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5/12/2018 Cours Majeur2_Guide d'Onde - slidepdf.com
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1/67
Guides d’onde et applications
A: Approche géométrique:les rayons piégés
B: Équations de MaxwellIndice optiqueRéfractionSusceptibilité linéaire
C: Modes de propagationsTransverses électriques
Transverses magnétiquesAnalogie quantiqueInterprétation géométriqueDispersion modale
C: Confinement optiqueapplication aux lasers
D: Théorie des modes couplés
fonction enveloppeE: Guides de Braggaccord de phaseguide de Bragg
F: Technologies des guides
d’ondesFibres optiquesGap photoniques
Emmanuel Rosencher MNO 2 8/02/2005
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1n
2n
2n
Approche géométrique
' cθcθ 1
2n
nc' sin =θ
Angle critique de guidage
maxθ
21
22
n
n1c1max 1nsinnsinON −=== θθ
Ouverture numérique
22
21 nnON −=
Interaction onde-matière faible
c1ext n θθ sinsin =
2W
0
20 z #λπλ
≈=
0W
Espace libre:
Propagation sur de petites distancesInteraction onde-matière forte
Guide optique:Propagation sur de longues distances
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Approche géométrique
Déphasage de Fresnel
Quantification desdirections de propagation
Effet Goos-Hanschen
Pénétration tunnel des photons
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Guides d’onde et applications
A: Approche géométrique:les rayons piégés
B: Équations de MaxwellIndice optiqueRéfractionSusceptibilité linéaire
C: Modes de propagationsTransverses électriques
Transverses magnétiquesAnalogie quantiqueInterprétation géométriqueDispersion modale
C: Confinement optiqueapplication aux lasers
D: Théorie des modes couplés
fonction enveloppeE: Guides de Braggaccord de phaseguide de Bragg
F: Technologies des guides
d’ondesFibres optiquesGap photoniques
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Équations de Maxwell
0 E . =∇ r ( )0=ρPoisson
B E dt
d rr−=×∇Lenz
D j E Bdt d
cdt d
c
rrrr
20
21
01
εµ =+=×∇Faraday Ampère
0 B. =∇rAbsence de
monopole magnétique
P E D
rrr
+= 0εVecteur déplacement
E E r qP e
rrrr )1(0 χεα ===Vecteur polarisation
Propriétés de la matière
+
E r
er r
0 E E 2
dt
2d
2c
12 =−∇rr
Dans le vide
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( ) t ier E E ωrrr=
( ) ( )r 1r n )1(2 rrχ+= Définition de l’indice optique
Onde monochromatique
( ) 0 E r nk E 222 =+∇rrr
Helmholtz
Équations de Maxwell-Helmholtz
)1(χ Susceptibilité optique linéaire
0 E E 2
2
2
)1(
dt
d
c
12 =−∇ + rr χ
ck =ω dans le vide
nck =ω dans la matière
P E E 2
2
20
2
2
2dt
d
c
1
dt
d
c
12 rrr
ε=−∇*
*
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Optique linéaire:indice optique, vitesse de la lumière et susceptibilité linéaire
( ) ( ) ( ) ( )t E t r qt P 10 χε==
opn' λλ
=
λopnc' c =
( )1op 1n χ+=
avec
Lire Le cours de Physique de Feynman
Chapitre 31 L’origine de l’indice optique
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Guides d’onde et applications
A: Approche géométrique:les rayons piégés
B: Équations de MaxwellIndice optique
RéfractionSusceptibilité linéaire
C: Modes de propagationsTransverses électriques
Transverses magnétiquesAnalogie quantiqueInterprétation géométriqueDispersion modale
