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Gravure en plasma dense fluorocarboné
de matériaux organosiliciés à faible constante diélectrique (SiOCH, SiOCH
poreux). Etude d’un procédé de polarisation
pulséeVanessa RABALLAND
5 juillet 2006
Institut des Matériaux Jean Rouxel de Nantes, Plasmas et Couches Minces
Encadrée par Christophe CARDINAUD et Gilles CARTRY
2
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Application en microélectronique
Augmenter l’intégration : diminuer la taille des transistors et des interconnexions
Augmenter la fréquence des microprocesseurs : diminuer le temps de transfert des données
Introduction5 cm
200 nm
30 nm
3
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Réduction d’échelle
CN
CN
CLCL
R
Délai d’interconnexions RC
o rSCd
• Diminuer la capacité entre les lignes métalliques en diminuant la constante diélectrique r du matériau isolant
SiO2 (r~4,1) SiOCH (r~2,9) SiOCH poreux (r~2,2)
• Diminuer la résistivité du métal Al Cu
Introduction
4
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Réduction d’échelle
CN
CN
CLCL
R
Délai d’interconnexions RC
o rSCd
• Diminuer la capacité entre les lignes métalliques en diminuant la constante diélectrique r du matériau isolant
SiO2 (r~4,1) SiOCH (r~2,9) SiOCH poreux (r~2,2)
• Diminuer la résistivité du métal Al Cu
Introduction
5
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Intégration des interconnexions : Procédé damascène
Gravure des vias
Lithographie de la ligne
Gravure de la ligne
Retrait résine et couches
d’arrêt
Dépôt de cuivre
Diélectrique
Cuivre
Résine
Couche d’arrêt de gravure
Masque dur
• Dépôt et Gravure du diélectrique
• Remplissage de cuivre
Introduction
6
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Gravure des vias
Lithographie de la ligne
Gravure de la ligne
Retrait résine et couches
d’arrêt
Dépôt de cuivre
Diélectrique
Cuivre
RésineMasque dur
• Dépôt et Gravure du diélectrique
• Remplissage de cuivre
Introduction
Couche d’arrêt de gravure
Intégration des interconnexions : Procédé damascène
7
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Intégration des interconnexions : Procédé damascène
Gravure des vias
Lithographie de la ligne
Gravure de la ligne
Retrait résine et couches
d’arrêt
Dépôt de cuivre
Diélectrique
Cuivre
RésineMasque dur
• Dépôt et Gravure du diélectrique
• Remplissage de cuivre
Graver de façon anisotrope et sélective vis à vis du masque ou de la couche d’arrêt de gravure
Introduction
Couche d’arrêt de gravure
8
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
masque
Couche d’arrêt
Gravure par plasma du matériau diélectrique
CHF3 + e- CHF2 + F + e-
CHF2 + e- CHF2+ + 2e-
…
Ions +
Substrat polarisé négativement
Produits volatiles
neutres
Film de passivation
IntroductionProduits volatiles
9
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
masque
Couche d’arrêt
Gravure par plasma du matériau diélectrique
CHF3 + e- CHF2 + F + e-
CHF2 + e- CHF2+ + 2e-
…
Ions +
Substrat polarisé négativement
Produits volatiles
IntroductionProduits volatiles
ions
10
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Gravure par plasma du matériau diélectrique
Introduction
Caractéristiques demandées Paramètres ajustables
- Vitesse de gravure (200 nm/min)
- Sélectivité/ masque dur et couche d’arrêt (>10)
- Anisotropie
- Mélange de gaz
- Flux d’ions
- Energie des ions
CHF3 + e- CHF2 + F + e-
CHF2 + e- CHF2+ + 2e-
…
Ions +
Substrat polarisé négativement
Produits volatiles
11
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Gravure par plasma du matériau diélectrique
