 100-120/200-240 (+/- 10%)


Vitesse de rotation nominale tr/min 1 750

Puissance à la limite W 440 380

Puissance du moteur W 520

Connecteur d'alimentation IEC EN60320 C19

Fusible recommandé, 230 V (115 V) A 16 (3) (20)

CARACTERISTIQUES PHYSIQUESPoids kg (lb) 48 (105)



Niveau sonore à la limite dB(A) 57 55,4

Niveau sonore avec protection acoustique dB(A) 48 46,4Vibration au niveau de la bride d'admission mms-1 (eff.) < 4,5

Etanchéité (statique) mbar ls-1 < 1 x 10-6

Plage de températures de fonctionnement °C (°F) 10 à 40 (50 à 104)(1) mesuré en tant que pression totale(2) Ces pompes sont conçues pour pomper à partir de la pression atmosphérique, mais un fonctionnement prolongé à des pressions d'admission dépassant les

valeurs spécifiées risque de réduire la durée de vie des roulements.(3) pour le 240 V au Royaume-Uni, utiliser un fusible de 13 A

Pompes à spirales XDSPRODUITS DE VIDE

POMPES A SPIRALES SECHES XDS


Page 12

A. NW40B. NW25

1. Vitesse 2. Puissance

B

A

333 (13.11)180 (7.09)

130 (5.12)

50 (1.97)

476 (18.74)353 (13.90)

212 (8.35)Ø18

7 (0

.28)

396

(15.

59)

223

(8.7

8)

240 (9.45)304 (11.97)

Dimensions

PerformanceXDS35i XDS46i

(m3 h-1

)

XDS35i

(mbar)

(Pa)

10-30

5

15

10

20

25

30

35

40

10210110010-110-2 103

10210110010-1 103 104 105

1

2

(Pa)

(mbar)

XDS46i

(W)

10210110010-1 103

102101 103 104 105

(m3 h-1

)

0

5

15

10

20

25

30

35

40

45

1

2

2.5

2.0

1.5

1.0

0.5

0

Page 13


Produit standardXDS35i A73001983

XDS46i A73101983

Versions résistantes à la corrosion (C)

XDS35iC A73006983

XDS46iC A73106983

Versions sans lest d'air (NGB) XDS35i-NGB A73005983


Accessoires

Silencieux d'échappement XDS35i A50597001Adaptateur de lest d'air avec restricteur de 0,25 mm A50626801

Adaptateur de lest d'air sans restricteur A50502000

Supports anti-vibratoires (paquet de 4) A24801408

Filtre à l'aspiration/au refoulement NW25 A50597805

Filtre à l'aspiration/au refoulement NW40 A50597806

Protection acoustique XDS 110-120 V NRY5C0000

Protection acoustique XDS 200-240 V NRD797000

Pièces détachées

Kit de joint d'embout XDS35i A73001801

Kit de joint d'embout XDS46i A73101801

Kit pour silencieux A50597801Kit pour filtre XDS, élément de 5 microns A50597802

Kit pour filtre XDS, élément de 1 micron A50597803




Fiche Amérique du Nord/Japon A50507003

Sans fiche A50508003


XDS35i EW2AA5005 EW3AA5005

XDS46i EW2AA5006 EW3AA5006



Informations de commandePompes :

PRODUITS DE VIDE POMPES A SPIRALES SECHES XDS

Filtre à l'aspiration NW40

Bouton de lest d'air

Filtre au refoulement NW25

Silencieux

Supports anti-vibratoires (paquet de 4)

Adaptateur de lest d'air

Page 14

HUILES DE HAUTE QUALITE

Présence d'additifs pour prolonger la durée de vie sans impacter la tension de vapeur.

GRANDE CAPACITE DE TRAITEMENT DE LA VAPEUR D'EAU

Vanne de lest d'air.

PAS DE CABLAGE CLIENT

Connecteur IEC intégral.

INSPECTION VISUELLE DU NIVEAU ET DE L'ETAT DE L’HUILE

Voyant d’huile à joint torique.

BASSE TEMPERATURE DE SURFACE

Refroidissement par air forcé.

MOTEURS A VASTE PLAGE DE TENSIONS

Couverture de tous les principaux pays avec moins de variantes.


POMPES ROTATIVES A PALETTES A JOINT D'HUILE EM

Les pompes rotatives à palettes à joint d’huile à un et deux étages EM sont renommées pour parvenir à un vide limite élevé et des vitesses de pompage élevées tout en fonctionnant silencieusement et en conservant une taille compacte. La fiabilité des performances à long terme de ces pompes a fait ses preuves dans un certain nombre d'applications scientifiques et de laboratoire. Elles sont le complément parfait des pompes turbomoléculaires.

Page 15

Unités E2M0.7 E2M1.5 E1M18 E2M18 E2M28

CARACTERISTIQUES DU MOTEURVitesse de pompage maximale, 50 Hz (60 Hz) m3h-1 (cfm) 0,75 (0,5) 1,6 (1,2) 17 (12,1) 17 (12,1) 27,5 (19,5)

Vide limite(1) mbar (torr) 3 x 10-3 (2,3 x 10-3) 1 x 10-3 (7,5 x 10-4)

Pression limite avec lest d'air mbar (torr) 2 x 10-1 (1,5 x 10-1)

2,5 x 10-2 (1,9 x 10-2)

6,5 x 10-1 (4,8 x 10-1) 1,5 x 10-2 (1,1 x 10-2)

Pression limite avec huile PFPE mbar (torr) 3 x 10-1 (2,3 x 10-1)

1 x 10-2 (7,5 x 10-3)

1 x 10-2 (7,5 x 10-3)

Tolérance à la vapeur d'eau mbar (torr) 15 (11) 50 (38) 20 (15) 30 (23)Capacité de traitement de la vapeur d'eau gh-1 8 16 650 300 700

Pression d'admission continue maximale mbar a (torr a) 1 013 (760)


CARACTERISTIQUES DU MOTEURTension d'alimentation V 100-120/200-240 (+/- 10%) 115/200-230 (+/- 10%)


Puissance moteur, 50 Hz (60 Hz) W 90 (90) 160 (160) 550 (750) 750 (900)Vitesse de rotation nominale, 50 Hz (60 Hz) tr/min 1 400 (1 700) 2 800 (3 400) 1 440 (1 720)

Connecteur d'alimentation (2) IEC EN60320 C13 IEC EN60320 C19

Fusible recommandé, 230 V (115 V) A 6 (10) 15 (3) (25)

CARACTERISTIQUES PHYSIQUESPoids kg (lb) 10 (22) 37 (82) 39 (86) 44 (97)

Type d'huile (recommandé) Ultragrade 15 Ultragrade 19

Charge d'huile (min - max) litre 0,2 - 0,28 0,9 - 1,4 0,75 - 1,05 1,2 - 1,5

Raccord à l'admission NW10 NW25

Raccord au refoulement (4)Embout de 11 mm de diamètre extérieur enfichable sur prise

taraudée 3/4 BSP

Embout de 15 mm de diamètre extérieur enfichable sur prise taraudée 3/4 BSP

Niveau sonore à la limite (50 Hz) dB(A) 43 54 57Niveau sonore avec protection acoustique dB(A) 36 47 50

Vibration au niveau de la bride d'admission mms-1 (eff.) Aucune donnée < 4,5

Plage de températures de fonctionnement ˚C (˚F) 12 à 40 (54 à 104) 13 à 40 (55 à 104)

(1) mesuré en tant que pression totale (2) pompes listées avec fiche IEC uniquement (3) pour le 240 V au Royaume-Uni, utiliser un fusible de 13 A(4) versions PFPE fournies avec raccord de refoulement NW25

E2M0.7 E2M1.5 E1M18 E2M18 E2M28


PRODUITS DE VIDE POMPES ROTATIVES A PALETTES A JOINT D'HUILE EM

Page 16

E1M18/E2M18 et E2M28

E2M0.7/E2M1.5

E1M18/E2M18 et E2M28

1

142

(5.5

9)

226.

5 (8

.91)

3

2

323 (12.71)

155

(6.1

0)16

6.5

(6.5

5)75 (2.95)

140 (5.51)

134 (5.27)

19 (0

.75)

25 (0

.98)

30 (1

.18)

46.5 (1.83)54 (2.12)

C D E FG

A12 (0.72)

H

J

K

39 (1

.54)

43 (1

.69)

47 (1

.85)

B

A B C D E F G H J K

E1M18 504 (19,84) 247 (9,72) 10 (0,39) 260 (10,24) 83 (3,27) 20 (0,79) 251 (9,88) 170 (6,69) 159 (6,26) 27,4 (1,08)

E2M18 550 (21,65) 295 (11,61) 10 (0,39) 260 (10,24) 131 (5,16) 20 (0,79) 251 (9,88) 170 (6,69) 207 (8,15) 27,4 (1,08)

E2M28 584 (22,99) 331 (13,03) 13 (0,51) 347 (13,66) 111 (4,37) 20 (0,79) 251 (9,88) 170 (6,69) 240,5 (9,47) 25,5 (1,00)

10210110010-110-210-310-4

60Hz

(Torr)

101

100

10-1

10-2

�3 min

-1

12

E1M1.51E2M0.7

10210110010-110-210-3 (mbar)103

10210110010-1 105104 (Pa)103

50Hz

101

100

10-1

10-2

m3 h-1

12

E1M1.51E2M0.7

�3min

-1

60Hz

102

101

100

10-1

10-4 10210110010-110-210-3 103 (Torr)

12

E2M18

12

E2M28

50Hz

102

101

100

10-1

10210110010-110-210-3

10210110010-1 104103

(mbar)

(Pa)

m3 h-1

12

E2M18

12

E2M28

Pompe monophasée illustrée,pompe triphasée similaire.

1. Moteur 220-240 V2. Poignée (amovible)3. Position alternative de

l'orifice d'admission

1. sa

ns le

st d

'air

2. a

vec

lest

d'a

ir

Dimensions

PerformanceE2M0.7 et E2M1.5

Page 17

Description du produitN° de commande

Huile Ultragrade Huile PFPEE2M0.7 200-230 V, monophasé, 50/60 Hz, connecteurs IEC 60320 A37141919 -E2M0.7 100-120 V, monophasé, 50/60 Hz, connecteurs IEC 60320 A37141902 -E2M1.5 200-230 V, monophasé, 50/60 Hz, connecteurs IEC 60320 A37132919 -E2M1.5 100-120 V, monophasé, 50/60 Hz, connecteurs IEC 60320 A37132902 -E1M18 200-230/380-415 V, triphasé, 50 Hz ou 200-230/460 V, triphasé, 60 Hz A34310940 -E1M18 115/200-230 V, monophasé, 50/60 Hz avec connecteur IEC60320, réglé en usine sur 230 V A34317984 A34325984

E2M18 200-230/380-415 V, triphasé, 50 Hz ou 200-230/460 V, triphasé, 60 Hz A36310940 A36321940E2M18 115/200-230 V, monophasé, 50/60 Hz avec connecteur IEC60320 A36317984 A36325984E2M28 HC IE3 EU/US 50/60 Hz, 380-400 V triphasé, 50 Hz ou 230/460 V triphasé, 60 Hz A37333940 A37343940E2M28 HC IE3 Asie 50/60 Hz, 200 V triphasé, 50/60 Hz ou 380 V triphasé, 60 Hz A37333934 A37343934E2M28 115/200-230 V, monophasé, 50/60 Hz avec connecteur IEC60320 A37317984 A37325984


Produit Description du produit N° de commande

E2M0.7/1.5

AccessoiresCondenseur de brouillard d'huile - EMF3 A46220000Adaptateur BSP NW10 x 3/8" A23908064Supports anti-vibratoires (paquet de 4) A24801407

Pièces détachéesKit d'entretien - E2M0.7/1.5 A37101131Kit palettes - E2M0.7/1.5 A37101132

HuileUltragrade 15, bouteille de 1 litre H11026015Ultragrade 15, bouteille de 4 litres H11026013


Fiche britannique 3 broches A50505000Fiche Europe A50506000Fiche Amérique du Nord/Japon A50507000Sans fiche A50508000

E1M18/ E2M18/ E2M28

Accessoires

Condenseur de brouillard d'huile - EMF20 (1) A46229000Condenseur de brouillard d'huile - MF30 A46233000Adaptateur tube alésé NW25 à 28 mm C10520201Adaptateur de sortie ¾" BSP à NW25 C10501414Supports anti-vibratoires E1M18/E2M18 (paquet de 4) A24801404Supports anti-vibratoires E2M28 (paquet de 4) A24801412Protection acoustique 110-120 V NRD317000Protection acoustique 200-240 V NRD318000

Pièces détachées

Kit d'entretien - E1M18/E2M18 A36301131Kit palettes - E1M18 A34301041Kit palettes - E2M18 A36301020Kit d'entretien - E2M28 A37301131Kit palettes - E2M28/30 A37301135

Huile

Ultragrade 19, bouteille de 1 litre H11025015Ultragrade 19, bouteille de 4 litres H11025013Fluide Fomblin® YVAC 06/6 1 kg (532 ml) H11301019Fluide Fomblin® YVAC 06/6 5 kg (2 660 ml) H11301020


Fiche britannique 3 broches A50505003Fiche Europe A50506003Fiche Amérique du Nord/Japon A50507003Sans fiche A50508003

(1) Convient à EM18 et E2M28 pour des applications à débit faible



E2M0.7 EW2AA5013 EW3AA5013

E2M1.5 EW2AA5014 EW3AA5014

E1M18 EW2AA5023 EW3AA5023

E1M18 PFPE EW2AA5024 EW3AA5024







PRODUITS DE VIDE POMPES ROTATIVES A PALETTES A JOINT D'HUILE EM

Page 18

COMMUTATEUR DE SELECTION DE MODE UNIQUE

Vide poussé et débit élevé à partir d'une seule pompe.

