Élaboration et caractérisation de matériaux à très faible
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UNIVERSITÉ JOSEPH FOURIER École Doctorale : Électronique, Électrotechnique, Automatique & Traitement du Signal THÈSE pour obtenir le grade de DOCTEUR DE L’UNIVERSITÉ JOSEPH FOURIER Discipline : Micro et Nano Électronique Élaboration et caractérisation de matériaux à très faible constante diélectrique de type a-SiOCH élaborés par PECVD : application aux interconnexions des circuits intégrés Thèse présentée et soutenue publiquement le 10 décembre 2008 par Olivier GOURHANT JURY Rapporteur : Bernard AGIUS (Professeur) CNRS - LPGP Rapporteur : Jean-Luc AUTRAN (Professeur) CNRS - L2MP Président : André AYRAL (Professeur) CNRS - IEM Examinateur: Laurent FAVENNEC (PhD) STMicroelectronics Examinateur : Patrice GONON (HDR) CNRS - LTM Examinateur : Vincent JOUSSEAUME (HDR) CEA - Leti Examinateur : Youssef TRAVALY (PhD) IMEC Directeur de thèse : Gilbert VINCENT (Professeur) CNRS - LTM
Élaboration et caractérisation de matériaux à très faible