CHF3 + e- CHF2 + F + e-
CHF2 + e- CHF2+ + 2e-
…
Ions +
Substrat polarisé négativement
Produits volatiles
Caractéristiques demandées Paramètres ajustables
- Vitesse de gravure (200 nm/min)
- Sélectivité/ masque dur et couche d’arrêt (>10)
- Anisotropie
- Mélange de gaz
- Flux d’ions
- Energie des ions
- Pulse de la tension de polarisation
Introduction
12
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Réacteur de gravure
Source
Porte-substrat
Réacteur de gravure
Echantillon
Introduction
13
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Réacteur de gravure
Ellipsomètre spectroscopique
Chambre d’analyse chimique de surface
Transfert sous vide
Introduction
14
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Réacteur de gravure
Introduction
15
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
But de l’étude et plan de l’exposé
Etudier un nouveau procédé de gravure sélective de SiOCH poreux vis à vis de SiO2 et SiCH
Etude d’un nouveau procédé : polarisation pulsée
Mécanismes de gravure en polarisation pulsée
Compréhension du procédé de gravure pulsée
Conclusion et perspectives
16
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
But de l’étude et plan de l’exposé
Etudier un nouveau procédé de gravure sélective de SiOCH poreux vis à vis de SiO2 et SiCH
Etude d’un nouveau procédé : polarisation pulsée
Mécanismes de gravure en polarisation pulsée
Compréhension du procédé de gravure pulsée
Conclusion et perspectives
Polarisation pulsée
17
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Gravure en plasma de CHF3 : Polarisation continue
gravuredépôt
0 50 100 150 200 250-200
0
200
400
600
800
1000
SiCH
SiO2
SiOCH poreux
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Tension (-V)
SiOCH poreux
SiO2
SiCH2
( )
( )g
g
V SiOCH poreuxS
V SiO ou SiCH
• Pourquoi pulser ?
Polarisation pulsée
S/SiO2 = 2
S/SiCH = 6faible
0 50 100 150 200 2500
10
20
30
40
50
Sél
ectiv
ité
Tension de polarisation (-V)
Générateur RF 13.56 MHz
Champ magnétique
Gaz : CHF3, C2F6,
H2, O2, Ar, N2
Polarisation porte substrat
Générateur RF 13.56 MHz
analyseurpolariseur
Ellipsomètre Woollam
88 longueurs d’onde
Générateur RF 13.56 MHz
Champ magnétique
Gaz : CHF3, C2F6,
H2, O2, Ar, N2
Polarisation porte substrat
Générateur RF 13.56 MHz
analyseurpolariseur
Ellipsomètre Woollam
88 longueurs d’onde
1500 W 5 mTorrCHF3 : 40 sccm
18
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Pourquoi pulser la tension de polarisation ?
gravuredépôt
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pol
aris
atio
n
gravure
dépôt
0 50 100 150 200 250-200
0
200
400
600
800
1000
SiCH
SiO2
SiOCH poreux
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Tension (-V)
• Pourquoi pulser ?
Polarisation pulsée
Générateur RF 13.56 MHz
Champ magnétique
Gaz : CHF3, C2F6,
H2, O2, Ar, N2
Polarisation porte substrat
Générateur RF 13.56 MHz
analyseurpolariseur
Ellipsomètre Woollam
88 longueurs d’onde
Générateur RF 13.56 MHz
Champ magnétique
Gaz : CHF3, C2F6,
H2, O2, Ar, N2
Polarisation porte substrat
Générateur RF 13.56 MHz
analyseurpolariseur
Ellipsomètre Woollam
88 longueurs d’onde
1500 W 5 mTorrCHF3 : 40 sccm
19
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Influence des paramètres de pulse sur les vitesses de gravure
• Fréquence
Peu d’influence
ONTrc
T• Rapport cyclique
0 50 100 150 200 250 300-200
0
200
400
600 10 kHz 1 kHz 500 Hz 50 Hz
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Tension de polarisation (-V)
SiOCH poreux CHF3 1500W 5mTorr