DEBIT ELEVE DE LEST D'AIR

Capacité de pompage de vapeur d'eau jusqu'à 220 gh-1.

VANNE D'ADMISSION A REACTION RAPIDES

Ouverture contrôlée pour protéger le système.

HUILES DE HAUTE QUALITE

Présence d'additifs pour prolonger la durée de vie sans impacter la tension de vapeur.

BRUIT REDUIT

48 dB(A) seulement.

VOYANT D’HUILE A JOINT TORIQUE

Inspection visuelle du niveau et de l'état de l’huile.

REFROIDISSEMENT PAR AIR FORCE

Basse température de surface de la pompe.


POMPES ROTATIVES A PALETTES RV

Les pompes à joint d'huile RV constituent depuis de nombreuses années le standard de l'industrie en matière de pompes rotatives à palettes destinées aux applications de laboratoire, et ce, grâce à leurs fonctions de conception qui rendent leur exploitation et leur maintenance économiques par rapport à d'autres pompes rotatives.

Le sélecteur de mode unique permet d'utiliser une pompe à la fois pour des applications à débit élevé et de vide poussé. Mécanisme d'auto-centrage, aucun bouton à régler, remplacement possible de tous les composants, grande capacité de pompage de la vapeur et vaste gamme d'accessoires : autant d'atouts qui font des pompes RV la meilleure suggestion à long terme pour les applications de laboratoire.

Page 19

Unités RV3 RV5 RV8 RV12

CARACTERISTIQUES DU VIDEVitesse de pompage maximale, 50 Hz (60 Hz) m3h-1 (cfm) 3,3 (2,3) 5,1 (3,6) 8,5 (5,9) 12 (8,4)

Vide limite (1) mbar (torr) 2,0 x 10-3 (1,5 x 10-3) ; 2,0 x 10-2 (1,5 x 10-2) avec huile PFPE

Vide limite avec lest d'air 1 mbar (torr) 3,0 x 10-2 (2,3 x 10-2)

Vide limite avec lest d'air 2 mbar (torr) 1,2 x 10-1 (9,1 x 10-2)

6,0 x 10-2 (4,6 x 10-2)

1,2 x 10-1 (9,1 x 10-2)

Vide limite en mode débit élevé mbar (torr) 3,0 x 10-2 (2,3 x 10-2)

Tolérance à la vapeur d'eau mbar (torr) 80 (60) 50 (38) 60 (45) 32 (24)

Capacité de traitement de la vapeur d'eau gh-1 220 290

Pression d'admission continue maximale (2) mbar a (torr a) 1 013 (760)


CARACTERISTIQUES DU MOTEURPuissance du moteur, monophasé (nominale), 50 Hz (60 Hz) W 450 (550)

Puissance du moteur, triphasé, 50 Hz (60 Hz) W 250 (300) 450 (550)

Vitesse de rotation nominale, 50 Hz (60 Hz) tr/min 1 470 (1 760)

CARACTERISTIQUES PHYSIQUESPoids kg (lb) 25 (55) 28 (61,6) 29 (63,8)

Type d'huile (recommandé) Ultragrade 19

Charge d'huile (min - max) litres 0,42 - 0,7 0,45 - 0,75 0,65 - 1,0



Niveau sonore à la limite (50 Hz) dB(A) 48

Niveau sonore avec protection acoustique (50 Hz) dB(A) 41

Vibration au niveau de la bride d'admission mm-1 (eff.) < 4,5

Plage de températures de fonctionnement °C (°F) 12 à 40 (54 à 104)(1) mesuré en tant que pression totale(2) la pompe doit être actionnée en mode débit élevé pour un fonctionnement sans interruption au-dessus de 100 mbar


PRODUITS DE VIDE POMPES ROTATIVES A PALETTES RV

Page 20

RV8/RV12 60 HzRV8/RV12 50 Hz

RV3/RV5 60 Hz

PerformanceRV3/RV5 50 Hz

Dimensions

A B C D E F

RV3 430 (16.93) 158 (6.22) 225 (8.86) 156 (6.41) 111 (4.37) 29 (1.14)

RV5 430 (16.93) 158 (6.22) 225 (8.86) 156 (6.41) 111 (4.37) 29 (1.14)

RV8 470 (18.50) 158 (6.22) 225 (8.86) 196 (7.72) 111 (4.37) 35 (1.38)

RV12 490 (19.29) 158 (6.22) 225 (8.86) 216 (8.50) 111 (4.37) 35 (1.38)

Schéma de pompe monophasée illustré. Les pompes triphasées ont un aspect différent, mais ont les mêmes dimensions.Dimensions indiquées en mm (pouces).

1. Support de levage (pompes RV8 et RV12 uniquement ; une poignée de transport est montée sur les pompes RV3 et RV5).2. Interrupteur de marche-arrêt (pompes monophasées uniquement).

10-3 10110010-110-2 102 103

10410110010-1 105102 103

100

10-1

101

(m3 h-1

)

10-2

(mbar)

(Pa)

123

RV3123

RV5

50Hz

10-3 10110010-110-2 102 103 (Torr)

101

100

(ft3 m

in-1

)

123

RV3123

RV5

60Hz10-1

10-3 10110010-110-2 102 103

10410110010-1 105102 103

101

100

102

(m3 h-1

)

10-1

(mbar)

(Pa)

123

RV8123

RV12

50Hz

10-210-3 10110010-110-2 102 103 (Torr)

101

100(ft3 m

in-1

)

123

RV8123

RV12

60Hz10-1

1. Mode vide poussé, lest d'air = 02. Mode débit élevé, lest d'air = 0, mode vide poussé, lest d'air = I3. Modes débit élevé et vide poussé, lest d'air = II

AB C

32 (1

.26)

37 (1

.46)

230 (9.06)

78 (3)

225

(8.8

6)

4 (0

.16)

4 (0

.16)120 (4.72)

158 (6.22)

5 (0

.2)

1

2

Page 21



RV3 EW2AA5015 EW3AA5015

RV3 PFPE EW2AA5016 EW3AA5016








N° de commande

Huile Ultragrade

Préparée PFPE (1)

RV3

115/230 V, 50/60 Hz réglé sur 230 V A65201903 A65209903

100/200 V, 50/60 Hz A65201904 A65209904

200-220/380-415 V, 50 Hz 200-230/460 V, 60 Hz, triphasé A65201905 A65209905

115/230 V, 50/60 Hz réglé sur 115 V A65201906 A65209906

RV5

115/230 V, 50/60 Hz réglé sur 230 V A65301903 A65309903

100/200 V, 50/60 Hz A65301904 A65309904


115/230 V, 50/60 Hz réglé sur 115 V A65301906 A65309906

RV8

115/230 V, 50/60 Hz réglé sur 230 V A65401903 A65409903

100/200 V, 50/60 Hz A65401904 A65409904


115/230 V, 50/60 Hz réglé sur 115 V A65401906 A65409906

RV12

115/230 V, 50/60 Hz réglé sur 230 V A65501903 A65509903

100/200 V, 50/60 Hz A65501904 A65509904


115/230 V, 50/60 Hz réglé sur 115 V A65501906 A65509906

(1) Fluide PFPE non inclus


Accessoires

Piège à alumine - FL20K A13305000

Condenseur de brouillard d'huile - MF10 A46226000

Condenseur de brouillard d'huile - MF20 A46229000

Kit de retour d'huile pour applications propres A50419000

Kit de retour d'huile avec lest d'air réglable A50523000

Supports anti-vibratoires (paquet de 4) A24801404



Pièces détachées

Kit d'entretien A65201131

Kit palettes RV3 A65201130




Huile

Ultragrade 19, bouteille de 1 litre H11025015

Ultragrade 19, bouteille de 4 litres H11025013

Fluide Fomblin YVAC 06/6 1 kg (532 ml) H11301019

Fluide Fomblin YVAC 06/6 5 kg H11301020

Cordons de raccor-dement



Fiche Amérique du Nord A50507000

Sans fiche A50508000

Des pompes équipées de moteurs homologués ATEX sont disponibles, contactez Edwards pour plus d'informations Les pompes sont livrées avec une charge initiale d'huile Ultragrade.


Condenseur de brouillard d'huile

Kit de retour d'huile avec lest d'air

Piège à alumine

Câble

Supports anti-vibratoires


PRODUITS DE VIDE POMPES ROTATIVES A PALETTES RV

Page 22

PALIER MAGNETIQUE SUPERIEURVide propre, faible consommation et vibrations réduites.

ECRAN D’ASPIRATIONEn standard (non illustré).

CONCEPTIONS DE ROTOR OPTIMISEESVitesses et taux de compression élevés.

GAMME DE MODELES ADAPTEE A DE NOMBREUSES APPLICATIONSD = variante de pompe nEXT standard. H = conception de rotor optimisée pour un haut taux de compression des gaz légers T = étage régénérateur supplémentaire pour une compression accrue et une pression de refoulement supérieure.

VANNE DE REMISE A L'AIR MANUELLESystème de remise à l’air sans risque d'endommagement de la pompe et remplacement possible par une électrovanne pour une remise à l'air entièrement automatisée.

CONTROLEUR INTEGREE/S directe ou contrôle série ; possibilité de connexion à l'un de nos contrôleurs TAG ou TIC pour une systématisation aisée.

MAINTENANCE ENTIEREMENT REALISABLE PAR L'UTILISATEURLa cartouche d'huile et les roulements peuvent être remplacés sur site avec un minimum d'outillage.


POMPES TURBOMOLECULAIRES nEXT

Les pompes turbomoléculaires nEXT sont des pompes à palier hybride dotées d'un étage à disque hybride et de contrôleurs intégrés permettant d'atteindre des vitesses de pompage comprises entre 47 et 400 ls-1. Elles se caractérisent toutes par un palier supérieur magnétique permanent qui élimine les hydrocarbures au sommet du rotor et par un palier inférieur lubrifié à l'huile qui assure un fonctionnement fiable à une vitesse élevée.

Le contrôleur embarqué sert d'interface directe avec les contrôleurs TIC ou TAG pour permettre une intégration économique du système. Les modèles nEXT simplifient également l'entretien, car l'utilisateur peut remplacer lui-même la cartouche de roulement, garantissant ainsi de faibles coûts d'exploitation.