C: Confinement optiqueapplication aux lasers
D: Théorie des modes couplés
fonction enveloppeE: Guides de Braggaccord de phaseguide de Bragg
F: Technologies des guides
d’ondesFibres optiquesGap photoniques
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2 / d x0 << ( ) ( ) ( ) 0 x E nk x E y22
12
ydx
d 2
2=−+ β
2 / d x > ( ) ( ) ( ) 0 x E nk x E y22
22
ydx
d 2
2=−+ β
Modes de propagation
( ) ( )
= −
0
e x E
0
r E zi
yβrr
Onde transverse électrique TE
02
2
dy
d = x
z
y
Attention: il y a aussi des composants H z
z
x
0
d/2
1n
2n
2n y
( ) ( )( ) ( ) 0 x E r nk x E y222
y2dx
2d =−+ βr
*
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2222
221
222 ON k nk nk =−=+ακ Résultat utile pour la suite:
( ) x E y
x Modes de fuites ou de radiatifs
( ) x E y x
Modes guidés
Modes de propagation
221
22 nk βα −=
22222 nk −= βκ Modes guidés
β>2nk
β<1nk < 1k n
β
> 2k nβ
*
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2 / d x0 <<
2 / d x >
( ) ( ) 0 x E x E y2
y
dx
d 2
2=+α
( ) ( ) 0 x E x E y2
ydx
d 2
2=−κ
( ) xcos A x E y α= ( ) xsin A x E y α=
( ) x y eC x E κ −=
Modes pairs guidés Modes impairs guidés
1n
2n
k n / β=interdit
Continuum: modes radiatifs
Modes guidés
n
x
221
2221
22 nnk nk −=−= βα
22
2222
222nnk nk −=−= βκ
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Onde transverse électrique TE
−=
×
t i z
t i x
dt d
y
e B
0
e B
0
E
0
dz / d
dy / d
dx / d
ω
ω x y ydz
d Bi E i E ωβ −=−=−
z ydx
d
Bi E ω−= ydxd
E continu
E et B continus
2d eC 2d A / / cos κ α −=
2d eC 2d A / / sin κ κ αα −−=−
κ αα =2 / d tg
22122 nk βα −=2
2222 nk −= βκ
β
inconnue
Continuité de E y et dE y /dz en x=d/2: modes pairs
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Nombre de modes guidés == ON 2 E E N 0
d d / ON k λπ
Condition pour être monomodeON 20d λ
<
12d tg2
22ON k −=α
α /
12d 2
22ON k −=−α
α / cot
Solutions paires
Solutions impaires
Solution graphique
0.5 1 1.5 2 2.5 3
2
4
6
8
10
2 / d tgα
12
2kON −α
2 / d cot α−
d / π
α
kON
1 2 3 4 5
*
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Onde transverse magnétique TM
Continuité de B y et 1/ni2 dB y /dz en x=d/2:
( ) ( )
= −
0
e x B
0
r Bzi
yβrr
E Bdt d
cn
122
i
rr=×∇avec E donné par
κ αα2
n
n
2
12d tg = /
κ αα
2
nn212d −= / cot
Solutions paires
Solutions impaires
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m1m kn θβ cos=
m1m kn θα sin=
( ) 212c
2m1m kn
/ coscos θθκ −=
Interprétation géométrique
z
x
0
d/2
1n
2n
2n
mθ
mβ
Pour chaque mode m
1nk
12d tg2
m
22ON k
m −=α
α / Déphasage de Fresnel
+
Stationnarité de la phase
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Analogie quantique
( ) ( )( ) ( ) 0 x E xV x2
22
dx
d
m2
=−+− ψ ψ h
( ) ( )( ) ( ) 0 x E xnk x E y222
ydx
d 2
2=−+ βHelmholtz
Schrödinger
( ) ( ) xV 2 xnk 2
m22
h
−↔
E 2 2m2
h−↔β
( ) ( ) x x E ψ ↔
-40 -20 20 40
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
Notamment:
( ) ( ) mnnmnm dx x E x E E E δ=∫ =∞+
∞−*
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Dispersion modaleOn introduit l’indice optique effectif du mode: neff cn
k eff ωββ ==
2eff
21k
nn −=α
12d tg 2
22ON k
−= αα /
( )( )
1nntg2
eff 2
1
2
nn
ON d 212
eff 2
1 −=−−λ
π /
L’indice neff est fonction de 1/ λ soit encore de ω
Le guide est dispersif !