rc=0,50
0 50 100 150 200 250 300-200
0
200
400
600
800
1000 continu 0.50 0.35 0.25
CHF3 40sccm 5mTorr 1500W 1kHz =f(dc)
SiOC poreux
janv050.500.450.400.350.300.25
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm
/min
)
Tension de polarisation (-V)
SiOCH poreux CHF3 1500W
5mTorr
f = 1 kHz
Diminution de la vitesse de gravure
Décalage du seuil dépôt-gravure
• Paramètres de pulse
Polarisation pulsée
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pola
risa
tion
TON
TOFF
T=1/f
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pola
risa
tion
TON
TOFF
T=1/f
20
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
rc=0.25
rc=0.50
0 50 100 150 200 250 300 350-200
0
200
400
600
800
1000
SiCH
SiO2
SiOCH poreux
V
itess
e d
e g
ravu
re (
nm
/min
)
Tension (-V)0 50 100 150 200 250 300 350
-200
0
200
400
600
SiCH
SiO2
SiOCH poreux
Vite
sse
de
gra
vure
(n
m/m
in)
Tension (-V)
rc=0,50
0 50 100 150 200 250 300 350
-100
0
100
200
300
400
SiCH
SiO2
SiOCH poreux
Vite
sse
de
gra
vure
(n
m/m
in)
Tension (-V)
rc=0,25
Vitesse de gravure et sélectivité en CHF3 avec polarisation pulsée
SiOCH poreux
SiO2
SiCH
continu
continu
0 50 100 150 200 250 300 3500
10
20
30
40
50
Sél
ectiv
ité
Tension de polarisation (-V)
Polarisation pulsée
• Gravure en polarisation pulsée
rc=1
0 50 100 150 200 250 300 3500
10
20
30
40
50
S / SiO2
S / SiCH
Sél
ectiv
ité
Tension de polarisation (-V)
21
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Influence du plasmaAddition d’Argon à CHF3
CHF3/Ar (50%-50%)
SiOCH poreux
50 100 150 200 250
rc=0.25
rc=0.50continu
CHF3 40sccm 5mTorr 1500W 1kHz =f(Ar)
Sél
ectiv
ité
Tension de polarisation (-V)
S/SiO2
Sélectivité SiOCH poreux / SiCH :
rc=0.50 : peu d’amélioration / mode continu
rc=0.25 : sélectivités plus élevées
Sélectivité SiOCH poreux / SiO2 :
rc=0.50 : pas d’amélioration / mode continu
rc=0.25 : séléctivités améliorées
0 50 100 150 200 2500
1020304050
rc=0.25
rc=0.50
continu
Sél
ectiv
ité
Tension de polarisation (-V)
S/SiCH
0 50 100 150 200 250
0
200
400
600
800
rc=0.25
rc=0.50
continu
Vite
sse
de
gra
vure
(n
m/m
in)
Tension de polarisation (-V)
Polarisation pulsée
• Gravure en polarisation pulsée
22
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Influence du plasmaAddition d’hydrogène à CHF3
CHF3/H2 (75%-25%)
SiOCH poreux
50 100 150 200 250
continu
rc=0.50
rc=0.25
CHF3 40sccm 5mTorr 1500W 1kHz =f(Ar)
Tension de polarisation (-V)
S/SiO2
0 50 100 150 200 2500
1020304050
rc=0.25
rc=0.50
continu
Sé
lect
ivité
Tension de polarisation (-V)
S/SiCH
Sélectivité SiOCH poreux / SiCH:
Peu d’amélioration entre les modes continu et pulsé à rc=0,50
Augmentation de la sélectivité à rc=0.25
Sélectivité SiOCH poreux / SiO2:
Augmentation de la sélectivité en diminuant le rapport cyclique
• Gravure en polarisation pulsée
0 50 100 150 200 250
0
200
400
600
800
rc=0.25
rc=0.50
continu
Vite
sse
de
gra
vure
(n
m/m
in)
Tension de polarisation (-V)
Polarisation pulsée
23
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
rc=0,25
0
50
100
150
200
continu CHF
3/Ar (50-50%)
CHF3
CHF3/H
2 (75-25%)
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Augmentation de l’espace
L=300nmE=200/400/600nm
Transfert de motifs
CHF3
rc=0,25 170V ~ 90nm/min
CHF3/H2 (75%-25%)
rc=0,50 110V ~120nm/min
Anisotropie, transfert de motifs correct lorsque la tension de polarisation est pulsée
diminution du phénomène d’ARDE
• Transfert de motifs
Polarisation pulsée
L E
24
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Bilan sur le procédé « polarisation pulsée »