Pompe turbomoléculaire nEXT300 illustrée

Page 23

Unités nEXT85 DN40 nEXT85 DN63 nEXT240 nEXT300 nEXT400

CARACTERISTIQUES DU VIDE

Vitesse de pompage maximale

N2

ls-1

47 84 240 300 400

Ar 44 80 230 280 380

He 61 78 230 340 390

H2 49/44 (D/H) 60/54 (D/H) 165 280 325

Taux de compression

N2 > 1011 > 1011 (D&T)

Ar > 1011 > 1011 (D&T)

He 8 x 106/2 x 107 (D/H) 3 x 105 /106 (D/T)

106 /3 x 106 (D/T) 108/>108 (D/T)

H2 2 x 105/5 x 105 (D/H) 104/105 (D/T) 5 x 104/105 (D/T)

5 x 105/106 (D/T)

Vide limite (CF) mbar < 5 x 10-10

Pression de refoulement maximale N2 mbar 18 9,5/20 (D/T)

CARACTERISTIQUES DU MOTEURConsommation électrique maximale W 80 (plage 50 - 120) 160 (plage 50 - 200)

Tension de fonctionnement V c.c. 24 - 48

Vitesse de rotation nominale tr/min 90 000 60 000

CARACTERISTIQUES PHYSIQUESPoids (ISO/CF) kg 3 3/4,5 6/9 7/10

Raccord à l'admission NW40 ISO63 ou CF63 ISO100 ou CF100 ISO160 ou CF160

Raccord au refoulement NW16 NW25

Tolérance de champ magnétique mT 5

Temps de montée en régime s 115 145 175

Orientation de l'installation Bride tête en haut jusqu'à l'horizontale +/- 2°

Méthode de refroidissement Air ambiant/air/eau

Température maximale de la bride du système pendant l'étuvage (CF uniquement)

Refroidissement par eau/refroidissement par air forcé 120/115 °C

Technologie de paliers Palier supérieur magnétique permanent, palier inférieur en céramique lubrifié à l'huile

Entretien des paliers réalisable par l'utilisateur Oui

Type de contrôleur Intégré

Interfaces RS232, 485, E/S

Interfaces en option Profibus externe


nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400

PRODUITS DE VIDE POMPES TURBOMOLECULAIRES nEXT

Page 24

12 (0

.47)

KL

160 (6.3)D F

EG

CB

A

JH

88 (3

.46)

145

(A/F

) M

Performance

Dimensions

nEXT240 nEXT300 nEXT400 nEXT240 nEXT300 nEXT400

A 189 195 195 G CF100 CF100 CF160B 155 160 160 H (C/G) 90 100 81C (C/G) 116 117 102 J 197 210 200D 130 130 180 K 147 153 153E ISO100 ISO100 ISO160 L 83 87 89F 152 152 202 M (16) Ø 8,4 (16) Ø 8,4 (20) Ø 8,4

10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 mbar

ls-1

0

250

200

150

100

50

300

NAr

nEXT240

HeH2

10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 mbar

ls-1

0

250

200

150

100

50

300

350

400

nEXT300NArHeH2

10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 mbar

ls-1

0

250

200

150

100

50

300

350

400

450

500nEXT400NArHeH2

nEXT85

nEXT240/300/400

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

10-6 mbar

nEXT85

N nEXT85D/HAr nEXT85D/HHe nEXT85DHe nEXT85HH2 nEXT85DH2 nEXT85H

ls-1

10-210-310-410-5 10-1

149

(5.8

7)

90 (3

.54)

25 (0

.98)

Ø96 (3.78)ISO63

49 (1.93) TYP

97 (3

.82)

R54.125

67 (2

.64)

68 (2.68)97 (3.78)

Page 25




nEXT85D NW40 B8G210A01

nEXT85D ISO63 B8G210B01

nEXT85D CF63 B8G210C01

nEXT85H NW40 B8G410A01

nEXT85H ISO63 B8G410B01

nEXT85H CF63 B8G410C01

nEXT240D ISO100 160 W B81200100

nEXT240D CF100 160 W B81200200

nEXT240T ISO100 160 W B81300100

nEXT240T CF100 160 W B81300200

nEXT300D ISO100 160 W B82200100

nEXT300D CF100 160 W B82200200

nEXT300T ISO100 160 W B82300100

nEXT300T CF100 160 W B82300200

nEXT400D ISO160 160 W B83200300

nEXT400D CF160 160 W B83200400

nEXT400T ISO160 160 W B83300300

nEXT400T CF160 160 W B83300400

Pompe Description du produit N° de commande

nEXT85

Contrôleur (1)

Contrôleur TAG D39592000

Alimentation électrique TAG D39592800Contrôleur TIC100 (Turbo and Instrument Controller) D39721000

Refroidis-sement

Kit de refroidissement par eau WCX85 (4 positions) B8G200833

Connecteur de refroidisseur par air ACX85 posé B8G200820

Remise à l'air

Connecteur de vanne de remise à l'air N/O TAV5 posé B8G200834

Connecteur de vanne de remise à l'air N/F TAV5 posé B8G200835

EtuvageElément chauffant de bride CF63 110 V B8G200823

Elément chauffant de bride CF63 240 V B8G200824

Service

Kit roulements B8G200827

Kit cartouche d’huile B8G200828

Kit roulements et cartouche d’huile B8G200811Kit d’outillage pour le remplacement des roulements B8G200840

nEXT240/ 300/400

Contrôleur (1)

Contrôleur TAG D39592000

Alimentation électrique TAG D39592800Contrôleur TIC200 (Turbo and Instrument Controller) D39722000

Refroidis-sement

Refroidisseur par air radial nEXT B58053175

Refroidisseur par air axial nEXT B58053185

Refroidisseur par eau nEXT B80000815

Etuvage

Elément chauffant de bride CF100 100-120 V NRF115700




Remise à l'air Electrovanne de remise à l'air TAV5 B58066010

Service

Kit d'outils pour cartouche d'huile B80000812

Kit d'outils pour paliers B80000805

Cartouche d'huile B80000811

Palier et cartouche d'huile B80000810

Toutes

Cordons rallonges

Câble reliant la pompe au contrôleur, 1 m D39700835



Câbles d’alimen-tation (1)

Câble d'alimentation électrique 2 m, fiche britannique D40013025

Câble d'alimentation électrique 2 m, fiche européenne D40013030

Câble d'alimentation électrique 2 m, fiche américaine D40013120

DiversRaccord d'adaptation de remise à l'air B58066011

Restricteur de purge PRX10 B58065001

(1) Désigne l'accessoire requis. D'autres sont en option selon l'application.

Extension de garantie N° de commande

nEXT85 2 ans EW2AA5093









PRODUITS DE VIDE POMPES TURBOMOLECULAIRES nEXT

Elément chauffant de bride

Restricteur de purge

Vanne de remise à l'air TAV

Refroidisseur par air radial

Refroidisseur par air axial

Page 26

FONCTIONS PERSONNALISEES DU CONTROLEUR INTEGRE :Bouton unique réservé à La marche/l’arrêt des pompes ; affichage précis aisément lisible ; possibilité de sélectionner le mode de remise à l'air en présence d'une vanne de remise à l'air TAV5 à fonctionnement automatique sans intervention de l'utilisateur.

POMPES PRIMAIRES HAUTE CAPACITEPompes primaires haute capacité E2M1.5 ou XDD1 offrant le choix entre une pompe à joint d'huile ou une pompe à membrane totalement sèche.

DESIGN COMPACTLe socle est équipé de pieds en caoutchouc et de découpes latérales pour son déplacement manuel. Grâce à sa forme compacte et stable, il ne risque pas d'être renversé.

ENTRETIEN REALISABLE PAR L'UTILISATEURLa pompe turbomoléculaire nEXT85, la pompe à membrane sèche XDD1 et la pompe primaire E2M1.5 peuvent être entretenues par l'utilisateur.

REFROIDISSEUR PAR AIR INTEGREAbaisse la température de l'alimentation interne et permet le fonctionnement silencieux de la pompe/du contrôleur en évitant la présence de multiples ventilateurs.

CHASSIS METALLIQUE ROBUSTELe châssis entièrement métallique renforce la robustesse de l'ensemble et ne risque pas de se fissurer ou de se briser s'il est malmené.

OPTIONS DE BRIDE D'ADMISSIONDisponible avec une bride d'admission NW40, ISO63 ou CF63 adaptée à votre application.


STATION DE POMPAGE TURBOMOLECULAIRE T-STATION 85

Notre T-Station 85 est une station de pompage turbomoléculaire économique et compacte qui associe en toute transparence une pompe turbomoléculaire nEXT85H avec une pompe à membrane sèche ou une pompe primaire à joint d'huile à un contrôleur simple, permettant ainsi de parvenir à des vitesses de pompage comprises entre 47 et 84 ls-1.

La T-station 85 est livrée avec un contrôleur de jauge TAG (Turbo and Active Gauge) intégré qui permet de mettre en marche/d'arrêter le système avec un seul bouton. La T-Station 85 est parfaite pour les besoins généraux d'un laboratoire, car elle offre la possibilité de commander l'une de nos jauges actives, les vannes de remise à l’air et de procéder à un démarrage différé de la pompe turbomoléculaire en fonction du temps ou de la pression, si une jauge est installée.

Page 27

DimensionsStation T 85

Vitesse de pompage pour N2

NW40 47 ls-1

ISO/CF63 84 ls-1

Taux de compression pour N2

>1 x 1011

Vitesse de la pompe primaire, 50 Hz (60 Hz)

E2M1.5 (TS85W) 1,6 m3h-1 (1,2 cfm)

XDD1 (TS85D) 1,2 m3h-1 (0,9 cfm)

Vide limite (CF) <5 x 10-10 mbar

Raccord à l'admission NW40, ISO63 ou CF63

Raccord au refoulementE2M1.5 (TS85W)

Buse de 11 mm de diamètre externe

ou 3/8" BSP

XDD1 (TS85D) Silencieux installé ou 1/8" BSP

Poids

Système E2M1.5 (TS85W) 21 kg max.

Système XDD1 (TS85D) 17 kg max.

Niveau sonore à la limite ≤56 dB(A)

Etanchéité (statique) < 1 x 10-6 mbar ls-1

Plage de températures de fonctionnement 12 à 40 °C



T-Station 85H humide NW40 200-240 V TS85W1001

T-Station 85H humide ISO63 200-240V TS85W2001

T-Station 85H humide CF63 200-240 V TS85W3001

T-Station 85H sèche NW40 200-240 V TS85D1001

T-Station 85H sèche ISO63 200-240 V TS85D2001

T-Station 85H sèche CF63 200-240 V TS85D3001

T-Station 85H humide NW40 100-120 V TS85W1002

T-Station 85H humide ISO63 100-120 V TS85W2002

T-Station 85H humide CF63 100-120 V TS85W3002

T-Station 85H sèche NW40 100-120 V TS85D1002

T-Station 85H sèche ISO63 100-120 V TS85D2002

T-Station 85H sèche CF63 100-120 V TS85D3002


Accessoires

Condenseur de brouillard EMF3 pour E2M1.5 A46220000

Connecteur de vanne de remise à l'air N/O TAV5 posé B8G200834

Connecteur de vanne de remise à l'air N/F TAV5 posé B8G200835

Jauge Pirani APG100 XLC NW16 D02603000

Jauge magnétron inverse AIM X NW25 D14642000

Multi-jauge WRG-S NW25 D14701000

Jauge à convection APGX-H NW25 D02391000

Cordons de raccor-dement

Câble d'alimentation électrique 2 m, fiche britannique A50505000

Câble d'alimentation électrique 2 m, fiche européenne A50506000

Câble d'alimentation électrique 2 m, fiche Amérique du Nord/Japon A50507000

Câble d'alimentation électrique 2 m, sans fiche A50508000

Câble de jauge 0,5 m D40001005

Câble de jauge 1 m D40001010

Garantie

T-Station 85 - Extension de garantie à 2 ans EW2AA5094

T-Station 85 - Extension de garantie à 3 ans EW3AA5094

Station de pompage : Accessoires, pièces détachées et extensions de garantie :

Vue du dessus Vue avant


T-Station 85D avec pompe primaire XDD1

T-Station 85W avec pompe primaire E2M1.5

PRODUITS DE VIDE STATIONS DE POMPAGE TURBOMOLECULAIRE

Vue du dessus Vue avant

193

(7.6

2)21

8 (8

.58)

270

(10.

63)

395 (15.55)

350

(12.

00)

Page 28

EVENTAIL D'OPTIONS POUR POMPE TURBOMOLECULAIRELa pompe turbomoléculaire peut être configurée avec des vitesses s'étendant de 47 à 400 ls-1 et des brides d'admission comprises entre DN40 et DN160.

CONTROLE INTEGRALLe contrôleur TIC (turbo and instrument controller) offre un contrôle intégral des pompes, jusqu'à 3 jauges actives et une communication série à distance complète.

VANNE DE REMISE A L'AIR EN OPTIONLa vanne de remise à l'air en option de pompe turbomoléculaire peut être commandée en tant que pièce intégrante de la station.

ENTRETIEN REALISABLE PAR L'UTILISATEURToutes les pompes turbomoléculaires et les pompes primaires nEXT peuvent être entretenues par l'utilisateur.

CHASSIS METALLIQUE ROBUSTELe châssis entièrement métallique avec roulettes à frein assure la robustesse du système tout en facilitant son déplacement. Un kit de montage rack est inclus pour un fonctionnement sur table sûr.

CHOIX DE POMPES PRIMAIRESUne sélection de pompes primaires à joint d'huile et sèches est proposée avec des capacités comprises entre 1 et 20 m3h-1.

FAIBLES VIBRATIONSLa pompe primaire est montée sur des supports anti-vibratoires afin de limiter la transmission des vibrations.


STATIONS DE POMPAGE TURBOMOLECULAIRE nEXT

Les stations de pompage turbomoléculaire nEXT peuvent être configurées avec des vitesses de pompe turbomoléculaire pouvant atteindre 47 à 400 ls-1 et, au choix, des pompes primaires à joint d'huile ou sèches présentant des débits compris entre 1 et 20 m3h-1. Toutes nos stations de pompage turbomoléculaire nEXT se distinguent par un turbocontrôleur et un contrôleur d'instruments TIC intégrés offrant un contrôle intégral de l'ensemble par l'intermédiaire d'une interface intuitive simple.

Les stations de pompage turbomoléculaire nEXT sont livrées assemblées et prêtes à fonctionner. Elles comprennent des accessoires tels que des condenseurs de brouillard et des câbles secteur adaptés aux pompes sélectionnées. En tant que stations haut de gamme complètes, elles intègrent la communication série RS232 et le logiciel Windows® pour la surveillance et le contrôle.

