Plate forme de caractérisation

Née il y a 10 ans Électrique

Hyperfréquence Optique

Microsystèmes

Organisation et fonctionnement

Locaux

Quelques exemples… électriques

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très faible courant sous pointes mode manuel Résolution = 1fA Vmax = ± 200VTempérature max = 300°C

moyenne et forte puissance mode semi-automatique I max = 10A pulsé, Vmax = 1kVTempérature max = 225°C

Caractérisation I(V)

Fréquence max = 110 MHz Vmax = ± 42V

Mesure d’impédances

Effet Hall

Mesure de résistivité de 0.1M/ à 100G / Aimant de 0.32TTempérature : ambiante et 77°K

Quelques exemples… électriques

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Stress TLP (impulsion de 100ns, 7A) Very-Fast TLP (5ns, 20A) HBM

Mesure EMMI (Emission MIcroscopy) d’une structure de protection ESD durant un stress TLP

Test sous pointes aux Décharges électrostatiques (ESD)

Quelques exemples…hyperfréquences

Mesure de bruitMesure de bruit Fiabilité MEMSFiabilité MEMS

BF > 1Hz, HF < 40GHz BF > 1Hz, HF < 40GHz + bruit de phase+ bruit de phase

6w à 10GHz + 6w à 10GHz + caméra IRcaméra IR

0

lw

Quelques exemples…hyperfréquences

Mesure de paramètres s

Sous pointes 110GHz,

sous pression de 6 bars

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Quelques exemples… optiques

Photoluminescence UV et gain Diodes Laser

Application à l’optique ophtalmique Laboratoire commun LAAS-ESSILOR

Expérimentation mutualisée

Caractérisations de composants Laser semi-conducteur III-V

Microlentilles polymèresDiamètre 40µm

Diffraction / Diffusion de composants transparents

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Développement optique vers les nanobiotechnologies

Méthodes optiques pour l’étude des réplications cellulaires

FCS : Fluorescence Correlation Spectrocopy

Quelques exemples… microsystèmes

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Par matrice de micro-plumes

Par mesure paramètres IS-FET

Robot de dépôt

Mesure de variation de PH

Quelques exemples… microsystèmes

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Mesure optique de

déformation de membrane

profilomètre

Fonctionnement

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• Cellule de pilotage : Présidée par le responsable du pôle MINAS, incluant des chercheurs utilisateurs, et les IT affectés à cette PF

• Support technique : 7 personnes, 5 ETP

• Réservation :En ligne sur intranet, pour les bancs mutualisés

Pour nous joindre : carac@laas.frhttp://www2.laas.fr/laas/1-5346-Plate-forme-Caracterisation.php

La caractérisation aujourd’hui

Electrique Hyper-fréquences OptiqueMicro-

systèmes

Surface 160 m² 200 m² 220 m² 210 m²

Types de mesures

- Tests paramétriques- Mesure d’impédance- Caractérisation de substrats et composants discrets

- Mesure de bruit - Mesure param. S- Test de fiabilité de commutateurs MEMS- Mesures DC : impulsion, continu et analyse impédance basse fréquence)- Mesures hyper-opto- Une zone d’assemblage

-Tests paramétriques (puissance, V(I))- Caractérisation composants- Spectroscopie- Réflectivité- Photoluminescence- Diffraction

- Caractérisation mécanique- Microsystèmes pour la chimie et la biologie- Systèmes de dépôts- Caractérisations spécifiques

BudgetFonctionnement

100 k€ hors achat d’équipement

BudgetÉquipement

6 millions d’euros

Personnel 5 équivalents temps plein, ingénieurs et techniciens, en support ‘IG’

200 utilisateurs (chercheurs, doctorants, extérieurs)