En diminuant le rapport cyclique :
Décalage du seuil dépôt-gravure vers les plus fortes énergies des ions + différenciation du seuil entre SiOCH poreux et SiO2 ou SiCH
Amélioration de la sélectivité de gravure SiOCH poreux/SiCH et SiOCH poreux/SiO2
En polarisation pulsée :
Transfert de motifs réalisable
Diminution du phénomène d’ARDE
Polarisation pulsée
25
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
But de l’étude et plan de l’exposé
Etudier un nouveau procédé de gravure sélective de SiOCH poreux vis à vis de SiO2 et SiCH
Etude d’un nouveau procédé : polarisation pulsée
Mécanismes de gravure en polarisation pulsée
Compréhension du procédé de gravure pulsée
Conclusion et perspectives
26
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
But de l’étude et plan de l’exposé
Etudier un nouveau procédé de gravure sélective de SiOCH poreux vis à vis de SiO2 et SiCH
Etude d’un nouveau procédé : polarisation pulsée
Mécanismes de gravure en polarisation pulsée
Compréhension du procédé de gravure pulsée
Conclusion et perspectives
Mécanismes de gravure
27
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Comparer les mécanismes de gravure en polarisation pulsée et
continue
Mécanismes de gravure
En polarisation pulsée : le plasma est inchangé / mode continu Seule l’énergie des ions varie
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
SiOCH poreux
SiO2
SiCH
En polarisation pulsée : modèle de surface ?
Mécanismes de gravure :
Plasma
Surface des matériaux Interaction plasma-surface
28
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
SiCH : Modèle de surface et mécanisme de gravure
[Eon04]
Modèle bi-couche : - couche CFx
- couche d’interaction SiFx
D. Eon, Thèse de doctorat, Université de Nantes, 2004
SiCH
SiFx
CFx
.exp FCg
eV F
L Mécanismes de
gravure
• SiCH
Epaisseur CFx limite la diffusion du fluor du plasma vers SiCH
29
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
295 290 285 2800
5000
Inte
nsité
(C
PS
)
Energie de liaison (eV)
continuAvant gravure C 1s
106 104 102 100 980
2000
4000
Inte
nsité
(C
PS
)
Energie de liaison (eV)
continu
Si 2p
rc=0.50rc=0.25
• En polarisation pulsée Peu de variations Epaisseur CFx importante limite la gravure de SiCH
Plasma CHF3/Ar (50%-50%) 1500W 5mTorr 200V
SiCH : Modèle de surface et mécanisme de gravure
• En polarisation continue Présence de CFx, SiFx
Epaisseur CFx importante (~3nm) limite la gravure
Modèle de surface SiCH identique en polarisation continue et pulsée
Mécanismes de gravure
• SiCH
SiCH
SiFx
CFx
SiF3
SiF2
SiFSi-C
C-Si
CF3
CCFx
CF2
CF
rc=0.50
rc=0.25
30
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
SiO2 : Modèle de surface et mécanisme de gravure
Deux régimes de gravure [Oehrlein94][Gaboriau05]:
- Faible énergie des ions : Epaisseur CFx importante limite la diffusion du fluor du plasma vers SiO2
- Forte énergie des ions : Epaisseur CFx faible non limitante Composition du plasma
Oehrlein et al., J. Vac. Sci. Technol. A 12, p.333, 1994Gaboriau et al., J. Vac. Sci. Technol. A 23, p.226, 2005
Mécanismes de gravure
• SiO2
SiO2
SiO(CFx)
SiO2
CFx
31
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
rc=0.50
rc=0.25
SiO2 : Modèle de surface et mécanisme de gravure
Plasma CHF3/Ar (50%-50%) 1500W 5mTorr 200V
rc=0.50
rc=0.25
295 290 285 2800
600
1200
Inte
nsité
(C
PS
)
Energie de liaison (eV)
continuC 1s
110 108 106 104 102 100 980
5000
10000
Inte
nsité
(C
PS
)
Energie de liaison (eV)
Avant gravure
continuSi 2p
SiO2
SiO(CFx)
• En polarisation continue Présence de CFx + faible diminution Si 2p Epaisseur CFx faible (~1nm) non limitante