Page 29

DimensionsSTATION

TURBOMOLECULAIRE nEXT

Vitesse de pompage maximale pour N2

NW40 47 ls-1

ISO/CF63 84 ls-1

ISO/CF100 240 ou 300 ls-1

ISO/CF160 400 ls-1

Taux de compression pour N2

>1 x 1011

Vitesse de la pompe primaire, 50 Hz (60 Hz)

E2M1.5 1,6 m3h-1 (1,2 cfm)RV 5,1 m3h-1 (3,6 cfm)

RV12 12 m3h-1 (8,4 cfm)XDD1 1,2 m3h-1 (0,9 cfm)

nXDS6i 6,2 m3h-1 (3,6 cfm)nXDS10i 11,4 m3h-1 (6,7 cfm)nXDS15i 15,1 m3h-1 (8,9 cfm)nXDS20i 22 m3h-1 (13,0 cfm)

Vide limite (CF) < 5 x 1010 mbar

Raccord à l'admission NW40, ISO63, CF63, ISO100, CF100, ISO160 ou CF160

Raccord au refoulement

E2M1.5 NW16

XDD1 Silencieux installé ou 1/8" BSP

RV/nXDS NW25

PoidsE2M1.5/XDD1 24,9 à 35 kg

RV/nXDS 41,2 kg à 55 kgNiveau sonore à la limite ≤ 56 dB(A)

Etanchéité (statique) < 1 x 10-6 mbar ls-1

Plage de températures de fonctionnement 12 à 40 °CInformations de commande

Description du produit N° de commandeJauge Pirani APG100 XLC NW16 D02603000Jauge magnétron inverse AIM X NW25 D14642000Multi-jauge WRG-S NW25 D14701000Jauge à convection APGX-H NW25 D02391000Câble de jauge 0,5 m D40001005Câble de jauge 1 m D40001010

Station de pompage :

Accessoires :

A B (1) C

nEXT85 NW40 144 380/500 427

nEXT85 ISO63 144 380/500 401

nEXT85 CF63 144 380/500 415

nEXT240 ISO100 135.5 380/500 443.2

nEXT240 CF100 135.5 380/500 451.2

nEXT300 ISO100 135.5 380/500 448.7

nEXT300 CF100 135.5 380/500 463.2

nEXT400 ISO160 135.5 380/500 448.7

nEXT400 CF160 135.5 380/500 453.7

(1) 380 mm se rapporte aux petites plates-formes avec pompes primaires XDD1 500 mm se rapporte aux grandes plates-formes avec pompes

primaires nXDS/RV

PompeturbomoléculaireB nEXT240C nEXT300D nEXT400E nEXT240TF nEXT300TG nEXT400TJ nEXT85DK nEXT85H

Bride d'admission1 DN40NW (nEXT85)2 DN63ISO-K (nEXT85)3 DN63CF (nEXT85)4 DN100ISO-K (nEXT240/300)5 DN100CF (nEXT240/300)6 DN160ISO-K (nEXT400)7 DN160CF (nEXT400)

Pompe primaire1 E2M1.52 RV53 RV12A XDD1D nXDS6iE nXDS10iF nXDS15iG nXDS20i

Option de remise à l’air0 Remise à l'air

manuelle1 Vanne de remise

à l'air TAV5

Alimentation électrique1 220-240 V 50/60 Hz (Europe)2 110-120 V 50/60 Hz (Etats-Unis)3 200 V 50/60 Hz (Japon)4 220-240 V 50/60 Hz (Royaume-Uni)

T S - - 0 0


PRODUITS DE VIDE STATIONS DE POMPAGE TURBOMOLECULAIRE

94 (3

.70)

C

93 (3

.66)

B

A

500 (19.69)

Page 30

RESISTANCE A LA CORROSIONLa plupart des modèles de pompes turbomoléculaires STP Maglev Edwards sont également proposés dans une version spéciale résistant à la corrosion, avec des rotors revêtus de nickel et un système de purge d'azote, d'où leur aptitude parfaite aux applications chimiques de laboratoire.

SANS VIBRATIONSLa suspension magnétique implique l'absence de frottement, d'où un niveau extrêmement faible de vibrations. Ce fonctionnement reste constant et ne subit pas d'usure des pièces, ce qui rend les remplacements superflus.

SANS HUILEL'usage de paliers magnétiques ne nécessite pas de lubrifiants à base d'hydrocarbures.

SYSTEME D’EQUILIBRAGE AUTOMATIQUELes pompes Edwards à 5 axes sont capables d'ajuster de manière dynamique le champ magnétique pour compenser les déséquilibres des rotors.

SANS ENTRETIENL'absence de frottement supprime toute trace d'usure, aucun entretien courant n'est nécessaire en fonctionnement normal.


POMPES TURBOMOLECULAIRES STP MAGLEV

Les pompes turbomoléculaires STP Maglev sont idéales pour les applications nécessitant un temps d'utilisation élevé, un pompage sans hydrocarbures, un entretien minimal et un faible niveau de vibrations. Le système de paliers magnétiques multiaxes est utilisé pour suspendre le rotor pendant le fonctionnement, garantissant ainsi l’absence de risque de contamination tout en minimisant le bruit et les vibrations.

La gamme de pompes turbomoléculaires STP Maglev est réputée sur le marché pour sa qualité et sa fiabilité. On la retrouve bien souvent dans de nombreuses applications de semi-conducteurs figurant parmi les plus exigeantes. Pour les applications de laboratoire, ces atouts confèrent aux pompes turbomoléculaires STP Maglev une extrême fiabilité et les exonèrent généralement de tout entretien.

Page 31

STP451 STP603 STP1003 STPiX455 STPiXR1606

Unités STP301 DN100

STP451 DN160

STP603 DN160

STP1003 DN200

STPiX455 DN100

STPiX455 DN160

STPiXR1606 DN160

STPiXR1606 DN200/250

CARACTERISTIQUES DU VIDE

Vitesse de pompageN2 ls-1

300 480 650 1 000 300 450 1 000 1 600

H2 300 460 550 800 300 460 800 1 200

Taux de compressionN2 >108

H2 2 x 104 >105 1 x 104 1 x 103

Vide limite (CF) mbar < 1 x 10-10 < 1 x 10-9

Débit maximal N2 sccm - 4700

Pression d'admission maximale mbar 6,7 x 10-4 1 x 10-3 -

Pression de refoulement maximale mbar 0,13 0,67 2,66

CARACTERISTIQUES DU MOTEURConsommation électrique maximale W 350 850 300 750

Vitesse de rotation nominale tr/min 48 000 35 000 55 000 36 500

CARACTERISTIQUES PHYSIQUESPoids kg 11 12 31 16 48

Vibrations* mm <0.01

Raccord à l'admission ISO100 ou CF100

ISO160 ou CF160

ISO160 ou CF160

ISO200 ou CF200

ISO100 ou CF100

ISO160 ou CF160

ISO160 ou CF160

ISO200/250 ou CF200/250

Raccord au refoulement NW25 NW40 NW25 NW40

Temps de montée en régime s 180 360 480

Tolérance de champ magnétique axial/radial mT 15/3

Orientation de l'installation Indifférente

Méthode de refroidissement Air ambiant/air/eau Air ambiant/air Eau

Température maximale de la bride pendant l'étuvage (CF uniquement)

°C 120

Technologie de paliers Suspension magnétique à 3 axes Suspension magnétique à 5 axes

Type de contrôleur Externe Intégré

Type d'alimentation Externe Intégrée

Interfaces RS232, E/S

Interfaces en option Profibus Profibus, EtherCAT

* Les vibrations sont mesurées selon la procédure standard Edwards.


STP301

Images non mises à l'échelle

PRODUITS DE VIDE POMPES TURBOMOLECULAIRES STP MAGLEV

Page 32

Performance

A B C D E F G H J K L

STP301 Ø 130 ISO100 230 197 33 12 Ø 156 Ø 180 108 110 100 8 x M8 x 16

Ø 152 DN100CF 22

STP451 Ø 180 ISO160 200 167 33 12 Ø 156 Ø 180 108 - 100 8 x M8 x 16

Ø 203 DN160CF 22

STP603 Ø 225 ISO160F 330 291 39 16 Ø 208 Ø 245 148 142 138 8 x M10 x 24

STP1003 Ø 285 ISO200F 310 271 39 16 Ø 208 Ø 245 148 142 138 8 x M10 x 24

STPiX455 Ø 130 ISO100 266 235 31 12 - Ø 180 108 - 165 4 x M12 x 25

Ø 180 ISO160 236 205

STPiXR1606 Ø 225 ISO160F 420 263 157 15 Ø 237 Ø 300 108 - 166 -

Ø 285 ISO200F 380 223 16

Ø 335 ISO250F

A

BC

D

E

GF H

J

K

L

45o

1

2

3

Remarque : pompe STP603 illustrée

1. Connecteur électrique2. raccord de refoulement 3. Orifice de purge

Torr

pa

ls-1

104

10-410-510-6 10-310-7

10-110-210-310-410-5101

102

103

STP451 460 ls-1, He, H2 480 ls-1, N2

STP301 300 ls-1, H2

Torr

pa

ls-1

104

10-310-410-5 10-210-6

10010-110-210-310-4101

102

103

STP1003 1000 ls-1, N2

STP603 650 ls-1, N2

Torr

pa

ls-1

104

10-310-410-5 10-210-6

10010-110-210-310-4101

102

103

STP-iX455, ISO100 300 ls-1, N2

300 ls-1, H2

Torr

pa

ls-1

104

10-310-410-5 10-210-6

10010-110-210-310-4101

102

103

STP-iX455, ISO160 450 ls-1, N2

460 ls-1, H2

Torr

pa

ls-1

104

10-310-410-5 10-210-6

10010-110-210-310-4101

102

103

STP-iXR1606, ISO160 1000 ls-1, N2

800 ls-1, H2

Torr

pa

ls-1

104

10-310-410-5 10-210-6

10010-110-210-310-4101

102

103

STP-iXR1606, ISO200 1600 ls-1, N2

1200 ls-1, H2

Dimensions

Page 33


Extension de 1 an (3 ans au total)


STP301 STP301 ISO100 YT21B0350

STP301 CF100 YT21B0010


STP451 CF160 YT21B0080

STPiX455 STPiX455 ISO100 PT640Z010

STPiX455 CF100 PT640Z050

STPiX455 ISO160 PT640Z020

STPiX455 CF160 PT640Z060


STP603 CF160 YT390Z005

STP1003 STP1003 ISO200 YT390Z001

STP1003 CF200 YT39B0010

STPiXR1606 STPiXR1606 ISO160 YT790Z070

STPiXR1606 CF160 YT790Z090

STPiXR1606 ISO200 YT790Z010


STPiXR1606 ISO250 YT790Z040


Pompe Description du produit N° de commande

STP301/451

Contrôleur (1)SCU350 100-240 V YT21Z0Z01SCU350 100-240 V avec RS232 YT21ZEZ20

Câbles reliant la pompe au contrôleur (1)

Câble de 3 m B70700010Câble de 5 m B70700000Câble de 10 m B70700130Câble de 20 m B70700150Câble de 30 m PT21Y0B00

Câbles secteur (1)

3 m B707000905 m B7070004010 m PT21Y0A00

RefroidissementRefroidisseur par air 115 V YT011A003Refroidisseur par air 220-240 V YT011A005Kit de refroidissement par eau YT21CA001

STP-iX455

Alimentation électrique (1) Alimentation secteur 100-240 V iPS240 PT64W0Z00

Afficheur

iDT001 avec câble de 3 m PT79U1Z00iDT001 avec câble de 5 m PT79U1Z40iDT001 avec câble de 10 m PT79U1Z50iDT001 avec câble de 15 m PT79U1Z10

Câbles d'alimentation reliant la pompe au secteur (1)

Câble de 2,5 m PT64Y0B15Câble de 5 m PT64Y0B20Câble de 10 m PT64Y0B30Câble de 20 m PT64Y0B50Câble de 30 m PT64Y0B60

Câbles secteur (1)

3 m PT64Y1A105 m PT64Y1A2010 m PT64Y1A30

RefroidissementPetit refroidisseur par air PT64QZA06Grand refroidisseur par air PT640U101

STP603/1003

Contrôleur (1) SCU800 100-120/200-240 V avec RS232/485 YT49Z2Z00

Câbles reliant la pompe au contrôleur (1)

Câble de 3 m B75130050Câble de 5 m B75130020Câble de 10 m B75130060Câble de 20 m B75130190Câble de 30 m B75130210

Câbles secteur (1)

3 m PT49Y0A055 m PT49Y0A0010 m PT49Y0A01

RefroidissementRefroidisseur par air 100-115 V YT01BA210Refroidisseur par air 220-240 V YT011A050Kit de refroidissement par eau YT170A001

STPiXR1606

Afficheur

iDT001 avec câble de 3 m PT79U1Z00iDT001 avec câble de 5 m PT79U1Z40iDT001 avec câble de 10 m PT79U1Z50iDT001 avec câble de 15 m PT79U1Z10

Câbles secteur (1)

3 m YT79Y0A015 m YT79Y0A0010 m YT79Y0A03

Toutes Etuvage




Elément chauffant de bride CF160 200-240 V NRF116700(1) désigne l'accessoire requis ; d'autres sont disponibles en option en fonction de l'application


Description du produit Extension à 3 ans

STP301 EW3AA0127

STP451 EW3AA0129

STP603 EW3AA0135

STP1003 EW3AA0137

STPiX455 EW3AA0242

STPiXR1606 EW3AA0247


PRODUITS DE VIDE POMPES TURBOMOLECULAIRES STP MAGLEV

Page 34

ETAGES HOLWECK ET REGENERATEUR

Performances très étendues avec un faible niveau de chaleur et de vibrations.

