7/18/2019 Capture.pdf

http://slidepdf.com/reader/full/capturepdf-56d5445e0db21 1/1

Les €tudes portent principaleme nt sur deux asp ects :

- les propr i€t€s hygroscopiques du m at€r iau se ns ible, ou la facu

une c onstan te di€lectrique sensible • la prise d'hum idit€.

- la configuration des €lectrodes dispos€e pour g€n€rer le cha

optimiser la diffusion de l'humidit€ (obstru€e par les €lectrod

cham p €lectrique au ssi uniform e que possible [49].

Exem ple de capteu r d'hum idit€ capaci t if en Si poreu x [45]. Ce

silicium poreux. Le principe du capteur repose sur un d€p

Cr/Au/Cr • la surface d 'une cou che de Si poreux €paisse de I u