• En polarisation pulsée Augmentation des CFx + faible diminution Si 2p Epaisseur CFx faible non limitante
Modèle de surface SiO2 identique en polarisation continue et pulséeMécanismes de
gravure
• SiO2
SiO2
CFx
32
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
rc = 0 .5 0
rc = 0 .2 5
A rD 5 _ D A rE 5 _ D # # # # # # # # #
S i 2 p
S iO C p o re u x
SiOCH poreux : Modèle de surfaceanalyse XPS
108 106 104 102 100 980
2000
4000
6000
8000 avant gravure
continu
Inte
nsité
(C
PS
)
Energie de liaison (eV)
Si 2prc=0.25
rc=0.50
• En polarisation pulsée Forte augmentation des composantes CFx Pic Si 2p inchangé
• En polarisation continue Présence de CFx Pic Si 2p : sensible élargissement
Plasma CHF3/Ar (50%-50%) 1500W 5mTorr 200V
296 294 292 290 288 286 284 282 2800
1000
2000
3000
continu
Inte
nsité
(C
PS
)
Energie de liaison (eV)
C 1sMécanismes de
gravure
• SiOCH poreux
Pas de couche d’interaction, présence de CFx
33
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
1 0.5 0.25 1 0.5 0.252000
3000
4000
5000
6000
7000
8000CHF
3/H
2 (75%-25%)CHF
3
CFx - 0°
Inte
nsité
(C
PS
)
Rapport cyclique
CFx - 70°
1 0.5 0.25 1 0.5 0.2520000
30000
40000
50000
60000
70000CHF
3/H
2 (75%-25%)CHF
3
F - 0°
Inte
nsité
(C
PS
)
Rapport cyclique
F - 70°
En polarisation continue ET pulsée : F et CFx présents sur toute l’épaisseur sondée Pas de gradient de concentration
dans l’épaisseur sondée
~10nm
0°
~2nm
70°
SiOCH poreux : Modèle de surfaceanalyse XPS angulaire
Mécanismes de gravure
• SiOCH poreux
[Possémé04] : Diffusion d’espèces CFx dans le matériau poreux
Gravure : Compétition entre la formation de la couche modifiée (SiOCH+CFx) et la gravure du matériau poreux
Possémé et al., J. Vac. Sci. Technol. B 22, p.2772, 2004
34
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
SiOCH poreux : Modèle de surface
CHF3 1kHz dc=0.50 100V
• MEB surface rugueuse après gravure en polarisation continue ou pulsée
Plasma polymérisant et faible énergie des ions favorisent le dépôt
CFx
Mécanismes de gravure
• SiOCH poreux
CFx
SiOCH poreux
35
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
[Sankaran03]
Morphologie (porosité, diamètre des pores) favorise la pulvérisation du matériau
SiOCH poreux / SiOCH dense
1norm poreuxg gV V p
Gravure du matériau poreux plus efficace que celle du matériau dense en polarisation continue ET pulsée
CHF3/Ar (75-25%) CHF3/Ar (50-50%) CHF3/H2 (75-25%) CHF3/H2 (50-50%) CHF3
0 100 200 300 400
0
200
400
600
800
1000
Tension de polarisation (-V)
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
SiOCH poreux
SiOCH
CHF3 continu
0 50 100 150 200 250 300
-100
0
100
200
300
400
CHF3/Ar (75-25%) CHF3/Ar (50-50%) CHF3/H2 (75-25%) CHF3/H2 (50-50%) CHF3
Vite
sse
de g
ravu
re (nm
/min
)
Tension de polarisation (-V)
CHF3 rc=0.25
SiOCH poreux
SiOCH
Mécanismes de gravure
• SiOCH poreux
Sankaran et al. Appl. Phys. Lett. 82(12) 2003
36
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Bilan sur les mécanismes de gravure en polarisation pulsée
En polarisation pulsée :
• Le plasma est inchangé
• Les modèles de surface des différents matériaux sont identiques en polarisation continue et pulsée
Mécanismes de gravure en polarisation pulsée similaires à ceux en polarisation continue
MAIS le procédé de gravure diffère
• diminution des vitesses de gravure en diminuant le rapport cyclique
• décalage du seuil dépôt-gravure vers les plus fortes énergies des ions
Comment fonctionne le procédé de gravure en polarisation pulsée ?