ETAGE DE ROTOR HELICOIDAL SUPPLÉMENTAIRE (EPX500 UNIQUEMENT)

Vitesse accrue et capacité de 1 x 10-6 mbar.

ENCOMBREMENT REDUIT

Dimensions de l'EPX plus petites que la combinaison équivalente pompe turbomoléculaire/pompe primaire.

MECANISME ULTRA PROPRE

Les pompes EPX ne disposent d'aucune huile ou graisse sous vide et ne présentent aucune autre source de contamination.

REFROIDISSEMENT PAR EAU

Faible charge environnementale.

SYSTEME DE PURGE D'AZOTE (VARIANTES N)

Compatibilité avec le pompage de vapeurs et bas niveaux de vapeurs et particules corrosives.


POMPE PRIMAIRE A VIDE POUSSE EPX

EPX180LE EPX180NE EPX500LE EPX500NEVitesse de pompage maximale m3h-1 (cfm) [ls-1] 175 (106) [50] 500 (295) [140]Vide limite mbar (torr) < 1 x 10-4 (< 7 x 10-5) < 1 x 10-6 (< 7 x 10-7)Pression d'échappement maximale bar relatif (psig) 0,2 (2,9)Consommation d'azote type slm 0 25 0 25Consommation d'eau de refroidissement l/h 120Tension d'alimentation V 200/208/400 triphasé (+/- 10 %)Fréquence d'alimentation Hz 50/60Puissance à la limite kW 1,4 1,6 1,4 1,6Puissance maximale kW 3,0Poids kg (lb) 45 (98) 47 (103) 46 (102) 48 (106)Raccord à l'admission/au refoulement ISO63/NW25 ISO160/NW25Raccord d'eau 3/8" rapideNiveau sonore dB(A) < 56Vibration au niveau de la bride d'admission mms-1 (eff.) < 1,3

La série EPX utilise un mécanisme breveté unique à étage Holweck® et un régénérateur à arbre unique qui permet un pompage de l'atmosphère jusqu'à des pressions limites de < 1 x 10-4 mbar ou < 1 x 10-6 mbar selon le modèle. Ces pompes sont parfaites pour des applications où une meilleure pression de base que celle fournie par des pompes primaires types est nécessaire. Ces applications exigeraient sinon une pompe turbomoléculaire et une pompe primaire. Ces pompes conviennent également aux applications à cycles fréquents de l'atmosphère aux basses pressions, car elles peuvent fonctionner continuellement à toutes les pressions d'admission.


Page 35

Dimensions


EPX180LE 208 V, sans TIM, raccords d'eau 3/8 A41943012


EPX180LE 208 V, MCM TIM, raccords d'eau 3/8 A41943712


EPX180NE 208 V, sans TIM, raccords d'eau 3/8 A41944012


EPX180NE 208 V, MCM TIM, raccords d'eau 3/8 A41944712










Module Profibus de pompe sèche D39752000


EPX180

EPX500

Performance

Torr

1000

0

1

10

100

�3 m

in-1

10-6 10210110-010-110-210-310-410-5 10310-7

EPX180EPX500

EPX

1000

0

1

10

100

10-6 mbar

Pa

m3 h-1

10210110-010-110-210-310-410-5 103

10410210110-010-110-210-310-4 105103

EPX180EPX500

EPX

8 x M8

106 (4.17)

353

(13.

9)

312 (12.28)

Ø94.9

388

(15.

28)

Ø260.6

232

(9.1

3)

229

(9.0

2)21

5 (8

.46)

232

(9.1

3)19

7 (7

.76)

353

(13.

9)

106 (4.17)

211 (8.31)

55(TYP.)

232

(9.1

3)

229

(9.0

2)21

5 (8

.46)

117

(4.6

1)

313 (12.32)

232

(9.1

3)

397

(5.6

3)

Ø261

PRODUITS DE VIDE POMPE PRIMAIRE A VIDE POUSSE EPX

Page 36

SUPPRESSION DES VIBRATIONS MECANIQUESLes pompes à fixation ne sont dotées d'aucune pièce mobile. Les vibrations issues des pièces mobiles ainsi que le bruit électrique sont éliminés.

TOLERANCE AU RAYONNEMENT ELEVEELes pompes à fixation sont fabriquées avec des matériaux présentant une tolérance au rayonnement supérieure à 108 grays. Les connecteurs et les câbles sont également confectionnés dans des matériaux tolérants au rayonnement, conçus pour un fonctionnement sans interruption pendant des années.

TOLERANCE AUX HAUTES TEMPERATURESSans précautions particulières les pompes à fixation peuvent subir un étuvage jusqu'à 250 °C. Le retrait des aimants permet de procéder à des étuvages plus chauds, jusqu'à 450 °C. Tous les systèmes UHV sont sensibles à de longs étuvages chauds.

SUPPRESSION DE L'ENTRETIEN REGULIERLes pompes à fixation ne nécessitent pratiquement pas d'entretien et évitent les coûts de maintenance car elles sont étanches à l'atmosphère, d'où un gain de temps, d'argent et de ressources.

COUTS INITIAUX ET D'EXPLOITATION FAIBLESLes coûts initiaux sont généralement inférieurs à d'autres types de pompes à vide, à spécifications comparables. Elles consomment peu ou pas d'électricité, d'où un fonctionnement économique à long terme.


POMPES ET ACCESSOIRES UHV GAMMA

Les technologies de pompage par fixation sont à l'origine d'environnements de vide poussé (HV) et de vide très poussé (UHV) destinés à une vaste palette d'applications, allant des spectromètres de masse portables aux accélérateurs de particules à grande échelle. Ces technologies sont capables de créer le vide le plus poussé possible pour un coût faible.

Edwards propose une gamme de pompes ioniques, de pompes à sublimation de titane, de pompes NEG (Non-Evaporable Getter) et des accessoires exclusivement par le biais de Gamma Vacuum.


Pompe ionique5S 5 ls-1

10S 10 ls-1

25S 20 ls-1

45S 40 ls-1

75S 75 ls-1

100 L 100 ls-1

200 L 200 ls-1

300 L 300 ls-1

Bride2V Verticale DN402H Horizontale DN402D Double DN404V Verticale DN634D DN63/DN406S Simple DN10062 DN100/DN406D Double DN1008S Simple DN1608D Double DN160

Elément chauffantN N/A1 110 V2 208-240 V

ElémentCV Diode

conventionnelleDI Diode pour gaz raresCX Diode XHVDX Diode pour gaz rares

XHVTR Triode

PassageSC 10 kV

SAFECONNOP Perkin ElmerOV Old VarianVR Varian StarCell®FI Verrouillage

Fisher

TSP/NEG intégréeN N/ATSP (pompe à sublimation

de titane) TSP filament unique (S)

N0 50 ls-1, NEG (S)N1 100 ls-1, NEG (S)N2 200 ls-1, NEG (S)N3 300 ls-1, NEG (S)TSPC TSP avec protection

cryogénique (L)TSPA TSP avec protection ambiante (L)NG 400 ls-1 NEG (L)

Pompes ioniques et TSP/NEG intégré :

Page 37

Caractéristiques techniquesUnités 5S 10S 25S 45S 75S 100 L 200 L 300 L

Vitesse de pompage 4-5 8-10 15-20 30-40 40-75 80-100 160-200 240-300

OPTION DES ORIFICESDN40 (2,75”) (1) 2V 2H 2V, 2H ou 2D 2V ou 2D

DN63 (4,5”) (2) 4V ou 4D

DN100 (6”) (3) 6S ou 62 6S, 6D

DN160 (8”) (4) 8S, 8D 8S, 8D

CHOIX D'ELEMENTTiTan CV (diode) ● ● ● ● ● ● ● ●TiTan DI (diode pour gaz rares) ● ● ● ● ● ● ● ●

TiTan CVX (diode XHV) ● ● ● ● ● ●TiTan DIX (diode pour gaz rares XHV) ● ● ● ● ● ●

TiTan TR (triode) ● ● ● ● ● ●CHOIX DE PASSAGESC 10 kV SAFECONN ● ● ● ● ● ● ● ●OP Perkin Elmer ● ● ● ● ● ●OV Old Varian ● ● ● ● ● ● ●VR Varian StarCell ® ● ● ● ● ● ●FI Verrouillage Fisher ● ● ● ● ● ● ●Option d'élément chauffant interne ● ● ● ● ● ● ● ●

Option TSP/NEG interne (5) ● ● ● ● ● ●Poids kg (lbs) 2,3 (5) 6 (13) 9 (20) 16 (34) 22 (48) 29 (65) 50 (112) 66 (145)

Poids d'expédition kg (lbs) 2,8 (6) 8 (17) 11 (24) 18 (39) 25 (55) 47 (105) 69 (152) 89 (195)

Pression limite mbar < 1 x 10-11

Pression de démarrage mbar < 1 x 10-3

Durée de vie (heures à 1 x 10-6 mbar) heures Diode/diode pour gaz rares 50 000 ; Triode 80 000

Température d'étuvage en fonctionnement °C 200 250

Temp. maximale d'étuvage (6) °C 450

Dimensions (L x l x p) mm 106 x 85 x 81

200 x 153 x 79

202 x 125 x 130

209 x 251 x 130

277 x 242 x 130

326 x 128 x 252

325 x 413 x 233

325 x 413 x 337

(1) 2V = orifice supérieur 2" ; 2H = orifice latéral 2” ; 2D = orifices doubles (supérieur et latéral)(2) 4V = orifice supérieur 4" ; 4D = orifice supérieur 4" et orifice latéral 2"(3) 6S = orifice unique 6” ; 62 = orifice supérieur 6” et orifice latéral 2” ; 6D = orifices doubles 6” (supérieur et inférieur)(4) 8S = orifice unique 8” ; 8D = orifices doubles 8” (supérieur et inférieur)(5) Orifice latéral ou inférieur supplémentaire requis(6) Aimants retirés

10S 45S 100 L 300 L

Images non mises à l'échelle

PRODUITS DE VIDE POMPES ET ACCESSOIRES UHV GAMMA

Page 38

CARTOUCHE A FILAMENT DE TSP

La cartouche à filament est montée sur une CFF 2-3/4” (DN40). Le passage soutient trois filaments titane-molybdène et un retour pour l'isolement à la masse. Chaque filament contient 1,5 grammes de titane utilisable et est capable d'assurer en moyenne 20 heures de fonctionnement.

PROTECTION CRYOGENIQUE LIQUIDE

La protection cryogénique liquide se compose d'un cylindre en acier inoxydable à double paroi, de type 304L, avec deux passages d'azote liquide (diamètre inférieur à 1 cm) munis de raccords de type conique. Ce cylindre met à disposition une surface de 1 578 cm2 (245 in.2) à refroidissement par azote liquide, avec des vitesses de pompage pouvant atteindre jusqu'à 12 000 ls-1 pour l'hydrogène (voir tableau). La protection est installée sur une CFF 8" (DN160).

ECRAN DE PULVERISATION A TEMPERATURE AMBIANTE

L'écran de pulvérisation à l'air libre augmente de manière optimale et économique la surface lorsque le refroidissement est impossible ou peu pratique. Il fournit une surface à température ambiante de 827 cm2 (128 in.2) avec des vitesses de pompage pouvant atteindre jusqu'à 2 200 ls-1 pour l'hydrogène (voir tableau). L'écran est monté sur une CFF 8" (DN160) ou 6" (DN100).