L’indice effectif dépend de λ: en effet
Exemple: n1 = 1.8, n2 = 1.2 ON 21
sm0
d =λ
341ON .≈37 0
sm0
d .≈λ
eff n
λ / d 0 0.5 1 1.5 2
1.2
1.3
1.4
1.5
1.6
1.7
1.8
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Guides d’onde et applications
A: Approche géométrique:les rayons piégés
B: Équations de MaxwellIndice optique
RéfractionSusceptibilité linéaire
C: Modes de propagationsTransverses électriques
Transverses magnétiquesAnalogie quantiqueInterprétation géométriqueDispersion modale
C: Confinement optiqueapplication aux lasers
D: Théorie des modes couplésfonction enveloppe
E: Guides de Braggaccord de phaseguide de Bragg
F: Technologies des guides
d’ondesFibres optiquesGap photoniques
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CONFINEMENT
( )
( )ℜ+
∫
∫ ==
∞ 11
dx x E 2
dx x E 2
0
2
2 / d
0
2
Γ
( )
( )∫
∫ ∞
=ℜ2 / d
0
2
2 / d
2
dx x E
dx x E
avec
Dans un guide symétrique:
( ) d
2
2C x2
2 / d
2
2 / d
2edxeC dx x E
κ κ
κ −−∞∞=∫ =∫
( ) ( ) ( ) dx2d
0
x212
2 Adx x22d
0
2 A
2d
0
dx x2
E ∫ +=∫ =∫ /
coscos / /
αα ( )d sind 14
2 A α
α+=
totaleénergie
guideledansénergie=Γ
Facteur de confinement
-6 -4 -2 2 4 6
0.2
0.4
0.6
0.8
1
1.2
1.4
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( ) ( )guideledansénergie
guideduhorsénergie
d d
2d 2
d d
e2
AC 2
mm
m
1m
2
m1
d ===ℜ
++
−
α
α
κ ακ
αα
κ
sin
/ cos
sin
0.5 1 1.5 2 2.5 3
2
4
6
8
10
T
m
mmmm 2d tgT ακ α / / ==
2
mT 1
1m
22d
+= / cos α
2
m
m
T 1
T 2md
+
=αsin
avec
et
et2
mT 1
ON k m
+=α
( ) 2mm
2m T 1T ON d k T
1m
++=ℜ
∞→ℜm quand ∞→m0→Γ et
Les modes de plus bas indices sont les plus confinés
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Application à une structure laser GaAs/AlGaAs
0.9 1.1 1.2 1.3lHµmL
3.25
3.3
3.35
3.4
3.45
3.5
3.55
3.6
n Alx Ga1-xAs
.1.2
.3
.4
Variation de l’indice dans AlGaAs
0 0.5 1 1.5 2
3.28
3.3
3.32
3.34
3.36
3.38
Modes guidés dans GaAs/AlGaAs
Γ GaAs = 0.02
x1= 0.2
nAlGaAs1= 3. 274
nAlGaAs2= 3.393
x2= 0.4
ON= 0.89
dmax = λ /2ON = 0.5 µmapuits= 10 nm
GaAs
AlGaAs1AlGaAs2
-1 -0.5 0.5 1
0.2
0.4
0.6
0.8
1
!!!