Mécanismes de gravure
37
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
But de l’étude et plan de l’exposé
Etudier un nouveau procédé de gravure sélective de SiOCH poreux vis à vis de SiO2 et SiCH
Etude d’un nouveau procédé : polarisation pulsée
Mécanismes de gravure en polarisation pulsée
Compréhension du procédé de gravure pulsée
Conclusion et perspectives
38
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
But de l’étude et plan de l’exposé
Etudier un nouveau procédé de gravure sélective de SiOCH poreux vis à vis de SiO2 et SiCH
Etude d’un nouveau procédé : polarisation pulsée
Mécanismes de gravure en polarisation pulsée
Compréhension du procédé de gravure pulsée
Conclusion et perspectives
Procédé pulsé
39
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pol
aris
atio
n
TON : gravure
TOFF : dépôt
Etape de gravure en polarisation pulsée
0
2
4
6
8
10
Epaisseur F
C (nm
)
0.0 0.5 1.0 1.5120
130
140
150
Epa
isse
ur S
i (nm
)
Temps de gravure (min)
CHF3 100mHz - rc=0.5 150V
A basse fréquence
Si
CFx
Phase 1 : dépôt FC1
Procédé pulsé
• Modélisation
40
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pol
aris
atio
n
TON : gravure
TOFF : dépôt
Etape de gravure en polarisation pulsée
0
2
4
6
8
10
Epaisseur F
C (nm
)
A basse fréquence
Si
CFx
Phase 1 : dépôt FC1 Phase 2 : gravure FC2
xTProcédé pulsé
• Modélisation
0.0 0.5 1.0 1.5120
130
140
150
Epa
isse
ur S
i (nm
)
Temps de gravure (min)
CHF3 100mHz - rc=0.5 150V
41
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pol
aris
atio
n
TON : gravure
TOFF : dépôt
Etape de gravure en polarisation pulsée
0
2
4
6
8
10
Epaisseur F
C (nm
)
A basse fréquence
Phase 1 : dépôt FC
Si
CFx
Phase 2 : gravure FC1 2
Phase 3 : gravure du matériau
3xT
pulsé mat matONmat cont cont
T xTV V V rc x
T
Procédé pulsé
• Modélisation
0.0 0.5 1.0 1.5120
130
140
150
Epa
isse
ur S
i (nm
)
Temps de gravure (min)
CHF3 100mHz - rc=0.5 150V
42
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Modélisation de la vitesse de gravure en polarisation pulsée
Procédé pulsé
• Modélisation
Si
CFx
FCdV
Si
CFx
FCcontV
Si
CFx
matcontV
TOFF TONxT
1 2 3
43
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Modélisation de la vitesse de gravure en polarisation pulsée
1FC
pulsé mat dmat cont FC
cont
VV V rc rc
V
modèle
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450-200
-100
0
100
200
300
400
500
600
700
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Tension de polarisation (-V)
SiOCH poreux
expérience
rc=0,50rc=0,25
• le modèle prédit le décalage du seuil dépôt-gravure
MAIS
• seuils sur-estimés
• vitesses de gravure sous-estimées
• + même observation pour les autres matériaux : SiO2, SiCH
Procédé pulsé
• Modélisation
Si
CFx
FCdV
Si
CFx
FCcontV
Si
CFx
matcontV
TOFF TONxT
1 2 3
Schaepkens et al. JVST B 18, 2000
44
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Hypothèses de non-validité du modèle
a/ : mesurée sur un film FC épais déposé à 0V en polarisation continue MAIS vitesse de gravure film FC épais vitesse de gravure d’un film
mince
FCcontV
FC FCcont cont corrV V
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
Si
CFx
FCdV
Si
CFx
FCcontV
SiCFx
matcontV
TOFF TONxT
1 2 3
b/ : mesurée en polarisation continue MAIS cette vitesse dépend de l’épaisseur et de la composition du film FC
matcontV
45
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Caractérisation de la couche CFx à la surface des matériaux : épaisseur
0.25 0.50 1.000
1
2
3
4
5
6
SiO2
SiOCH
SiCH
Epa
isse
ur c
ouch
e F
C (
nm)
Rapport cyclique
CHF3/H2 (75%-25%)