H2 CO H2OVitesses de pompage types des pompes à sublimation de titane Surface Température Débit Vitesse Débit Vitesse Débit Vitesse

cm2/inch2 °C ls-1 / cm2 ls-1 ls-1 / cm2 ls-1 ls-1 / cm2 ls-1

Protection cryogénique liquide (8")709/110 20 2,6 1 843 8,2 5 814 7,3 5 176

1 578/245 (1) -195 17 12 053 11 7 799 14,6 23 039

Ecran de pulvérisation à température ambiante (8") 827/128 20 2,6 2 150 8,2 6 780 7,3 6 037

Ecran de pulvérisation à température ambiante (6") 621/96 20 2,6 1 614 8,2 5 092 7,3 4 533

(1) s'applique uniquement à la vitesse H2O


Description du produit N° de commande Description du produit N° de commandeCartouche à 3 filaments de TSP, CFF 2-3/4" G360819 Câble de 1,5 m avec connecteurs MS MSHC1MSEcran de pulvérisation à température ambiante de TSP, CFF 6" G360190 Câble de 3 m avec connecteurs MS MSHC3MS

Ecran de pulvérisation à température ambiante de TSP, CFF 8" G360044 Câble de 6 m avec connecteurs MS MSHC6MS

Protection cryogénique liquide de TPS, CFF 8" G360051 Câble de 10 mètres avec connecteurs MS MSHC10MS


Pompes à sublimation de titane (TSP)Les pompes à sublimation de titane (TSP) sont souvent utilisées en association avec des pompes ioniques ou indépendamment pour retirer les gaz réactifs de l'environnement de vide. Combinées avec des pompes ioniques, les TSP permettent d'atteindre des pressions limites basses en peu de temps. Tous les composants des TSP peuvent faire l'objet d'un étuvage jusqu'à 400 ˚C.Les pompes à sublimation de titane fonctionnent en chauffant un filament de titane et en sublimant (conversion de l'état solide à l'état gazeux) les molécules de titane sur une surface. Les molécules de titane sublimées sont ensuite disponibles pour réagir chimiquement au contact de gaz réactifs, comme l'oxygène et l'azote, et peuvent dissocier, puis diffuser l'hydrogène. Les pompes à sublimation de titane peuvent fonctionner de 10-5 à 10-12 mbar, avec des vitesses de pompage supérieures à 10 000 ls-1 d'hydrogène.

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Unités N50 N100 N200 N300 N400

Bride CFF DN40 (2,75")

Poids total kg (lbs) 0,48 (1,05) 0,54 (1,19) 0,75 (1,65) 0,8 (1,79) 0,85 (1,88)

Composition de l'alliage Zr (70 %), V (24,6 %), Fe (5,4 %)

Masse d'absorption g 31,5 58 108 144 180

Surface d'absorption cm2 187 348 642 856 1070

Vitesse de pompage H2 ls-1 55 106 208 312 412

Vitesse de pompage CO ls-1 27 51 94 125 156

Capacité de sorption H2 Torr l 630 1 170 2 160 2 880 3 600

Capacité de sorption CO (25 °C) Torr l 0,1 0,2 0,4 0,6 0,8

Capacité de sorption totale de CO Torr l 284 526 972 1 296 1 620

Longueur d'insertion mm 46 61 89 110 130

Diamètre mm 34



Les NEG sont des métaux réactifs qui ont été transformés en substrats solides ou agglomérés en disques. La quantité de matière utilisée a un impact sur la vitesse et la capacité de la pompe NEG, dont la capacité s'étend généralement de 50 à 3 500 ls-1 d'hydrogène. Lorsque les NEG sont saturées de gaz, elles peuvent être réactivées sans remise à l'atmosphère. Leur avantage principal réside dans leur capacité à pomper pendant de longues périodes sans alimentation.

Les NEG sont parfaites pour les applications de descente en vide et de maintien à bas niveau. Elles peuvent être utilisées pour renforcer les performances d'une pompe ionique ou d'une pompe autonome. Elles sont idéales pour les applications UHV du fait de leur taille compacte et de leur vitesse de pompage H2 élevée. En revanche, ces pompes ne conviennent pas aux applications avec des cycles allant régulièrement jusqu'à la pression atmosphérique, car cela sature la surface et les pompes ne peuvent être réactivées qu'un certain nombre de fois.

Description du produit N° de commande Description du produit N° de commandeNEG 50 ls-1, cartouche, CFF 2-3/4” GN50 NEG 400 ls-1, cartouche, CFF 2-3/4” GN400NEG 100 ls-1, cartouche, CFF 2-3/4” GN100 Câble de 1 m avec connecteurs MS MSS1N100NEG 200 ls-1, cartouche, CFF 2-3/4” GN200 Câble de 3 m avec connecteurs MS MSS3N100NEG 300 ls-1, cartouche, CFF 2-3/4” GN300 Câble de 6 m avec connecteurs MS MSS6N100

N50 N100 N200 N300 N400

Pompes NEG (Non-Evaporable Getter)


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Petit contrôleur de pompe SPCe Digitel™Le SPCe est un moyen polyvalent de faire fonctionner intégralement une seule pompe ionique. Un écran LCD indiquant la pression/le courant/la tension et le système de communication série standard permettent au SPCe de répondre aux besoins des utilisateurs novices et expérimentés.

Contrôleur de pompe quadruple QPC Digitel™Le nouveau contrôleur QPC propose une tension de sortie réglable, une résolution en nanoampères et jusqu'à quatre alimentations électriques indépendantes permettant de contrôler individuellement le courant de quatre pompes ioniques maximum. L'écran couleur LCD tactile est parfaitement lisible et indique simultanément la pression, le courant, et la tension. Le contrôleur inclut également la communication série et Ethernet en standard.

Contrôleur de TSP/NEG Digitel™Le contrôleur de TSP/NEG est doté d'un écran LCD tactile très lisible qui affiche tous les paramètres de combustion manuelle ou programmée. Le fonctionnement manuel consiste simplement à appuyer sur un bouton. La programmation est tout aussi simple, il suffit de consulter toutes les options de programmation sur un écran. Le contrôleur de TSP/NEG peut gérer jusqu'à 8 filaments de TSP ou 2 pompes NEG.

Unités SPCe QPC TSP/NEGPUISSANCE D'ENTREETension 90-240 V c.a. ou 24 V c.c. 90-240 V c.a. 90-130 ou 200-240 VFréquence Hz 48-62PUISSANCE DE SORTIESorties indépendantes 1 1 à 4 1Tension de circuit ouvert 3 000-7 000 V c.c. (+/- configurable) + 17 V c.a.Intensité (maximale) mA 50 125 55 000Watts (maximum) W 50 125 800Résolution 1 nA 1 nA 0,1 AConnexions haute tension 1 10 kV SHV ou Fischer 1-4 10 kV SHV ou Fischer 1-2 Style MS, configurable

Type d'affichage LCD Grand écran couleur tactile LCD VGA Ecran tactile LCD 1/4 VGA

Affichages Pression, courant, tension et options programmables Options en cours, ponctuelles et programmables

SORTIES ANALOGIQUESTension Linéaire, configurableCourant/pression Linéaire ou logarithmique, configurablePoints de consigne Un relais, un TTL Quatre relais, quatre TTLCommunications Locales/à distance/Ethernet série complet : 232, 422, 485Poids kg (lbs) 1,5 (3,3) 9,5 (21) 16,8 (37)

Taille 2U de hauteur, 1/4 de rack de largeur313 mm (12,3") de profondeur

3U de hauteur, 1/2 rack de largeur438 mm (17,2") de profondeur

Fonctions supplémentaires

SAFECONN SAFECONN Commande manuelle, programmée ou à distance

AUTOSTART/AUTORUN (démarrage/exécution automatique)

AUTOSTART/AUTORUN (démarrage/exécution

automatique)Activation de la TSP

Activation haute tension Activation haute tensionEtalonnage Fowler-Nordheim

Fonction de haut potentiel


Contrôleurs de pompe Digitel™ de Gamma

La gamme DIGITEL™ de contrôleurs de pompes ioniques offre le bon équilibre entre performances, puissance et protection.

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Câbles de pompes ioniques :

Non requispour TSP

Non requispour TSP

Non requispour TSP

TypeSPCe Small pump controller -

Petit contrôleur de pompeQPC Quad pump controller -

contrôleur de pompe quadruple

TSP Contrôleur TSP/NEG

Polarité HVP Positive (CV/DI)N Négative (TR)

Connexions/canaux1 Une sortie (TOUS)2 Deux sorties (QPC/TSP)3 Trois sorties (QPC)4 Quatre sorties (QPC)0 Connexion à distance (TSP)

CommunicationsE Ethernet (SPCe/TSP)S Série (SPCe)S Série/Ethernet (QPC)2 RS232 (TSP)4 RS422 (TSP)H RS485 Half (TSP)F RS485 Full (TSP)

Commande TSP/NEGNA Non disponible (SPCe)NI Non installée (QPC)N Aucune (TSP)ST Commande à distance de

TSP (TSP)DT Commande à distance double

de TSP (TSP)SN Commande à distance de

NEG (TSP)

Canaux HV1 Un canal HV (SPCe/QPC)2 Deux canaux HV (QPC)3 Trois canaux HV (QPC)4 Quatre canaux HV (QPC)

Style de connecteurS 10 kV SHVF Fischer

Tension d'alimentationU1 110 V, ETATS-UNIS (TOUS)U2 220 V, ETATS-UNIS (TOUS)E2 230 V, Europe (TOUS)K2 240 V, Royaume-Uni (TOUS)A2 230 V, Australie (TOUS)B Fil 24 V nu (SPCe/QPC)

Activation à distanceS Standard (SPCe/QPC)N Aucune (TSP)H Activation haute tension (TSP)

Connecteur de contrôleurSCP SAFECONN (silicium)FB Verrouillage Fisher (silicium)10K 10 kV SHV (Teflon)N Aucun (TOUS)

Longueur de câble3 3 m6 6 m10 10 m30 30 m50 50 m75 75 m100 100 m

Type de câbleSC SiliciumTF Teflon

Connecteur de pompeSC SAFECONN (silicium)FI Verrouillage Fisher (silicium)SCO SAFECONN d'origine (silicium)OV Varian d'origine (silicium)VR Varian StarCell (silicium)5K 5 kV SHV (silicium)10K 10 kV SHV (TOUS)VM90 Mini connecteur FT (silicium)OP Perkin Elmer (Teflon)N Aucun (TOUS)

Contrôleurs :


Page 42

10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 1 10 102 103

Vide très poussé Vide poussé Vide moyen Vide limite

10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 102 103


APG100-XM - Jauge active Pirani

APG100-XLC - Jauge active Pirani

APGX-H - Jauge active à convection linéaire

AIM - Jauge magnétron inverse active

AIGX - Jauge ionique active

Multi-jauge

L'ombre gris foncé indique la plage de précision principale de la jauge spécifiée. La « plage de fonctionnement » gris clair indique la plage de pressions dans laquelle la jauge peut être utilisée, mais pour laquelle les affichages ne seront pas précis.

Etapes de sélection de la jauge à vide appropriée

APG100 - Jauge Pirani active


Plage de pressions APG100-XM = 103 à 10-3 mbarAPG100-XLC = 103 à 10-4 mbar

PrécisionAPG100-XM = < 100 mbarAPG100-XLC = <10 mbar généralement +/- 15 %

Surpression max. 10 bars absolus (145 psi)

Plage de températures Fonctionnement + 5 à + 60 °C Stockage - 30 à + 70 °C

Jauges actives Pirani N° de commande

APG100-XM, de l'atmosphère à 10-3 mbar, bride NW16 D02601000 APG100-XM, de l'atmosphère à 10-3 mbar, bride NW25 D02602000 APG100-XLC, de l'atmosphère à 10-4 mbar, bride NW16 résistant à la corrosion

D02603000

APG100-XLC, de l'atmosphère à 10-4 mbar, bride NW25 résistant à la corrosion

D02604000

1 2 3 4MESURE DU VIDE

Déterminer la plage de pressions à l'aide du graphique ci-dessous.

Choisissez votre jauge

Les jauges à vide Pirani actives de la série APG100 sont disponibles en 2 modèles. La jauge APG100-XM, modèle standard capable de mesurer jusqu'à 10-3 mbar, la jauge APG100-XLC, version résistante à la corrosion et réalisant des mesures jusqu'à 10-4 mbar. Ces deux jauges sont de taille compacte pour une installation simple et sont dotées d'une sortie linéaire ainsi que d'un tube capteur remplaçable. Elles sont compatibles avec tous les contrôleurs d'instruments TIC Edwards, les autres contrôleurs de jauges actives et les afficheurs.

1

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Les jauges magnétron inverses actives (AIM) Edwards fournissent des mesures précises sur la plage de vide comprise entre 1 x 10-2 et 1 x 10-9 mbar. Ces jauges sont réputées robustes et fiables dans un vaste éventail d'applications allant des instruments scientifiques aux procédés industriels.

La jauge AIM-X se compose d'une tête de jauge magnétron inverse et d'un contrôleur de jauge associés dans une seule unité compacte. Elle se caractérise par une sortie linéaire qui facilite l'intégration avec un ordinateur ou un PLC.