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Guides d’onde et applications
A: Approche géométrique:les rayons piégés
B: Équations de MaxwellIndice optique
RéfractionSusceptibilité linéaire
C: Modes de propagationsTransverses électriques
Transverses magnétiquesAnalogie quantiqueInterprétation géométriqueDispersion modale
C: Confinement optiqueapplication aux lasers
D: Théorie des modes couplésfonction enveloppe
E: Guides de Braggaccord de phaseguide de Bragg
F: Technologies des guides
d’ondesFibres optiquesGap photoniques
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Théorie des modes couplés
Par construction:
( ) ( )( ) ( ) 0 x E r nk x E m2
m22
m2dx
2d =−+ β
r*
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Théorie des modes couplésAvertissements:
- calcul générique à de très nombreux domaines de la Physique:optique non linéaire, micro-ondes, acoustique, mécanique quantique…- archétype du calcul qui commence mal et termine bien- demande du sang froid
Rappel: fonction lentement variable dite « enveloppe »
AdA<<
k 1dz / =
dz
Ad
dz
Ad k
2
2
<<
Ak dz
Ad <<
( ) ( ) ( ) )()( t zimm
t zim
mm e x E z Ae x E ωβωβ −− →
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Théorie des modes couplés
La base des modes est complète: ( ) ( ) ( ) ( ) ..,, cce x E z At z x E zt imm
m m +∑= − βω
0 Acst A 1m1 == >,par exemple:
On introduit une perturbation par exemple ( ) ( ) ( )t r E r t r P 0 per ,, εε ∆=
( )r ε∆perturbation
x
z
( ) ( )t r P E r nk E per 2dt
2d 0
222 ,µ=+∇rr
Équation fondamentale de l’optoélectronique
P E E 2
2
20
2
2
2dt
d
c
1
dt
d
c
12 rrr
ε=−∇
( ) per
10 P E P
rrr+= χε
Si P per = 0, les modes sont stationnaires c.a.d cst Am = solution
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26/67
La présence de la perturbation P per va coupler les modes(cf mécanique quantique)
( ) ( )t r P E r nk E per 2dt
2d 0
222dz
2d 2dx
2d ,µ=+
+
rrr
( ) ( ) ( ) ( ) ..,, cce x E z At z x E zt i
m
m
mm +∑= − βω
modes propres
( ) ( ) ( ) ( ) ( )∑
+−
mm
22m
2mm2dx
2d m x E r nk x E x E z A
rβ
( ) ( ) ( ) ( ) per
dt
d 0
zt imm
dz
d mm
dz
d Pcce x E z Ai2 z A2
2m2
2 µβ βω =+ −+ − ..
fonction lentement variable
?
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27/67
On projette sur le mode q: ( ) ( ) qmqmmq dx x E x E E E ,* δ=∫ =
∞
∞−
( )( )
( )( )
( ) ( )∫ =−∞
∞−
+−−+dx x E t r Pie z Ae z A q per
2dt
2d
q2
0 zqt iq
dz
d zqt iq
dz
d *,r
β
µβωβω
( ) ( ) ( ) per dt d 0 zt im
mmdzd m Pcce x E z Ai2 2
2
m µβ βω =+
∑− − ..
Ce n’était pas si catastrophique que cela …
La perturbation nourrit les modes q
( ) E 22
m2h
−↔± βen n’oubliant par la dégénérescence
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28/67
( ) ( ) ( ) ( )∫ −=−∞
∞−
+−−+ dx x E r Pie z Ae z A q per 2
q20 zqi
qdzd zqi
qdzd *ω
β
µββ
Théorie des modes couplés: résultats
( ) ( ) ( )∫ −=∞
∞−
−dx x E r Pie z A q per
2
q20 zqi
qdzd *r
ωβ
µβ
Fondamental pour optique non linéaire, acoustique, électronique, guide de Bragg, …
Perturbation synchrone: ( ) ( ) t i per per er Pt r P ωrr =,
Sans couplage vers l’arrière: ( ) 0 z Aq =−
*
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29/67
Guides d’onde et applications
A: Approche géométrique:les rayons piégés
B: Équations de MaxwellIndice optique
RéfractionSusceptibilité linéaire
C: Modes de propagationsTransverses électriques
Transverses magnétiquesAnalogie quantiqueInterprétation géométriqueDispersion modale
C: Confinement optiqueapplication aux lasers
