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SMS 曝光機設備監測
功能簡介
產業應用-智慧工廠
SMS(Signal Monitor System) 系統主要功能是將曝光機設備所產生的基板訊號，藉由量測工具平台將訊號紀錄並顯示訊號波形與頻譜，並分析與監測設備性能，依此推測產品生過程中的穩定性。
產品簡介
架構說明
Plate Flatness提供每一片曝光過程中的 AF 追焦資料，並建立相應的資料庫訊息，並可結合整片基板的生產訊息。
Stage Posture Monitor將 Stage 移動精度狀況 (包含 Mask Stage 移動、 Plate Stage 移動、同期精度)，以時頻分析等等工具監控
Stage Flatness機台使用一段時日，硬體狀況隨之緩慢變化，Stage Flatness 可以協助客戶建立經時變化管理，以及避免生產品質發生變異。
曝光機 Real Time Analysis
IPC & Display
LAN
RawFeatureIndexWarning/Error
RawFeatureIndex
Server
CIM
Off line Analysis
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