Les variantes XL présentent un champ magnétique externe très faible et sont particulièrement adaptées à une utilisation avec des instruments analytiques sensibles ou dans des applications où la jauge doit être montée à proximité immédiate d'une pompe turbomoléculaire.

La jauge de vide à convection linéaire active dispose d'une large plage de mesures allant de 1 333 à 3 x 10-4 mbar. L'utilisation de la technologie de convection garantit le maintien d'une précision et d'une sensibilité exceptionnelles sur la plage de pressions par rapport aux jauges Pirani conventionnelles qui perdent en exactitude au-dessus de 100 mbar. Compacte, la jauge peut être montée dans n'importe quelle orientation pour une installation aisée même dans les espaces restreints.

10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 1 10 102 103


10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 1 10 102 103


APGX-H - Jauge active à convection linéaire


Plage de pressions 1 333 à 3 x 10-4 mbar

Précision Généralement +/- 15 %


Plage de températures Fonctionnement + 5 à + 60 °C Stockage - 30 à + 70 °C

APGX-H - Jauges actives à convection linéaire N° de commande

APGX-H NW16 Aluminium D02391000APGX-H NW16 Acier inoxydable D02395000APGX-H NW25 Acier inoxydable D02392000APGX-H 1/8" NPT Acier inoxydable D02396000

AIM - Jauge magnétron inverse active


Plage de pressions 10-2 à 10-9 mbar



Plage de températures Fonctionnement + 5 à + 60 °C Stockage 0 à + 70 °C

Jauges actives magnétron inverse N° de commande

AIM-X-NW25 D14642000AIM-XL-NW25 D14645000AIM-X-DN40CF D14662000AIM-XL-DN40CF D14665000

MESURE DU VIDE JAUGES A VIDE

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Options de câble de branchement N° de commande Câble 0,5 m D40001005Câble 1 m D40001010Câble 3 m D40001030Câble 5 m D40001050Câble 10 m D40001100

La gamme des multi-jauges (WRG - Wide Range Gauge) permet de mesurer la pression à partir d'un seul port dans une plage allant de l'atmosphère à 10-9 mbar avec une sortie linéaire. Cette solution compacte, qui réduit de moitié les besoins d'espace et de branchement de matériel, peut s'avérer très utile dans de nombreuses applications. La jauge WRG comprend de nombreuses nouveautés, dont un capteur breveté, des commandes d'étalonnage et de réglage de point de consigne par bouton-poussoir et une fonction de diagnostic complète. Associée à un contrôleur Edwards ou intégrée directement dans les commandes du système de vide, la jauge WRG est une solution de gestion du vide économique.

La jauge ionique active (AIGX) est une jauge compacte avec double filament à l'iridium recouvert d'yttria, large plage de mesures de 6,6 x 10-2 à 6,6 x 10-10 mbar et sortie linéaire de 1 V/décade. La jauge AIGX intègre tous les avantages du concept de jauge active standard de l'industrie, avec électronique intégrée et tube remplaçable. La jauge comporte un système de dégazage et des fonctions pour protéger les filaments et augmenter leur durée de vie. La jauge AIGX émettant très peu de particules chargées convient aux procédés dans lesquels tout bruit de fond est indésirable.

10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 1 10 102 103


10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 1 10 102 103


WRG - Multi-jauge


Plage de pressions 10-3 à 10-9 mbar

Précision Généralement +/- 15 % à < 100 mbar+/- 30 % à < 10-3 mbar


Plage de températures Fonctionnement + 5 à + 60 °C Stockage 0 à + 70 °C

Multi-jauges N° de commande WRG NW25 acier inox D14701000WRG DN40CF acier inox D14703000WRG-SL NW25 D14711000

Les câbles incluent des connexions compatibles FCC68/RJ45 aux deux extrémités.


Plage de pressions 6,6 x 10-2 à 6,6 x 10-10 mbar



Plage de températures Fonctionnement 0 à + 40 °C Stockage - 30 à + 70 °C

AIGX - Jauge ionique active N° de commande AIGX-S NW25 D04850000AIGX-S DN16CF D04851000AIGX-S DN40CF D04852000

AIGX - Jauge ionique active

Choisir la longueur de câble requise3

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Sélectionner une option d'affichage

Contrôleur TIC

Le contrôleur d'instruments TIC permet un contrôle complet et affiche jusqu'à 6 jauges Edwards compatibles. Interface utilisateur intuitive, 6 points de consigne et logiciel Windows complet pour le contrôle et l'enregistrement de données.

Contrôleur numérique de jauges actives

Le contrôleur numérique de jauges actives (abrégé en ADC - Active Digital Controller) est un contrôleur de jauge unique compact avec affichage. Il comprend un affichage LED lumineux et des commandes simples à bouton-poussoir. L'ADC reconnaît automatiquement les jauges Edwards compatibles, charge la table de conversion appropriée et affiche la pression en unités de vide courantes.

Contrôleur numérique de jauges actives optimisé

Le contrôleur numérique de jauges actives optimisé est un contrôleur de jauges double compact, avec affichage. Il comprend un affichage LED lumineux et des commandes simples à bouton-poussoir pour deux jauges Edwards compatibles. L'ADC optimisé charge automatiquement la table de conversion appropriée et affiche la pression en unités de vide courantes.

Contrôleur Numéro de commande

Nombre max. de jauges

Nombre de points de consigne

Logiciel Windows Enregistrement de données

Contrôleur TIC (3 jauges) D39700000 3 3 Oui OuiContrôleur TIC (6 jauges) D39701000 6 6 Oui OuiContrôleur numérique de jauges actives (ADC)

D39590000 1 0 Non Non

Contrôleur numérique de jauges actives optimisé (eADC)

D39591500 2 2 Non Non

• Installation simple et prête à l'emploi

• Affichage LED lumineux pour une grande visibilité

• Choix des unités d'affichage - mbar, Torr, Pa

• Prise en charge des jauges APG100, APGXH et WRG

• Contrôle de deux jauges actives (de types différents)

• 2 relais de points de consigne• Commande simple par

bouton-poussoir• Interface RS232 et sortie

analogique• Prise en charge des jauges

APG100, APGXH, WRG et AIM

• Contrôleur universel pour 6 jauges actives maximum

• Modèle compact• Interface utilisateur graphique

clair et simple d’emploi• Programme de communication

série Windows™ pour PC comprenant un dispositif d'enregistrement de données et des sorties analogiques

• Interface RS232 et sortie analogique

• Prise en charge des jauges APG100, APGXH, WRG, AIM et AIGX

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MESURE DU VIDE JAUGES A VIDE

Composants et raccords de videLors de l’achat de composants de pompes à vide Edwards, vous êtes en droit d'attendre la qualité et le service que seul un fournisseur international de premier plan peut fournir. Nous savons que les brides et les raccords sont essentiels à la performance de votre système de vide. C'est la raison pour laquelle nous proposons uniquement des produits de haute qualité répondant aux spécifications les plus exigeantes.

Pratique : Fournisseur unique, capable de proposer la solution système complète en ligne ou par l'intermédiaire de centres d'approvisionnement locaux.

Haute qualité et fiabilité : Contrôle de précision du matériel pour garantir la fiabilité des performances de vide dans les applications sensibles ou exigeantes.

Vaste choix : Gamme complète en aluminium et acier inoxydable pour toutes les tailles de brides courantes.

Cette brochure détaille nos composants et vannes à bride les plus populaires. Veuillez vous reporter à notre catalogue produits complet ou visitez notre site à l'adresse www.edwardsvacuum.com pour obtenir une liste détaillée dans l'éventualité où un composant ne serait pas répertorié ici.

Assemblage de brides NWLes raccords NW, également connus sous le terme ISO-KF, sont extrêmement répandus. On les retrouve dans de nombreuses applications de vide (limite à poussé). Ces raccords sont parfaits pour obtenir des performances économiques et fiables jusqu'à 10-7 mbar dans des applications légères à difficiles. Une méthode de fixation simple implique un assemblage aisé des systèmes et l'obtention rapide d'un joint de vide étanche.

• Fabrication conforme aux normes ISO 2861 et DIN 28403 • Diamètres nominaux de 10 mm à 50 mm• Utilisation possible avec des joints en élastomère ou en aluminium • Choix du type de collier en fonction de l'application, de l'accès, de la

commodité et du coût• Pour une utilisation dans des applications de vide poussé : pressions

> 10-7 mbar

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Caractéristiques techniquesPlages de pressions de fonctionnement (valeur absolue)

Minimale Maximale

Les produits sont conçus pour les applications de vide ; certains peuvent toutefois résister à une légère surpression indiquée dans le tableau ci-dessous, le cas échéant.Collier « C » et anneau de centrage 10-7 mbar 1 barCollier de serrage en acier inoxydable et joint Co-Seal

10-7 mbar 10 bar

Collier de serrage en acier inoxydable et joint métallique 10-8 mbar 3 bar

Collier de serrage en acier inoxydable et joint Co-Seal (toutes tailles)

10-7 mbar 10 bar

Colliers de serrage en polymère et en aluminium et joint Co-Seal NW10 à NW25 NW40 à NW50

10-7 mbar10-7 mbar

10 bar10 bar

Joint torique avec bague de renfort NW 10-7 mbar 10 barJoint torique avec bague de renfort ISO 10-7 mbar 1 barJoint torique et anneau de centrage (usage sous vide uniquement)

10-7 mbar 1 bar

Soufflets 10-7 mbar 1 barConnexions flexibles (1) 10-7 mbar 1,5 barConnexions flexibles renforcées (1) 10-7 mbar 10 bar(1) En fonction de la taille

Température de fonctionnementJoint Co-Seal en polymère -10 à 80 °CJoint Co-Seal en aluminium et joint en nitrile -10 à 100 °C

Joint Co-Seal en aluminium et joint en fluoroélastomère -10 à 150 °C

Anneau de centrage en polymère et joint torique en nitrile

-10 à 100 °C

Anneau de centrage en polymère et joint en fluoroélastomère

-10 à 125 °C

Joint torique en nitrile -10 à 100 °CJoint torique en fluoroélastomère -10 à 150 °CCollier de serrage en polymère Utilisation constante sous vide Utilisation intermittente sous vide

-10 à 100 °C-10 à 125 °C

Collier de serrage en acier inoxydable -10 à 125 °CCollier articulé en aluminium -10 à 200 °CCollier de serrage en acier inoxydable -10 à 200 °CLa température maximale en fonctionnement continu avec le fluoroélastomère est de 150 °C. Il peut subir un étuvage intermittent à 200 °C.

Equivalents en acier inoxydableRéférence AISI Norme DIN Composition304L 1.4306 X2 CrNi 19 10

316L 1.4404 X2 CrNiMo 17 13 2

Résistance chimique

Matériau Généralement résistant à : Généralement attaqué par :NitrileCopolymère d'acrylonitrile-butadiène

Nombreux hydrocarbures, matières grasses, huiles, graisses, fluides hydrauliques

Ozone, cétones, esters, aldéhydes, hydrocarbures chlorés et nitrés

NéoprènePolymère de chloroprène

Acides et produits chimiques peu actifs, ozone, matières grasses, graisses, nombreux solvants

et huiles

Esters et acides oxydants puissants, cétones, hydrocarbures chlorés aromatiques et nitrés

FluoroélastomèrePolymère fluorocarboné

Tous les hydrocarbures aliphatiques, aromatiques et halogénés, acides, graisses animales

et végétales

Cétones, esters à faible poids moléculaire et composés nitrés

Aluminium Acides organiques et gras, fréons, acide nitrique Acides puissants, alcalis, solvants chlorés, mercure

Acier inoxydable Acides organiques, alcalis, acide nitrique. Acide sulfurique (10 %)

Chlores oxydants, certains acides organiques, acide chlorhydrique, acide fluorhydrique

PolymèrePolymère cristal liquide

Acides organiques, glycols, solvants chlorés, cétones, acides minéraux et oxydants, solutions

caustiques, fréons

Hydroxyde de sodium, acide sulfurique (70 %)

Ces informations ne sont fournies qu'à titre indicatif. Il convient de rechercher des informations complémentaires sur les produits chimiques spécifiques et leurs applications.

Nos composants et raccords sont conçus pour être étanches quelle que soit l'application et ne sont pas destinés à fournir un support structurel complet. Lors de la conception de tout système de vide, il est essentiel de tenir compte des charges statiques et dynamiques imposées à chaque raccord. Au besoin, il convient de prévoir un support mécanique supplémentaire et de l'intégrer à la conception. Une inspection régulière, impliquant un contrôle d'étanchéité et, le cas échéant, le remplacement périodique de composants, doit être envisagée pour garantir l'efficacité et la sécurité du système.