D: Théorie des modes couplésfonction enveloppe
E: Guides de Braggaccord de phaseguide de Bragg
F: Technologies des guides
d’ondesFibres optiquesGap photoniques
5/12/2018 Cours Majeur2_Guide d'Onde - slidepdf.com
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30/67
( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ..cce x E z Ar P z M K mim
mm2
x M 0 per +∑= ±− βεεr
La base des modes est complèteMême fréquence ω ( ) ( ) ( ) .., cce x E z A z x E
zim
mm
m +∑= − β
( ) ( ) ( ) ( )r E zK xr P M M 0 per rr
cosεε= M
2 M K Λ= π
avec
Guide de Bragg
Dh
M Λ
( ) x M ε
x
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31/67
( ) ( ) ( ) ( ) ( ) dx x E x E xe z Ai qm M zK i
mm
24
M m
q
M 00 *∫ ∑− ±−+ εω ββ
εεµ
( ) ( ) =− −−+ ziqdz
d ziqdz
d qq e z Ae z Aββ
( )( )
( ) ( ) ( ) dx x E x E xe z Ai qm M zK i
mm
24 M mq
M 00
*∫ ∑−−
εωβ
β
εεµ m
Diffraction vers l’avant
Diffraction vers l’arrière
Seuls transferts efficaces
( ) ( ) ( ) ( ) ( ) zimqm M
24qdz
d e zdxA x E x E xi z Aq
M 00 ββ
εεµεω ∆−++ ∫ −= * 0K M qm ≈±−=∆ βββ
mqg
( ) ( ) ( ) ( ) ( ) zimqm M
2
q4 M 00
qdzd e zdxA x E x E xi z A
'* ββ
εεµεω ∆−−+∫ −= 0K M qm ≈+=∆ mβββ '
mqg
vers l’avant
vers l’arrière vers l’arrière
Diffractionvers l’arrière
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32/67
Couplage du mode q vers l’arrière – q efficace seulement si:
02K 2 M 2
q M q ≈−=−=∆ Λπβββ ' 'β∆ est le désaccord de phase
m q
Modes couplés dzegzi
mq ∫ ∆− β
mqm
mqm
K
K
±+±−
=∆ββ
βββ
( ) ( ) zimmqqdz
d e z Agi z Aβ∆−++ −=
( ) ( ) zimmqqdz
d e z Agi z A 'β∆−−+ −=
vers l’avant
vers l’arrière
Réflexion de Bragg: m = -q
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33/67
0=∆β
Accord de phase: 0=∆β
( ) ( )
( ) ( ) ziqqdz
d
ziqqdz
d
e z Agi z A
e z Agi z A
β
β
∆−+
∆−+−
=
−=
Conditions limites: onde +q entrante de la gauche, pas d’onde –q incidente de la droite
( ) ( )
( ) ( ) z Agi z A
z Agi z A
qqdzd
qqdzd
−+
+−
=
−=
( )( )
( )( )[ ] L zgch z A
gLch
0 A
q
q −=+
+
( )( )
( )( )[ ] L zgsh z A
gLchi
0 A
qq −=+
−
Onde transmise
Onde réfléchie
g décrit la force du couplage entre les deux ondes
( ) 0q A0 A =+
( ) 0 L Aq =−
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34/67
Accord de phase: interprétation vectorielle
z
+q A
( ) z Aq−0 L
M Λ
gze−≈
q
β− qβ
M
2 M K
Λ= π
""4λ
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35/67
Filtre de Bragg 0≠∆β
( ) ( )
( ) ( ) ziqqdz
d
ziqqdz
d
e z Agi z A
e z Agi z A
β
β
∆−+∆−+−
=
−=0 Ag Ai A q
2qdz
d q
dz
d 2
2=−∆− +++ β
( ) z
2
i
e
δβ ±∆
( ) ( ) z Aet z A qq−+ combinaison linéaire de 22g4 βδ ∆−=avec
( ) 0q A0 A =+
( ) 0 L Aq =−
( )( ) ( ) ( )
22 Lshi2 Lch
2
0 A
L A
q
qT
/ / δβδδδ∆+== +
+
transmittivité d’un filtre de Bragg-4 -2 2 4
Db•2g
0.2
0.4
0.6
0.8
1
T
gL=1
gL=2
gL=5
stop band
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Technologie de guide d’onde pour laser Bragg
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37/67
Guides d’onde et applications
A: Approche géométrique:les rayons piégés
B: Équations de MaxwellIndice optique
RéfractionSusceptibilité linéaire
C: Modes de propagationsTransverses électriquesTransverses magnétiquesAnalogie quantiqueInterprétation géométriqueDispersion modale
C: Confinement optiqueapplication aux lasers
D: Théorie des modes couplésfonction enveloppe
E: Guides de Braggaccord de phaseguide de Bragg
F: Technologies des guides
d’ondesFibres optiquesGap photoniques
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38/67
FIBRES OPTIQUES
( )r n
46 1.451.