0.25 0.50 1.000
1
2
3
4
5
6
SiO2
SiOCH
SiCH
Epa
isse
ur c
ouch
e F
C (
nm)
Rapport cyclique
CHF3/Ar (50%-50%)
CHF3/H2 et CHF3/Ar, l’épaisseur CFx est constante sur tous les matériaux
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
46
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
SiOCH poreux
0.25 0.50 1.00
0.6
0.8
1.0
1.2
SiOCHSiO
2
SiCH
Rap
port
F/C
Rapport cyclique
SiOCH poreux
0.25 0.50 1.00
0.6
0.8
1.0
1.2
SiOCHSiO
2
SiCH
Rap
port
F/C
Rapport cyclique
Caractérisation de la couche CFx à la surface des matériaux : composition
• Diminution du rapport cyclique :
Augmentation du rapport F/C de la couche CFx
Gravure du film CFx plus facile : épaisseur CFx varie peu/ continu
Gravure du matériau plus efficace
lorsque la couche CFx est plus riche en fluor
• SiOCH poreux : comportement différent Couche CFx très fluorée
CHF3/H2 (75%-25%)
CHF3/Ar (50%-50%)
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
47
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Hypothèses de non-validité du modèle
a/ : mesurée sur un film FC épais déposé à 0V en polarisation continue MAIS vitesse de gravure film FC épais vitesse de gravure d’un film
mince
FCcontV
FC FCcont cont corrV V
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
Si
CFx
FCdV
Si
CFx
FCcontV
SiCFx
matcontV
TOFF TONxT
1 2 3
b/ : mesurée en polarisation continue MAIS cette vitesse dépend de l’épaisseur et de la composition du film FC
matcontV
48
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Hypothèses de non-validité du modèle
a/ : mesurée sur un film FC épais déposé à 0V en polarisation continue MAIS vitesse de gravure film FC épais vitesse de gravure d’un film
mince
FCcontV
FC FCcont cont corrV V
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
Si
CFx
FCdV
Si
CFx
FCcontV
SiCFx
matcontV
TOFF TONxT
1 2 3
b/ : mesurée en polarisation continue MAIS vitesse de gravure en polarisation pulsée s’opère à travers un film FC plus fluoré qu’en polarisation continue vitesse de gravure + efficace
matcontV
50
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Hypothèses de non-validité du modèle
a/ : mesurée sur un film FC épais déposé à 0V en polarisation continue MAIS vitesse de gravure film FC épais vitesse de gravure d’un film
mince
FCcontV
FC FCcont cont corrV V
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
Si
CFx
FCdV
Si
CFx
FCcontV
SiCFx
matcontV
TOFF TONxT
1 2 3
c/ la gravure du matériau ne s’opère que pendant la phase 3 MAIS le dépôt formé pendant la phase 1 est mince et ne bloque pas la gravure du matériau pendant la phase 2
b/ : mesurée en polarisation continue MAIS vitesse de gravure en polarisation pulsée s’opère à travers un film FC plus fluoré qu’en polarisation continue vitesse de gravure + efficace
matcontV
mat matcont cont corrV V
51
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Vite
sse
de g
ravu
re
matcontV
0gV
Vite
sse
de g
ravu
re
matcontV
0gV
Vitesse de gravure du matériau pendant TON
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pola
risa
tion
TON
TOFF
xT
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pola
risa
tion
TON
TOFF
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pola
risa
tion
TON
TOFF
xT
matsuppV
1 2 3
.2
mat matsupp cont corr
xV V
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
1 2 3
52
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Hypothèses de non-validité du modèle
a/ : mesurée sur un film FC épais déposé à 0V en polarisation continue MAIS vitesse de gravure film FC épais vitesse de gravure d’un film
mince