COMPOSANTS ET MATERIEL DE VIDE RACCORDS

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Collier à fermeture rapide

Taille de la bride Numéro de commandeAluminium Polymère

NW10/16 C10512402 C10512303NW20/25 C10514402 C10514303

NW32/40 C10516402 C10516303

Adaptateur de tuyau PVC

Taille de la bride DI du tuyau en (mm)

Numéro de commande

NW10 1/2" (12,7) C10504081NW16 1/2" (12,7) C10504104NW16 3/4" (19,1) C10504105NW25 1" (25,4) C10504225NW40 1 1/2" (38,1) C10504326

Collier pour tube PVC

Tube à poser DI du dispositif de retenue

Numéro de commande

NW10/16 25 mm C10512408NW20/25 36 mm C10514408NW32/40 50 mm C10516408

Collier de serrage en acier inoxydable

Taille de la bride Numéro de commande

NW10/16 C10512401NW20/25 C10514401NW32/40 C10516401

Collier articulé

Taille de la bride Numéro de commandeAluminium Polymère

NW10/16 C10512403 C10512304NW20/25 C10514403 C10514304NW43/40 C10516403 C10516404

COLLIERS, TUBES, VANNES ET ADAPTATEURS DE TUYAU

Les colliers illustrés incluent nos colliers de serrage en acier inoxydable standard et nos produits haut de gamme, les colliers articulés et à fermeture rapide. Ils sont disponibles en polymère, en aluminium et sont plus simples d'utilisation que les colliers de serrage.

La vanne à commande manuelle « speedivalve », facile à utiliser, constitue notre meilleure vente dans cette catégorie. Elle fournit directement une indication de l'état et est disponible avec une membrane en nitrile ou fluoroélastomère.

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Tube PVC renforcé, longueurs de 1 m

D Numéro de commandeReste du monde Amérique du Nord

1/2" S.O. A630122203/4" H02100016 U30021731" H02100017 A630123431 1/2" H02100018 430000484

Tube PVC renforcé avec brides NW et colliers pour tube

Bride Numéro de commande500 mm 1 000 mm

NW16 C10512055 C10512155NW25 C10514055 C10514155NW40 C10516055 C10516155

Vanne d'isolement à membrane Speedivalve SP

Taille de la bride Numéro de commandeMembrane en nitrile

Membrane en fluoroélastomère

NW10 C33105000 C33155000NW16 C33205000 C33255000NW25 C33305000 C33355000NW40 C33405000 C33455000

Connexions flexibles

Taille de la bride Numéro de commande250 mm de long 500 mm de long


Bride d'obturation

Taille de la bride Numéro de commandeAluminium Acier inoxydable


COMPOSANTS ET MATERIEL DE VIDE COMPOSANTS COURANTS

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Anneau de centrage (joint torique en nitrile)

Taille de la bride Numéro de commandeSupport en polymère

Support en aluminium

Support en acier inoxydable

NW10 C10511393 C10511398 C10511396NW16 C10512393 C10512398 C10512396NW25 C10514393 C10514398 C10514396NW40 C10516393 C10516398 C10516396

Anneau de centrage (joint torique en fluoroélastomère)



Support en acier inoxydable

NW10 C10511394 C10511397 C10511395NW16 C10512394 C10512397 C10512395NW25 C10514394 C10514397 C10514395NW40 C10516394 C10516397 C10516395

Joint torique avec bague de renfort (fluoroélastomère)

Taille de la bride Numéro de commande

NW10/16 C10512490NW20/25 C10514490NW32/40 C10516490

Joint Co-Seal (joint torique en nitrile)



NW10/16 B27158426 B27158480NW20/25 B27158447 B27158490NW32/40 B27158454 B27158500

Joint Co-Seal (joint torique en fluoroélastomère)



NW10/16 B27158427 B27158481NW20/25 B27158448 B27858491NW32/40 B27158453 B27858501

JOINTS TORIQUES, COUDES, RACCORDS EN CROIX, RACCORDS EN T ET REDUCTEURSCette page présente certains de nos composants matériels courants et, plus particulièrement, notre gamme de joints toriques NW. Elle comprend notre joint torique standard avec anneau de centrage disponible en nitrile ou fluoroélastomère avec les supports en polymère, aluminium et acier inoxydable.

Le choix du matériau dépend des exigences relatives à l'application et au dégazage, à la température de fonctionnement et à l'étanchéité. Les joints Co-Seal excluent le support du vide et présentent ainsi l'avantage supplémentaire d'éliminer les fissures et volumes piégés, sources de dégazages et d'instabilité. Les anneaux de centrage sont conçus exclusivement pour des applications de vide. En présence de pressions positives (comme sur les conduites d'échappement), des joints Co-Seals et des joints toriques avec bague de renfort doivent être utilisés. Ils disposent de supports qui maintiennent le joint torique des deux côtés, ce qui les rend parfaitement compatibles avec une utilisation de pression de vide et positive.

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Raccord réducteur


NW25/10 C10514436 C10514446NW25/16 C10514437 C10514447NW40/16 C10516438 C10516448NW40/25 C10516439 C10516449

Té

Taille de la bride Longueur Numéro de commandeAluminium Acier inoxydable

NW10 60 mm C10511412 C10511421NW16 80 mm C10512412 C10512421NW25 100 mm C10514412 C10514421NW40 130 mm C10516412 C10516421

Raccord en croix

Taille de la bride Longueur Numéro de commandeAluminium Acier inoxydable

NW10 60 mm C10511412 C10511422NW16 80 mm C10512412 C10512422NW25 100 mm C10514412 C10514422NW40 130 mm C10516412 C10516422

Coude à 90°



COMPOSANTS ET MATERIEL DE VIDE COMPOSANTS COURANTS

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Une assistance de confianceChez Edwards, nous sommes fiers de développer des solutions de service optimales et à forte durée opérationnelle pour nos clients. Commodité, qualité et valeur sont au cœur de toutes nos activités. Que vous recherchiez une aide et des conseils immédiats ou un partenaire de service au profil complet pour une relation sur le long terme, la performance de votre activité est notre priorité.

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L'entretien des systèmes, un gage de longévitéProlongez au maximum la durée de vie de votre produit en assurant régulièrement son entretien avec des pièces et des outils d'origine. Edwards peut vous apporter son concours avec des pièces détachées, des kits d'entretien, des outils et des formations. Combiner la fiabilité de pièces détachées d'origine à des outils de qualité est le meilleur moyen pour vous de ne rencontrer aucun problème de fonctionnement pendant des années.

Des solutions de réparation complètesSi vos produits nécessitent davantage qu'un simple entretien courant, Edwards propose un ensemble complet de solutions de réparation, révision et « réusinage ». Toutes ces prestations sont couvertes par l'assurance de la garantie du fabricant. Edwards propose des services forfaitaires pour une intervention rapide et une budgétisation simple ou une tarification variable reflétant les besoins propres à la réparation. Tous les services de « réusinage » sont réalisés dans le respect des normes les plus drastiques à l'aide de procédures d'assemblage et d'essai éprouvées, développées dans nos usines.Si vous êtes pressé par le temps, un produit de remplacement de notre stock local peut généralement vous être fourni en quelques heures.

Une gestion efficace de l'entretienPour toute société, l'anticipation est la clé de la réussite. La gestion de l'entretien consiste à accéder aisément aux services adéquats au moment opportun. Un entretien planifié régulier est crucial pour identifier des problèmes potentiels avant leur survenue. Éviter les temps d'arrêt non programmés est essentiel pour parvenir à des performances opérationnelles exceptionnelles et abaisser les frais d'investissement et de fonctionnement. Nos techniciens de maintenance qualifiés peuvent vous aider à surveiller et à entretenir votre système de vide de manière à éviter des réparations ponctuelles onéreuses et gérer la maintenance selon un budget défini dans le cadre d'un accord.

Des économies sans compromisLes produits « CERTIFIÉS Edwards » sont des produits d'origine « réusinés » qui constituent un moyen économique de développer, mettre à niveau ou remplacer vos installations sans pour autant faire de compromis sur la qualité, la fiabilité ou les performances Tout comme nos produits d'échange, les produits « certifiés » sont testés comme s'ils sortaient d'usine et sont garantis 12 mois. Ils sont livrés avec les accessoires d'origine et les manuels nécessaires à une installation aisée.

Une tranquillité d'esprit préservéeÉtendre la garantie d'un équipement neuf vous donne simplement l'occasion de faire cette acquisition avec sérénité. En cas de panne due à un défaut de fabrication, l'équipement est réparé ou remplacé sans délai. La couverture de la garantie s'applique à de nombreux produits et permet de prolonger la garantie d'origine du fabricant de 12 mois à 2 ans, et même au-delà.

Votre partenaire mondialNous comprenons parfaitement l'importance que vous accordez à une assistance locale. Edwards dispose d'un certain nombre d'installations de maintenance majeures réparties dans le monde entier. Chaque site est géré par une équipe conséquente d'ingénieurs et de techniciens, dont la mission consiste à apporter une réponse locale rapide et un service de grande qualité. Toutes nos opérations de service sont réalisées selon les normes internationales les plus strictes, conformément aux spécifications ISO 9001 (Qualité), ISO 14001 (Environnement) et OHSAS 18001 (Sécurité du lieu de travail).

SOLUTIONS DE SERVICE

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Guide de références

Tableau de conversion de pressionmbar bar torr Pa atm in Hg mm Hg in H2O psi

1 mbar = 1 1 x 10-3 0,75 100 9,87 x 10-4 2,95 x 10-2 0,75 0,40 1,45 x 10-2

1 bar = 1 000 1 750 1 x 105 0,987 29,53 750 402 14,51 torr = 1,33 1,33 x 10-3 1 133 1,32 x 10-3 3,94 x 10-2 1 0,54 1,93 x 10-2

1 Pa = 1 x 10-2 1 x 10-5 7,50 x 10-3 1 9,87 x 10-6 2,95 x 10-4 7,50 x 10-3 4,01 x 10-3 1,45 x 10-4

1 atm = 1 013 1,013 760 1,01 x 105 1 29,92 760 4,07 x 102 14,71 in Hg = 33,86 3,39 x 10-2 25,4 3,39 x 103 3,34 x 10-2 1 25,4 13,6 0,4911 mm Hg = 1,33 1,33 x 10-3 1 133 1,32 x 10-3 3,94 x 10-2 1 0,54 1,93 x 10-2

1 in H2O = 2,49 2,49 x 10-3 1,868 249 2,46 x 10-3 7,36 x 10-2 1,868 1 3,61 x 10-2

1 psi = 68,95 6,89 x 10-2 51,7 6,89 x 103 6,80 x 10-2 2,036 51,7 27,68 1

Tableau de conversion des taux de fuitembar ls-1 torr ls-1 atm cm3 s-1 atm ft3 min-1 kg h-1 air (20 °C)

1 mbar ls-1 = 1 0,75 0,987 2,09 x 10-3 4,28 x 10-3

1 torr ls-1 = 1,33 1 1,32 2,80 x 10-3 5,70 x 10-3

1 atm cm3 s-1 = 1,013 0,76 1 2,12 x 10-3 4,33 x 10-3

1 atm ft3 min-1 = 478,1 358,7 471,9 1 2,0441 kg h-1 air (20 °C) = 234 175 231 0,489 1

Unités de vitesse de pompagels-1 l min-1 ft3 min-1 m3 h-1

1 ls-1 = 1 60 2,12 3,601 l min-1 = 0,0167 1 0,0353 0,061 ft3 min-1 = 0,472 28,32 1 1,701 m3 h-1 = 0,278 16,67 0,5890 1

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Description Formule Unités

Taux de dégazage

QTotalTaux de dégazage total (mbar.litre.sec)

qnTaux de dégazage de matériau (mbar.litre.sec-1.cm-2)

An Surface du matériau (cm2)

Formules de valeurs communesConductance :

Conductance - série :

Conductance - parallèle :


ConductanceCQ

P1 P2

ConductanceDébitPressions amont et aval


Temps de pompage : (vitesse de pompage constante)

T Temps (secondes)

V Volume (litres)

S Vitesse (litres.s-1)

P1 P2Pression (unités similaires)


Vitesse de pompage

S Vitesse de pompage (litre.s-1)

Q Débit (mbar.litre.s-1)

P Pression (mbar)

Charge de gaz :


Pression limite

PUlimate Pression limite (mbar)

QTotalCharge de gaz totale sur le système (mbar.litre.sec-1)

SEffectiveVitesse de pompage effective (litre.sec-1)

Vitesse de pompage :


Vitesse de pompage effective : (pompe avec un tuyau en série)

S Effective S Pump C Pipe

= +1 1 1

S EffectiveVitesse de pompage effective

(mbar.litre.sec-1)

S PumpVitesse de la pompe

(litre.sec-1)

C PipeConductance du tuyau

(litre.sec-1)

QP1 P2

C=CQ

( P1 - P2 )


Conductances, série

CTotal Conductance totale de n éléments en série=

1CTotal

n

1

1Cn


Conductances, parallèle

CTotal Conductance totale de n éléments en parallèle=CTotal

n

1

Cn

Chambre

Tuyau

Pompe

S Effective

C Pipe

S Pump

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Remarques

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Remarques

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