z
( ) 0 E r nk E 222 =+∇rrr
( )( ) ( ) 0r nk r 2d d
r 1
dzd dr d dr d r 1 2
2
22
2
=+++ ψ ψ ψ ψ ϕ
coordonnéescylindriques
z z Bou E =
Solutions séparables: ( ) ( ) zt ilieer
βωϕψ −±=
( ) 0k r n2
2
2
2
r
l222
dr
d dr d
r 1 =
−−++ ψ βψ ψ
Croyez le ou non, il y a des solutions algébriques: les fonctions de Bessel
( ) ( ) ( )r hY cr h J cr l2l1 += ( ) ( ) ( )r qK cr q I cr l2l1 +=
( ) 0k r nh2222 >−= β ( ) 0k r nq
2222 >−=β
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39/67
Dispersion modale d’une fibre
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40/67
FIBRES OPTIQUES
tirage de fibres Fibres monomodes
et multimodes
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41/67
vers 1.55 µm: 0.2 dB/km !!
Exemple: atténuation de x dB → de e-x
pour 50 km → de e- 10 ≈ 4.5 10-5répéteurs
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42/67
1994 1996 1998 2000 2002 20040.01
0.1
1
P e t a B i t s
/ s .
k m
date
6 térabits sur 2700 km
Capacité des réseaux télécom:
doublement tous les 16 mois
soliton
CAPACITES DES SYSTEMES DE TELECOMMUNICATIONS
A FIBRES OPTIQUES
Bande passante multipliée par
le nombre de voies
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43/67
Interference patternGrating
Coreø 9µm
Claddingø 125µm
LaserBeam
LaserBeam
Λ
Fiber
FIBRES OPTIQUES A RESEAU DE BRAGG
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LASER A FIBRES OPTIQUES DE PUISSANCE
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Fabrication (e.g.)
silica glass tube (cm’s)
fiber
draw
~1 mm
fuse &
draw
~50 µm
[ R. F. Cregan et al., Science 285, 1537 (1999) ]
Photonic Crystal Fiber: guidage dans l’air
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46/67
10µm
5µm
[ R. F. Cregan et al., Science 285, 1537 (1999) ]
Photonic Crystal Fiber: guidage dans l’air
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47/67
[ R. F. Cregan et al., Science 285, 1537 (1999) ]
ω (c / a) (not 2p c / a)
transmitted intensityafter ~ 3cm
Photonic Crystal Fiber: guidage dans l’air
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Cristaux photoniques
( ) 0 E xnk E 22
dx
d
2
2
=+rr
Fabry Pérot
( ) 0 E z xnk E E 22
dz
d
dx
d
2
2
2
2
=++rrr
,Guide d’ondede Bragg
Steven G. Johnson MIT
( ) 0 E r nk E 222
=+∇
rrr
( ) périodiquestructurer nr
BLOCH !
19871887
eriodicinone direction
2-D
periodic intwo directions
3-D
periodicinthree directions
1-D
p
Pé i di ité 2d 12 1
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E
H TM
a
f r e q u e n c y
ω
( 2 p c / a )
= a
/
λ
Γ X
M
Γ X M Γ irreducible Brillouin zone
k
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1
Photonic Band Gap
TM bands
gap for n > ~1.75:1
Périodicité 2d, ε=12:1
Steven G. Johnson MIT
Pé i di ité 2d 12 1
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50/67
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1
Photonic Band Gap
TM bands
E
H TM
Γ X M Γ
E z
– +
E z
(+ 90° rotated version)
Périodicité 2d, ε=12:1
gap for n > ~1.75:1
Steven G. Johnson MIT
Steven G Johnson MIT
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51/67
UÕ L Γ X W K
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0
21% gap
L'
LK'
Γ W
U'XU'' U
W' K
z
I: rod layer II: hole layer
I.