FCcontV
FC FCcont cont corrV V
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
Si
CFx
FCdV
Si
CFx
FCcontV
SiCFx
matcontV
TOFF TONxT
1 2 3
c/ la gravure du matériau ne s’opère que pendant la phase 3 MAIS le dépôt formé pendant la phase 1 est mince et ne bloque pas la gravure du matériau pendant la phase 2
b/ : mesurée en polarisation continue MAIS vitesse de gravure en polarisation pulsée s’opère à travers un film FC plus fluoré qu’en polarisation continue vitesse de gravure + efficace
matcontV
mat matcont cont corrV V
.2
mat matsupp cont corr
xV V
53
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Validation du modèle de gravure en polarisation pulsée
1
2 2
FCpulsé mat mat dmat cont corr cont corr FC
cont corr
rc VxV V rc V rc
V
0 100 200 300 400-200-100
0100200300400500600700
rc=0,25
rc=0,50
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Tension de polarisation (-V)
SiOCH poreux
0 100 200 300 400-150-100
-500
50100150200250300
rc=0.25
rc=0.50
V
itess
e de
gra
vure
(nm
/min
)
Tension de polarisation (-V)
SiO2
0 100 200 300 400-50
0
50
100
150
rc=0.25
rc=0.50
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Tension de polarisation (-V)
SiCH
• pour SiO2 et SiCH, le modèle prédit correctement seuil et vitesse de gravure• pour SiOCH poreux, les vitesses de gravure sont sous-évaluées
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
54
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Modèle de gravure en polarisation pour SiOCH poreux
0V
-100V
Temps
Ten
sion
de
pol
aris
atio
n
TON : gravure
TOFF : dépôt
xT
modèle en meilleur accord avec l’expérience
d/ La gravure du matériau peut s’opérer spontanément pendant une fraction de temps à l’extinction du pulse
Procédé pulsé
• Amélioration du modèle
0 100 200 300 400-200-100
0100200300400500600700
rc=0,25
rc=0,50
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Tension de polarisation (-V)
SiOCH poreux
0 100 200 300 400-200-100
0100200300400500600700
rc=0,25
rc=0,50
Vite
sse
de g
ravu
re (
nm/m
in)
Tension de polarisation (-V)
matspontV
55
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Bilan sur le modèle de gravure en polarisation pulsée
Procédé pulsé
Le procédé de gravure n’est pas une simple succession des étapes de :
- dépôt FC : TOFF
- gravure FC : xT
- gravure du matériau : TON-xT
La gravure en polarisation pulsée s’opère :
- dès le début du temps TON
- à travers un film FC plus fluoré / polarisation continue
- pendant une fraction de temps supplémentaire à
l’extinction du pulse (selon les matériaux)
56
Introduction
Polarisation pulsée
Mécanismes de gravure
Conclusion
• Pourquoi pulser ?
• Paramètres de pulse
• Gravure en polarisation pulsée
• Transfert de motifs
• SiCH
• SiO2
• SiOCH poreux
Procédé pulsé
• Modélisation
• Amélioration du modèle
Conclusion
Conclusion et perspectives
Décalage du seuil dépôt-gravure pour les différents matériaux
Sélectivité SiOCH poreux/ SiCH et SiO2 améliorée
Transfert de motifs réalisable
Potentialité du procédé de « polarisation pulsée »
Pulser la tension de polarisation
Modèle de surface des matériaux SiCH, SiO2, SiOCH poreux
Mécanismes de gravure en polarisation pulsée identiques à ceux en polarisation continue
Modélisation des vitesses de gravure en polarisation pulsée
Mécanisme de gravure
Perspectives Optimisation du procédé « polarisation pulsée » Amélioration des modèles de surface (analyse XPS, ellipsométrie porosimétrique…) Validation du modèle de gravure en polarisation pulsée dans d’autres chimies
de plasma Mesures électriques ( r )