II.
[ S. G. Johnson et al., Appl. Phys. Lett. 77, 3490 (2000) ]
gap for n > ~4:1
3d photonic crystal: complete gap , ε=12:1Steven G. Johnson MIT
Steven G. Johnson MIT
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rod layer
hole lay er
(diamond-like: rods ~ “bonds”)
A
B
C
[ S. G. Johnson et al.,
Appl. Phys. Lett. 77, 3490 (2000) ]
Up to ~ 27% gap
for Si/air
hole layer
Méthode de fabricationSteven G. Johnson MIT
Steven G Johnson MIT
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Making Rods & Holes Simultaneously
substrate
top view
side view
Si
Steven G. Johnson MIT
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54/67
Making Rods & Holes Simultaneously
substrate
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
expose/etch
holes
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55/67
Making Rods & Holes Simultaneously
substrate
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
backfill with
silica (SiO2)& polish
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56/67
Making Rods & Holes Simultaneously
substrate
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
deposit another
Si layer layer 1
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57/67
Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
substrate
layer 1
A A A A
B B B B
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
dig more holes
offset
& overlapping
S
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Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
substrate
layer 1
A A A A
B B B B
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
backfill
M ki R d & H l Si lt l
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59/67
Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
substrate
layer 1
lay er 2
lay er 3
A A A A
B B B B
C C C C
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
etcetera
(dissolve
silica
when
done)
one
period
M ki R d & H l Si lt l
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60/67
Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
substrate
layer 1
lay er 2
lay er 3
A A A A
B B B B
C C C C
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
etcetera one
period
hole layers
Making Rods & Holes Sim ltaneo sl
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Making Rods & Holes Simultaneously
B B B B
B B B B
B B B B
B B B
B B B
B B B
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
C C C C
substrate
layer 1
lay er 2
lay er 3
A A A A
B B B B
C C C C
A A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
A A A A
A A A
etcetera one
period
rod layers
e -beam Fabrication: Top View
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62/67
p
5 µm
[ M. Qi, H. Smith, MIT ]
e -beam Fabrication: Side Views
5/12/2018 Cours Majeur2_Guide d'Onde - slidepdf.com
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63/67
(cleaving worst sample)
[ M. Qi, H. Smith, MIT ]
Le cristal de « tas de bois »
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64/67
[ K. Ho et al., Solid State Comm. 89, 413 (1994) ] [ H. S. Sözüer et al., J. Mod. Opt. 41, 231 (1994) ]
Up to ~ 17% gap for Si/air
(diamond-like, “bonds”)
[ Figures from S. Y. Lin et al., Nature 394, 251 (1998) ]
Le cristal de « tas de bois »
Le cristal de « tas de bois »
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http://slidepdf.com/reader/full/cours-majeur2guide-donde 65/68
65/67
[ S. Y. Lin et al., Nature 394 , 251 (1998) ]
gap
(4 “log” layers = 1 period)
“UV Stepper:” e-beam mask at ~4x size+ UV through mask, focused on substrate
Good: high resolution, mass production Bad: expensive ($20 million)
http://www.sandia.gov/media/photonic.htm
Si
Le cristal de « tas de bois »
Mass-production II: Colloids
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66/67
microspheres (diameter < 1µm)silica (SiO2)
sediment by gravity into
close-packed fcc lattice!
(evaporate)
p
[ figs courtesy
D. Norris, UMN ]Inverse Opals
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fcc solid spheres do not have a gap…
…but fcc spherical holes in Si do have a gap
Infiltration
sub-micron colloidal spheres
Template(synthetic opal)3D
Remove
Template
“Inverted Opal”
complete band gap
~ 10% gap between 8th & 9th bandssmall gap, upper bands: sensitive to disorder
]
[ fig courtesy
D. Norris, UMN ]
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